CN119404274A 发射器、电子枪及电子设备、以及发射器的制造方法 （唐捷）

2024.12.20PCT/JP2023/0234172023.06.23WO2023/249118JA2023.12.28提供一种能够长期高效率且稳定地发射电子的发射器、使用该发射器的电子枪及电子设25.根据权利要求1～4中任一项所述的发射器，其中，所述稀土氧化物包含选自由La、将含有稀土元素的金属的表面氧化，形成由以通式REOx表示的稀土氧化物构成的膜的3[0003]作为用于这些电子枪的发射器的材料，例如使用作为低功函数材料的六硼化镧4[0020]本发明的发射器的制造方法为制造具备纳米针的发5[0040]本发明人等对稀土氧化物进行了深入研究，发现通式REOx所示的化合物(以下也x化合物中的Ga量优选大于0原子％且为51的情况下，即LaO如下述表1所示，是具有立方晶系的晶体结构、属于Fm3￣m空间群 6体结构。LaOx的晶体结构为立方晶系的情况下，成为属于下述表2所示的Ia3￣空间群(InternationalTablesforCrystallography的206号空间群)、或下述表3所示的Im3￣空间群(InternationalTablesforCrystallogra7P3￣m1空间群(InternationalTablesforCrystallography的164号的空间群)的晶体。89所示的晶体的晶格常数和原子坐标计算出的化学键的长度相比为±5％以内的情况下，可下，将使用上述表1～5所示的晶体结构参晶面为(001)面或(110)面。具体而言，在纳米针10的前端部10a由REOx(x＝1)形成的情况x射效率的观点出发，纳米针10的前端部10a的曲率半径d更优选为最大直径d的1～10进[0071]前述的纳米针10的前端部10a的形状和曲率半径r可以通REOx化合物构成的稀土氧化物膜的工序(步骤S1)和将稀土氧化物膜加工成针状的工序(步[0079]在此使用的包含稀土元素(RE)的金属可以是包含1种稀土元素(RE)的金属，也可[0080]金属表面的氧化方法和条件可以根据金属中所含的稀土元素(RE)的种类适当选[0082]在步骤S2中，使用例如聚焦离子束将在步骤S1中形成的稀土氧化物膜加工成针[0087]需要说明的是，在将纳米针10加工成朝向前端变细(直径能量色散型电子分光器等具有电子聚焦能力的任够使发射器1的纳米针10的发射电子的前端部10由于基于加热电源的电压施加而从发射器1的纳米针10发射热电子，因此也可以在电子枪费米能级之差算出。在这些计算中，使用QuantumEspressov7.0(从https：//(x＝1.4165或x＝1.4375)的电子态密度(D用了Car_Parrinello法。将温度设为500K，将水分子配置在距表面为的距离来进行模x～10_3Pa[0127]利用扫描型电子显微镜(FEICompanyJapanLtd.制Helios650)和透射型电子显微镜(日本电子株式会社制JEM_3100F)观察通过前述方法形成的LaOx纳米针。图8的A是x纳米针的前端部由单晶构成，结果示于下述表8。另外，图9的A～C是C0.010.04O58.392.122.004.65083.1839.400.500.17