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文档简介
在预设图形版图中标记与初始锚点图形相同的匹配完成后的标记后图形版图上进行锚点图形锚点标记区域中进行待匹配目标图形的模式匹2提取各所述锚点图形的形状信息和各所述锚点图形相在预设图形版图中标记与所述初始锚点图形相同的目标图案,以得到标记后图形版将所述标记后图形版图中的各所述目标图案作为匹配参照点,根据述形状信息并按照锚点匹配顺序依次在已匹配完成后的标记后图形版图上进行锚点图形在所述最终标记后图形版图的锚点标记区域中进行所述待匹配目标图形的模式匹配,在所述待匹配目标图形中选择并标记满足图形位置条件和图形形状条件的若干图形,将初始锚点图形所在的位置设置为坐标系原点,以所述初始锚点分别获取各所述锚点图形在所述坐标系中的坐标信息,以状信息并按照锚点匹配顺序依次在已匹配完成后的标记后图形版图上进行锚点图形搜索利用所述当前待匹配锚点图形的相对坐标在所述标记后图形版图中各所述匹配参照将位于所述匹配位置的版图图案与所述当前待匹配锚点图形基于比较结果确定所述预设图形版图中是否存在与所述当前待匹配锚点图形的形状相同按照所述锚点匹配顺序确定下一个锚点图形作为当前待匹配锚点图形,述利用所述当前待匹配锚点图形的相对坐标在所述标记后图形版图中各所述匹配参照点3若位于所述匹配位置的版图图案与所述当前待匹配锚点图形的若位于所述匹配位置的版图图案与所述当前待匹配锚点图形的按照预设区域筛选要求在所述最终标记后图形版图中筛选若干锚点标记区按照预设图形模式匹配规则在各所述锚点标记区域分别进行所述待匹配目标图形的锚点标记模块,用于对待匹配目标图形进行锚点标记,信息提取模块,用于提取各所述锚点图形的形状信息和第一匹配模块,用于将所述标记后图形版图中的各所述目第二匹配模块,用于在所述最终标记后图形版图的处理器,用于执行所述计算机程序,以实现如权利要求1至7任一项所序被处理器执行时实现如权利要求1至7任一项所述的4图形元素数量也急剧膨胀。因此,在先进工艺中基于规则的设计规则检查(DesignRule[0006]对待匹配目标图形进行锚点标记,以得到所述待匹配目标图形的若干个锚点图[0007]提取各所述锚点图形的形状信息和各所述锚点图形相对初始锚点图形的相对坐[0009]将所述标记后图形版图中的各所述目标图案作为匹配参照点,根据所述相对坐[0010]在所述最终标记后图形版图的锚点标记区域中进行所述待匹配目标图形的模式[0012]在所述待匹配目标图形中选择并标记满足图形位置条件和图形形状条件的若干5配完成后的标记后图形版图上进行锚点图形搜索匹配,直至所有所述锚点图形完成匹配,[0021]利用所述当前待匹配锚点图形的相对坐标在所述标记后图形版图中各所述匹配参照点的附近区域确定所述当前待匹配锚点[0022]将位于所述匹配位置的版图图案与所述当前待匹配锚点图形的形状信息进行比行所述利用所述当前待匹配锚点图形的相对坐标在所述标记后图形版图中各所述匹配参[0029]按照预设图形模式匹配规则在各所述锚点标记区域分别进行所述待匹配目标图6[0033]版图标记模块,用于在预设图形版图中标记与所述初始锚点图形相同的目标图[0034]第一匹配模块,用于将所述标记后图形版图中的各所述目标图案作为匹配参照所述计算机程序被处理器执行时实现前述公开的图形匹配方少了patternmatching所需要的时间和机7呈现出指数级的增长趋势。在物理验证中至关重要的基于规则的DRC工具面临着前所未有匹配库为集成电路版图的图形库。这个图形库是之前收集的用于进行PatternMatching计中发现的有缺陷的图形结构,或者通过模拟软件得到的可能出现问题的热点图形等,对此不作具体限定。为筛选出用于后续匹配过程利用到的关键特征,所述关键特征包括在版图中位置比较关8[0063]步骤S12:提取各所述锚点图形的形状信息和各所述锚点图形相对初始锚点图形形的水平方向为横轴,竖直方向为纵轴构建坐标系;分别获取各所述锚点图形在所述坐标系中的坐标信息,以得到各所述锚点图形相对初始锚点图形的相对坐标;对各所述锚点图锚点图形的相对坐标。用所述当前待匹配锚点图形的相对坐标在所述标记后图形版图中各所述匹配参照点的附9标在所述标记后图形版图中各所述匹配参照点的附近区域确定所述当前待匹配锚点图形数量多的图形匹配步骤,简化为低复杂度,图形少的锚点匹配,极大程度减少了pattern[0070]步骤S15:在所述最终标记后图形版图的锚点标记区域中进行所述待匹配目标图[0073]通过版图浏览工具中截取出该工艺制程下存在的缺陷或仿真得到的热点图形结言定义出所需要的pattern形状或者在PatternMatching工具中自定义画出所需pattern标记完锚点图形并给定匹配顺序后,除了第一个锚点图形需要遍历整个版图(n次匹配操少PatternMatching的时间并节约机少了patternmatching所需要的时间和机取外界输入数据或向外界输出数据,其具体的接口类型可以根据具体应用需要进行选取,等。处理器21可以采用DSP(DigitalSignalProcessing,数字信号处理)、FPGA(Field-理器是用于对在唤醒状态下的数据进行处理的处理器,也称CPU(CentralProcessing[0092]其中,操作系统221用于管理与控制电子设备20上的各硬件设备以及计算机程序特定工作的计算机程序。数据223除了可以包括电子设备接收到的由外部设备传输进来的软件的可互换性,在上述说明中已经按照功能一般性地描述了各示例的组成及步骤。这些功能究竟以硬件还是软件方式来执行,取决于技术方案的特定应用和设计约束条件。专业技术人员可以对每个特定的应用来使用不同方法来实现所描述的功能,但是这种实现不应认为超出本申请的范围。结合本文中所公开的实施例描述的方法或算法的步骤可以直接用(ElectricallyProgrammableReadOnlyMemory)、电可擦除可编程EEPROM(Electric的存储介质中。
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