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文档简介

根据所述依赖关系和/或拓扑关系定义量产指令2所述抽象指令优化模块，用于将光刻机的量产标准的抽象指令集进所述指令集拓扑关系建立模块，用于建立指令集拓扑关系，明确各所述量产指令集操作序列确定模块，用于确定量产指令集操作序列所述模型应用模块，用于将构建的所述数学模型应用于光刻机的量产被处理器执行时实现权利要求1至8中任一项所述的34[0002]在现有的光刻机量产过程中，通常使用基于SEMI40标准的指令集进行控制和操确各字符表示和指令等级之间的依赖关系和拓扑关系，并根据所述依赖关系和/或拓扑关述在给定已执行的字符指令集{X1,X2,,Xn}的情况下，后续可执行的字符指令集{Y1,5计算机程序被处理器执行时实现上述的上述任意一个实处理器执行时实现上述的上述任意一个实施例中的方678P({A}|{B,C,D,E})={{A,B},{A,C},{A,D},{A,E},{A,B,C},{A,BB,D,E}}P({A,B}|{C,D,E})={{A,B,C},{A,B,D},{A,B,E},{A,B,C,D},{A,E},{A,B,C,D,E},{A,C,B,D,E}}P({A,B,C}|{D,E})表示在已执行启动指令A+B+C的情况下，所有可能的后续指令9器用于提供计算和控制能力。该计算机设备的存储器包括非易失性存储介质和内存储器。操作系统和计算机程序的运行提供环境。该计算机设备的输入/输出接口用于处理器与外通过计算机程序来指令相关的硬件来完成，所述的计算机程序可存储于一非易失性计算机本申请所提供的各实施例中所使用的对存储器、数据库或其它介质的任何引用，均可包括非易失性和易失性存储器中的至少一种。非易失性存储器可包括只读存储器（Read_Only库和非关系型数据库中至少一种。非关系型数据库可包括基于区块链的分布式数据库等，

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