CN119480740A 晶圆盒搬运机器人、晶圆盒搬运方法 （深圳市辰中科技有限公司）_第1页
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文档简介

道天安社区深南大道6023号耀华创建2所述连接臂连接于所述第二移动组件上，所述移动臂枢转连接于所述第一弧形槽与所述第二弧形槽之间的距离记为第一距离，远离所述第一夹板的一侧，所述第一弧形槽对应的圆心、所述第二弧形槽对应的圆心位于远离所述第一平行板，其一端枢转连接于所述第一连接杆上，其另第二平行板，其一端枢转连接于所述第二连接杆上，其另第一交叉杆，其一端滑动连接于所述第一平行板上，其另一端第二交叉杆，其一端滑动连接于所述第二平行板上，其另一端310.一种晶圆盒搬运方法，应用如权利要求1至权利要求9任一所述的晶圆盒搬运机器将所述抽拉板抽拉至所述底座的外部，将所述第二移动组件进行转动通过所述第一移动组件、所述第二移动组件进行移动，所述机械手将所述第二移动组件进行转动，使得所述第二移动组件的移动方向4[0003]鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种晶圆盒搬运机器人、所述连接臂连接于所述第二移动组件上，所述移动臂枢转连接于所述连接臂上，5[0013]本发明还提出一种晶圆盒搬运方法，应用如上述任一所6[0026]需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本发明的基本构740与第二移动组件30之间是转动连接的，并且机械手40可相对于第二移动组件30进行转第二移动组件30的移动方向与抽拉板110的延伸方向垂直，机械手40的延伸方向与抽拉板8板436上可开设有滑槽4362，第一交叉杆4361的一端可滑动连接于第一平行板436的滑槽4362内，第一交叉杆4361的另一端可转动连接于第二平行板437靠近第二连接杆433的一二交叉杆4371的中心之间转动连接。例如，如图8所示，第二平行板437上可开设有滑槽的另一端可转动连接于第一平行板436靠近第一连接杆9[0054]动力源439与移动块438进行连接，动力源439的输出端驱动移动块438进行移[0055]具体的，动力源439驱动移动块438进行移动，移动块438移动可带动第一连接杆

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