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一种精密零件表面高温耐磨损多层材料的一种精密零件表面高温耐磨损多层材料的膜结构可以通过调整各层之间的厚度比例和高22.根据权利要求1所述的一种精密零件表面高温耐磨损多层材料的制备方法,其特征3.根据权利要求2所述的一种精密零件表面高温耐磨损多层材料的制备方法,其特征4.根据权利要求1所述的一种精密零件表面高温耐磨损多层材料的制备方法,其特征5.根据权利要求1所述的一种精密零件表面高温耐磨损多层材料的制备方法,其特征6.根据权利要求1所述的一种精密零件表面高温耐磨损多层材料的制备方法,其特征7.根据权利要求6所述的一种精密零件表面高温耐磨损多层材料的制备方法,其特征在于S4中调节功率至Ti靶和CuNb靶的溅射功率均为100W,CoCrFeNi靶的溅射功率为150W,3提供一种精密零件表面高温耐磨损多层材料的45种基体一起固定在样品台的电动机转轴上使两者能同6个基体的表面各自总共制备了11层高温耐磨损薄膜材料,记为CoCrFeNi/Ti/CuNb多层材S6、溅射完毕后,关闭靶材挡板,关闭电源和氩气阀,取出样品,沉积得到的[0018]通过上述的三个涂层进行对比可以看出试验一制备的CoCrFeNi/Ti/CuNb多层材料具有比CoCrFeNi/Ti/CuNb单层材料和CoCrFeNi/Ti多层材料更加优秀的高温耐磨损性摩擦过程中摩擦副不断地作用在CoCrFeNi/Ti/CuNb多层材料的非晶与纳米晶结合的涂层[0019]试验一制备的CoCrFeNi/Ti/CuNb多层材料包括5层的TiCuNb层和6层的2O[0020]图1为试验一制备的CoCrFeNi/Ti/CuNb多层材料的示意图,CoCrFe78
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