CN119493047A 承载舟的检测电路、故障检测方法和半导体工艺设备 （北京北方华创微电子装备有限公司）

路用于检测半导体工艺腔室内的承载舟舟页之所述电回路的通断用于表征对应的所述承载舟2所述信号检测器用于检测对应的所述承载舟所在电回路的通断，所述电回路所述信号检测器还用于在对应的所述电回路导通时检测所述电回路的所述信号处理器用于根据所述回路参数确定所述承载舟所述信号处理器还用于根据所述电信号和所述回路参数判断所述电回路是否5.根据权利要求2所述的承载舟的检测电路，其特征在于，所述信号检测器包括继电所述继电器用于在所述电回路导通时闭合，以将所述电回路通过所述电阻连接在对应的一组所述射频输出端口之间；所述8.根据权利要求5至7任一项所述的承载舟的检在将承载舟送入半导体工艺腔室之后，采用权利要求1至8任一3艺腔室内的至少一个承载舟、各个所述承载舟对应的一组射频输出端口以及如权利要求14[0002]管式PECVD(等离子体增强化学气相沉积)这类半导体设备用于制备太阳能电池的[0003]管式PECVD设备是利用射频电源放电来电离工艺气体从而实现镀膜功能，实际生号检测器；所述信号检测器还用于在对应的所述电回路导通时检测所述电回路的回路参56术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范体工艺腔室内的承载舟舟页之间的通断，上述承载舟可以移入或者移出半导体工艺腔室，[0036]上述信号发生器用于提供电信号；例如信号发生器可以采用电流源和/或电压源YYYN7[0041]具体地，对于半导体工艺腔室对应两个承载舟(双舟工艺腔室)的半导体工艺设射频输出端口(如图2所示射频输出接口1二组射频输出端口(如图2所示射频输出接口2_第一信号发生器110a和上述第一信号检测器110b形成电回路(简称回路1)，该电回路的通二信号检测器120b形成电回路(简称回路2)，该电回路的通断可以表征第二石墨舟是否存器120，又如图3b所示信号处理器130分别连接第一信号检测器120a和第二信号检测器8[0047]上述信号检测器还用于在对应的上述电回路导通时检测[0048]可选地，信号处理器130可以包括PLC(可编程逻辑控制器)或者FPGA(现场可编程流位置关系或者电压位置关系等对应关系。[0050]在一个示例中，参考图4a和图4b所示，上述信号处理器130还连接各个信号发生第一信号发生器110a和第二信号发生器1[0052]可选地，上述信号处理器130还可以用于根据电信号和回路参数判断电回路是否号处理器130可以预存信号发生器110提供的电信号的特征，也可以实时检测信号发生器信号处理器130可以在故障检测时机(如将承载舟送入工艺腔室之后)开启各个信号发生130可以在检测过程监测对应的信号发生器是否在稳定地提供电信号，并在信号发生器未9路故障，该检测电路可以在将承载舟放进腔室后等对应工艺的较早时机检测承载舟的故升对应半导体工艺设备的产能。上述检测电路还可以通过信号处理器130检测对应的上述[0062]基于上述问题，本申请第二方面还提供一种承载舟的故障检测方法，参考图9所[0065]上述承载舟的故障检测方法可以在将承载舟送入半导体工艺腔室之后增加检测[0072]以上承载舟的故障检测方法采用上述任一实施例的承载舟的检测电路检测工艺于描述这样的组件的术语旨在对应于执行所述组件的指定功能(例如其在功能上是等价的)的任意组件(除非另外指示)，即使在结