JJF（闽）1063－2014 体视显微镜校准规范

CalibrationSpecificationforStereo福建省质量技术监督局发布JJF（闽）1063-2014体视显微镜校准规范体视显微镜校准规范CalibrationSpecifica本规范经福建省质量技术监督局2014年07月15日批准，并自JJF（闽）1063-2014JJF（闽）****-2014I （2） （2） （2） （2） 6.1环境条件 （4） （4） （6） （6） （6）JJF（闽）1063-2014 （8） （8） （9） JJF（闽）1063-20141体视显微镜校准规范注：在国标中称为“齐焦”。注：国标中称为“左右光学系统的聚焦差”。JJF（闽）1063-20142图1体视显微镜的外形图1—目镜；2—视度调节圈；3—目镜筒；4—变倍手轮；5—弹性压片；6—载物台；7—底座；8—棱镜罩；9—电源线；10—立柱；11—调焦滑座表1成像清晰范围普及型高性能上下方向≥60%，左右方向≥50%。上下方向≥70%，左右方向≥60%。体视显微镜变换不同放大倍率物镜时，变倍齐焦差一般不大于0.6mm。JJF（闽）1063-20143λ—光波波长，通常λ=0.00055mm。表2变倍齐中差技术指标（单位：mm）类型普及型高性能连续变倍型——≤0.4有级变换型≤1.2物镜卸换型≤2.5注：校准不对测量结果作合格与否的判断，以上技术指标供参考。6.1.1温湿度条件：校准室内温度为（20±10）℃,相对湿度不大于85%。JJF（闽）1063-20144表3校准项目及主要测量设备序号校准项目主要测量设备1成像清晰范围分度值0.2mm、0.5mm的网格板2变倍齐焦差分度值0.2mm、0.5mm的网格板、百分表3左右齐焦差分度值0.2mm、0.5mm的网格板、百分表4变倍齐中差分度值为0.1mm的十字分划目镜（MPE:±0.01mm）、十字分划板5左右齐中差分度值为0.1mm的十字分划目镜（MPE:±0.01mm）、十字分划板6分辨力A4、A5、A7号分辨力板7物镜放大倍率误差分度值为0.1mm、0.01mm的玻璃线纹尺（MPE:±0.01mm）8左右光学系统放大倍率差分度值为0.1mm、0.01mm的玻璃线纹尺（MPE:±0.01mm）注：也可采用满足测量不确定度要求的其它测量设备进行校准。清晰范围D1按下式计算:JJF（闽）1063-20145体视显微镜变倍齐焦差使用网格板校准，物镜倍率不大于1倍时一般采用hb左=h左max-h左min可利用7.2变倍齐焦差中得到的测量值，按下式计算各倍物镜左右齐焦差JJF（闽）1063-20146从上式计算得到的各倍物镜测量值中取绝对值最大的那一个测量结果作为右两侧目镜所得到的测量结果中的最大值作调节显微镜的瞳距至65mm，将十字分划板置于视场中央，目镜筒中插入十根据分辨力板号与图案单元的号码，从附录A（栅格状分辨率板线宽表)查JJF（闽）1063-20147从以上得到的各倍物镜测量值中取最小的那一个测量值作为分辨力测量结（7）（8）从以上得到的各倍物镜测量值中取最大的那一个测量值作为物镜放大倍率JJF（闽）1063-20148微镜本身质量等诸因素所决定的，因此，送校单位可根据实际使用情况自主决定JJF（闽）1063-20149分辨率板号A1A2A3A4A5A6A7分辨率图案单元号线宽度b值/μm12345678995.189.884.880.075.371.367.363.559.556.653.450.447.644.942.440.080.075.571.367.363.559.956.653.450.447.644.942.440.037.835.633.631.730.028.326.725.223.822.421.220.040.037.835.633.631.730.028.326.725.223.822.421.220.020.09.448.918.417.947.497.076.676.305.955.615.305.009.448.918.417.947.497.076.676.385.955.615.305.004.724.454.203.973.753.543.343.152.972.812.652.507.507.086.686.315.955.625.305.014.724.464.213.973.753.543.343.152.982.812.652.502.362.232.105.004.724.454.203.973.753.543.343.152.972.812.652.502.362.232.10JJF（闽）1063-2014送校单位记录编号样品名称体视显微镜型号规格制造厂出厂编号标准器名称型号规格仪器编号技术特征证书编号技术依据JJF（闽）****—2013《体视显微镜校准规范》校准地点温度：℃相对湿度：%校准日期证书编号校准员核验员序号校准项目校准结果普及型高性能1成像清晰范围上下左右2变倍齐焦差≤0.6mm3左右齐焦差<1.5DF4变倍齐中差有级变换型≤1.2mm≤0.4mm左光路物镜卸换型≤2.5mm右光路5左右齐中差上下≤0.2mm,左右≤0.4mm6分辨力≥1200NA线对/mm倍率左光路右光路7物镜放大倍率误差8左右光学系统放大倍率差标称倍率左光路右光路左右倍率差变倍齐焦差左右齐焦差左右齐中差像L'物Lδ像L'物Lδ△y物镜放大倍率误差的校准结果测量不确定度：备注JJF（闽）1063-2014）；g)进行校准的日期，如果与校准结果的有效性和应用有关时，应说明被校对象；；表C.1校准证书内页格式序号校准项目校准结果1成像清晰的范围2变倍齐焦差3左右齐焦差4变倍齐中差5左右齐中差6分辨力标称倍率7.左光路放大倍率误差7.右光路放大倍率误差放大倍率校准结果测量不确定度（k＝2）8.左右光学系统放大倍率差附加说明：JJF（闽）1063-2014x100%（D.1）把代入上式（D.1）可得x100%（D.2）可得：u(y)=u2(δi)=cu2(L＇)+cu2(L)，故c2可简化为cJJF（闽）1063-2014输入量L＇引入的不确定度分量u(L＇)由测量重复性引入的不确定度分量表D.1重复性测量结果格序号123456789测量值99.099.199.299.399.499.599.599.599.699.6采用B类不确定度方法进行评定，目镜标尺刻线间距的允许误差为±u2(LD.4.2玻璃线纹尺允许误差引入的不确定度分量u(L)采用B类不确定度方法进行评定，玻璃线纹尺的刻线间距的允许误差为±u(L)=0.01mm/3=0.006mm表D.2标准不确定度分量一览表标准不确定度分量u(xi)不确定度来源标准不确定度值u(xi)（mm）ci×u(xi)输入量L10.022-0.10.0022测量重复性0.021//u2(L目镜标尺允许误差0.006//u(L)玻璃线纹尺允许误差0.0060.10.0006u(δi)=0.0023=0.23%u(δi)=0.0023=0.23%)=2×0.23%=0.5%表D.3各放大倍率误差的测量结果不确定度放大倍率β标线纹尺间距L灵敏系数不确定度分量标准不确定度u扩展不确（k=2）c1c2u(L)0.5×-0.20.10.0220.0060.00440.9%-0