CN119489511A 一种高压液体环境激光裂片晶锭超声分离方法及装置 （北京晶飞半导体科技有限公司）_第1页
CN119489511A 一种高压液体环境激光裂片晶锭超声分离方法及装置 （北京晶飞半导体科技有限公司）_第2页
CN119489511A 一种高压液体环境激光裂片晶锭超声分离方法及装置 （北京晶飞半导体科技有限公司）_第3页
CN119489511A 一种高压液体环境激光裂片晶锭超声分离方法及装置 （北京晶飞半导体科技有限公司）_第4页
CN119489511A 一种高压液体环境激光裂片晶锭超声分离方法及装置 （北京晶飞半导体科技有限公司）_第5页
已阅读5页，还剩7页未读， 继续免费阅读

下载本文档

版权说明：本文档由用户提供并上传，收益归属内容提供方，若内容存在侵权，请进行举报或认领

文档简介

一种高压液体环境激光裂片晶锭超声分离23需要采用后续的物理方法来辅助完成分离，其中超声波处理技术是一种常见且有效的手超声波的空化效应显著增强。空化是指超声波在液体中传播时引起的微小气泡生成与爆相比于常规压力下的超声分离，高压条件下的空化效应为裂纹扩展提供了更多的能量支4压对超声分离的促进作用。5[0018]（3）传统的超声波分离在常压下容易出现裂纹扩展不均匀或晶圆表面受损的问在分离晶圆过程中能够持续提供均匀且稳定的高压液体环境。超声波换能器6设置在高压6沫陶瓷是一种具有均匀多孔结构的无机材料，其孔径范围可以根据工艺需求进行定制，便沫陶瓷固定在液体入口4处。设置在高压水槽1相对靠近底部位置，液体入口4的角度设置为与高压水槽1内壁成30度至裂片的晶锭8通过高压水槽1顶部的样品入口2放入高压水槽1内部。根据晶锭8的尺寸和形程中，注意监测高压水槽1内的水位和压力变化。当液体完全充满高压水槽1且覆盖晶锭87

人人文库> 全部分类> 行业资料 > 信息产业

温馨提示

  • 1. 本站所有资源如无特殊说明，都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
  • 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等，如果需要附件，请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
  • 3. 本站RAR压缩包中若带图纸，网页内容里面会有图纸预览，若没有图纸预览就没有图纸。
  • 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
  • 5. 人人文库网仅提供信息存储空间，仅对用户上传内容的表现方式做保护处理，对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑，并不能对任何下载内容负责。
  • 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容，请与我们联系，我们立即纠正。
  • 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。

最新文档

评论

0/150

提交评论