CN119425539A 碳化硅粉料合成装置及方法 （山西天成半导体材料有限公司）_第1页
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文档简介

产业开发区不锈钢产业园区钢园北街23分为弯折结构。两侧表面固定连接第三电动推杆（20所述第三电动推杆（20）的活塞杆固定连接加热板4埚主体（701）的外侧圆柱表面进行降温，待温度降低至安全范围后，通过第一电动推杆5粉料合成过程中坩埚内温度不均导致部分原料反应不完全和生67矩形固定块上表面固定连接第二支撑板，所述第二支撑板下表面固定连接第二电动推杆，S2.通过第二伺服电机带动第二齿轮转动，在第二齿轮转动过程中带动滑动齿槽S3.通过第三电动推杆将加热板推至与坩埚主体的外圆柱表面接触为止，随后通S5.通过第二电动推杆带动第二齿轮上移，随后通过第一伺服电机带动第一齿轮8图3为本发明所提出的碳化硅粉料合成装置的坩埚组件、降温组件和放置组件配图7为本发明所提出的碳化硅粉料合成装置的转动组件和搅拌轴配合时剖视结构图8为本发明所提出的碳化硅粉料合成装置的加热板和坩埚组件配合时剖视结构图10为本发明所提出的碳化硅粉料合成装置的坩埚组件和放置组件配合处结构9图11为本发明所提出的碳化硅粉料合成装置的圆柱凸台和转动圆盘配合处剖视图12为本发明所提出的碳化硅粉料合成装置的坩埚组件的坩埚盖下方结构示意凸台2的小圆柱的上表面固定连接矩形固定块12，矩形固定块12靠近保护壳体11的一侧表坩埚组件7被推入保护壳体11内部的位置为加热区，坩埚组件7转动至降温组件8的位置处一弹簧904固定连接在滑动板905和限位块902之间，第一弹簧904环在滑动轴903的圆柱表坩埚主体701从放置组件9中取下，此时将卡块907较长的一端转动至滑动板905和限位块在第三转动轴2501底部的圆柱表面，滑动套2503滑动连接在第二固定轴2502的圆柱表面，轴2502的圆柱表面，卡板2504固定连接在滑动套2503远离第三转动轴2501的一端，卡板当卡板2504底部的倾斜表面和搅拌轴702顶端的配合孔顶部边缘接触时，卡板2504底部的伸入搅拌轴702顶端的配合孔中后，若卡板2504刚好卡在搅拌轴702顶端的配合孔的卡槽移动卡在搅拌轴702顶端的配合孔的卡槽中，随后第三伺服电机24继续带动转动组件25转S2.通过第二伺服电机17带动第二齿轮16转动，在第二齿轮16转动过程中带动滑S3.通过第三电动推杆20将加热板21推至与坩埚主体701的外圆柱表面接触为止，[0029]在冷却区检测到坩埚组件7的温度下降至安全值后即可停止对其进行喷淋冷却

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