CN119475828A 氧化锌表面氧吸附模型及建立方法、突触性能的预测方法 （龙腾半导体股份有限公司）

区凤城十二路1号西安关中综合保税本发明涉及一种氧化锌表面氧吸附模型及定律微分形式分别建立暗场下和紫外光场下氧场下氧化锌薄膜的电流电压关系推导从暗场到面势和暗场下氧化锌薄膜的电流电压关系推导从紫外光场到暗场下电流随时间变化的拟合函模型可以准确预测氧化锌光电突触器件的突触2基于所述氧化锌薄膜在空气中光响应的慢过程和所述几何模型，在直角响应的慢过程包括在暗场中氧气的吸附过程和在紫外光基于所述几何模型，利用欧姆定律微分形式建立暗场下氧化锌薄膜结合所述表面势和所述紫外光场下氧化锌薄膜的电流电压关系推导从暗场到紫外光;q为电荷量，NO为表面可吸附位置数，er为氧化锌介电常数，目中所占据的比例。;;其中，为紫外光场下氧化锌薄膜的电流，no为薄膜在暗场下的中性区电子浓度，3;总数，An为紫外光产生的电子浓度，Bi为本征载流子浓度，AP为紫外光;其中，为暗场下氧化锌薄膜的电流，t为时间，为施主原子总数，q为电荷量，4获取氧化锌光电突触器件的电流随时间变化的长周利用从暗场到紫外光场下电流随时间变化的拟合函数对所述长周期开关特性图中的利用从紫外光场到暗场下电流随时间变化的拟合函数对所述长周期开关特性图中的根据所述第一拟合结果判断氧化锌光电突触器件在紫外光场下的电5[0001]本发明属于半导体技术领域，具体涉及一种氧化锌表面氧吸附模型及建立方法、导体材料被用于构建光电突触器件。研究人员制备了不同类型的突触装置来模拟突触功锌ZnO材料在一般大气压强下稳定存在的晶体结构为纤锌矿型晶体结构，每个锌原子和周6结合所述表面势和所述紫外光场下氧化锌薄膜的电流电压关系推导从暗场到紫压关系推导从紫外光场到暗场下电流随时间变化的拟合函数，得到氧化锌表面氧吸附模;;为长;其中，为紫外光场下氧化锌薄膜的电流，为薄膜在暗场下的中性7;;的拟合函数和从紫外光场到暗场下电流随时间变获取氧化锌光电突触器件的电流随时间变化的长周8利用从暗场到紫外光场下电流随时间变化的拟合函数对所述长周期开关特性图利用从紫外光场到暗场下电流随时间变化的拟合函数对所述长周期开关特性图根据所述第一拟合结果判断氧化锌光电突触器件在紫外光场下的电流上升速度，本发明基于氧化锌薄膜在暗场中氧气的吸附过程和在紫外光场中氧气的解吸过[0017]图1为本发明实施例提供的一种氧化锌表面氧吸附模型的建立方法的流程示意图7为本发明实施例提供的大气和真空条件氧化锌ZnO在空气中的光响应一般分为快过程和慢过程两部9程建立氧化锌表面氧吸附模型，以研究氧吸附对ZnO光电突触器件在紫外光照和暗场下电过程包括在暗场中氧气的吸附过程和在紫外光场v_1为长[0038]假设紫外光下氧化锌薄膜产生电子浓度An和空穴浓度AP则紫外光其中，为紫外光场下氧化锌薄膜的电流，no为薄膜在暗场下的中性区为表公式(15)和公式(20)即为通过一维泊松方程和欧姆定律微分形式推导出的氧化模型对实验室制备的氧化锌光电突触器件进行仿真ITO电极2和氧化锌薄膜层3均位于玻璃衬底1上，且氧化锌薄膜层3中形成有插指状图案，[0046]首先测试氧化锌光电突触器件在600μW/cm2功率的紫外光照下以及暗场下电流随时间变化的拟合函数即公式(20)对长周期开关特性图[0047]请参见图5，图5为本发明实施例提供的上升沿数据实验结果和拟合结果对比[0049]请参见图6，图6为本发明实施例提供的下降沿数据实验结果和拟合结果对比如图7所示，图7为本发明实施例提供的大气和真空条件下氧化锌光电突触器件的I_t特性[0053]本实施例基于氧化锌薄膜在暗场中氧气的吸附过程和在紫外光场中氧气的解吸[0055]示例性的，将氧化锌光电突触器件先在紫外光场下光照5min，然后放入暗场中[0060]S4、根据第一拟合结果判断氧化锌光电突触器件在紫外