CN119406239A 一种氧气、氮气与粗氖氦气的纯化装置系统及方法 （杭氧集团股份有限公司）

氮气纯化与氧气除二氧化碳及水的再生过程相2所述氧气出口依次连接有第一增压机、除烃装置以及热平衡器，所所述纯化装置系统还包括冰干机，所述冰干机用于为杂质吸附塔与氧所述脱氧塔包括交替运行与再生的第一脱氧塔与以及第三渗透膜分别独立地设置有渗透侧与非所述第二渗透膜的非渗透侧排出的废气流经第一增压阀后返回至所述第三渗透膜的非渗透侧排出的废气流经第二增压阀后返回至第二增压阀的压力气源来自第二渗透膜的非所述杂质吸附塔包括交替运行与再生的第一杂质吸附塔与第二所述脱氧塔排出的高纯氮气部分进入高纯氮系统，部分进入所述第一渗所述氧气净化塔的出口与高纯氧系统以及真空泵分别独34别安装有加氧催化装置和加氢催化装置，在催化装置的出口连接有粗氖氦气与催化装置，5烃，然后采用二氧化碳与水吸附塔吸附CO[0017]所述第二渗透膜的非渗透侧排出的废气流经第一增压阀[0018]所述第三渗透膜的非渗透侧排出的废气流经第二增压阀所述第二增压阀的压力气源来自第二渗透膜的非渗透侧排[0024]所述脱氧塔排出的高纯氮气部分进入高纯氮系统，部分6冷量供给腔进口、氧气净化塔的冷量供给腔进口以及冷媒换热管路进口分别独立地连接，7[0049]所述除氢氖氦气中氢气的体积浓度≤0.9ppm，例如可以是0.9ppm、0.8ppm、[0052]所述第一膜分离后除氢氖氦气中氮气的体积浓度≤33%，例如可以是33%、30%、[0054]所述第三膜分离后除氢氖氦气中氮气的体积浓度≤0.3%，例如可以是0.3%、[0056]所述氖氦混合气中氢气的体积浓度≤0.2ppm，例如可以是0.2ppm、0.18ppm、[0057]所述氖氦混合气中氮气的体积浓度≤0.1ppm，例如可以是0.1ppm、0.08ppm、8样适用。[0063]优选地，所述高纯氧气的纯度≥6N，高纯氧气中氮气与氩气的总体积浓度≤[0065]所述高纯氧气中氮气与氩气的总体积浓度≤0.3ppm，例如可以是0.3ppm、烃，然后采用二氧化碳与水吸附塔吸附CO至杂质氧气体积浓度在0.1ppm以下；氧气纯化至杂质氮气与氩气总体积浓度在0.3ppm以[0068]图1是本发明实施例1提供的氧气、氮气与粗氖氦气的纯化装置系统的结构示意9氧塔包括交替运行与再生的第一脱氧塔与第二脱氧塔；脱氧塔排出高纯氮气与除氢氖氦气进口；所述第三渗透膜的非渗透侧排出的废气流经第二增压阀后返回至第一渗透膜中，所述第二增压阀的压力气源来自第二渗透膜的非渗透侧排述氧气净化塔的出口与高纯氧系统以及真空泵分别独[0075]所述脱氧塔排出的高纯氮气部分进入高纯氮系统，部分口分别独立地连接，所述冷媒换热管路进口通过所述换热器与冷媒换热管路出口相连通；所述冷媒进口设置有第一压力传感器与第二[0081]所述杂质吸附包括分别同时进行的吸附与再生，所述吸附的过程中控制[0083]所述二氧化碳与水吸附处理包括分别同时进行的吸附与再生，所述再生的过程[0089]氮气进气管路通过第一截止阀1连接换热器57氮气进口43，换热器57氮气出口56止阀9出口同时连接换热器57第一热端进口47；第三十二截止阀62出口和第三十三截止阀[0095]氧气进气管路通过第二截止阀2连接换热器57氧气进口44，换热器57氧气出口55[0099]采用所述纯化装置系统进行氧气、氮气与粗氖氦气纯化的方法具体包括如下步[0101]打开第一截止阀1，氮气通过换热器57氮气进口43流经氮气出口56进入第二脱氧[0103]除氢粗氖氦气通过换热器57第一热端进口47流经第一热端出口52进入第一渗透二增压阀68压力气源AM_2来自第二渗透膜69非渗装置60中被分解为CO2、H2O和NOx，通过后续第二吸附塔21或第一吸附塔22吸附脱除CO2与燥装置61净化后返流第二脱氧塔6或第一脱气纯化至杂质氧气体积浓度在0.1ppm以下；氧气纯化至杂质氮气与氩气总体积浓度在0.3ppm以下；粗氖氦气纯化至杂质氢气的体积浓度在0.2ppm以下，氮气的体积浓度在氦气的纯化采用CN117566701A公开的非低温法净化粗氖氦的装置进行，两个装置分别运