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一种固态微波源等离子体光源调制方法和本发明公开了一种固态微波源等离子体光以一定的周期产生高频振荡，使频率点不断改条件下，降低电磁辐射和提高微波光源发光效2在等离子体光源启动阶段，将工作频率设置为以中心工在稳定弧光放电阶段，保持预设频谱展宽范围，并叠加具有预设占空比在稳定弧光放电阶段，通过方波控制二级放大器漏级调制或者子体光源启动阶段，将工作频率设置为以中心工作频点向两侧展宽的预设频谱展宽范围，成调制波形，然后通过压控振荡器(2)使工作频率在中心工作频点F0两侧2Δf带宽内振荡8.一种固态微波源等离子体光源调制系统，用于实现根据权利要求1_7任一项所述的优选地，还包括末级大功率放大器(7)，用于对二级功3于2.45GHz，功率700W以上。由于磁控管灯丝寿命的限制和硫灯灯泡需要电机带动旋转散4比的脉冲功率调制波形，具体为，通过微控制器产生预设(优选50_100％)要求的脉冲调制波形，经开关管对小功率射频功率放大器进行漏极调制，比的脉冲功率调制波形，具体为，通过微控制5[0024]图1为本发明提出的一种固态微波源等离子体光源调制系统的一种实施方式的结[0025]图2为本发明提出的一种固态微波源等离子体光源调制方法的一种实施方式中直[0026]图3为本发明提出的一种固态微波源等离子体光源调制方法的一种实施方式中单[0027]图4为本发明提出的一种固态微波源等离子体光源调制方法的一种实施方式中叠[0028]图5为本发明提出的一种固态微波源等离子体光源调制方法的一种实施方式中中施方式的结构示意图，图2为本发明提出的一种固态微波源等离子体光源调制方法的一种实施方式中直流信号图，图3为本发明提出的一种固态微波源等离子体光源调制方法的一种实施方式中单一中心频率图，图4为本发明提出的一种固态微波源等离子体光源调制方法的一种实施方式中叠加波图，图5为本发明提出的一种固态微波源等离子体光源调制方6[0037]参照图1，在一种具体实施方式中，所述的固态微波源等离子体光源调制系统包形成调制波形，然后通过压控振荡器2使工作频率在中心工作频点F0两侧2Δf带宽内振荡现脉冲叠加。也可以通过微控制器1产生预设频率和占空比要求的脉冲调制波形控制压控7微波功率的峰值也高于未调制的平均功率，从而产生更高的等离子体电子密度和发光强[0043]在本实施例的固态微波源等离子体光源调制系统的另一快速跳频的方法实现中心频点F0的移动，以控制微波能量最大幅度地耦合入等离子体内，在中心频点F0移动的同时，采用移频键控或其它方式实现频谱的展宽，采用幅度调制OOK

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