CN119500690A 一种电子显微镜清洗设备及方法 (大束科技(北京)有限责任公司)_第1页
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文档简介

个电极端分别与所述电子光学配件以及所述电供的电子显微镜清洗设备中供电设备的两个电极端分别与电子光学配件以及所述电子光学配极端在一定的真空情况下起辉产生高能量的无2所述供电设备(1)的两个电极端分别与所述电子光学配件以及所述电子光学配件内部置有导电支脚B(32),所述导电支脚B(32)的连接端穿过所述镜筒(21)与所述供电设备(1)6.根据权利要求1所述的电子显微镜清洗设备,其特征8.根据权利要求7所述的电子显微镜清洗设备,其特电极端均设置有夹持装置,所述供电设备(1)通过所述夹持装置可拆卸的与所述电子光学9.根据权利要求1至8中任一项所述的电子显微镜备(1)的电路上设置有电流检测电路(4),且所述电流检测电路(4)上设置有启辉指示灯将供电设备(1)的两个电极端分别与所述电子光学配件以及所述电子光学配件内部的3[0009]所述供电设备的两个电极端分别与所述电子光学配件以及所述电子光学配件内4[0019]将供电设备的两个电极端分别与所述电子光学配件以及所述电子光学配件内部[0023]本申请提供的电子显微镜清洗设备中供电设备的两个电极端分别与电子光学配的真空度,供电设备的两个电极端在一定的真空情况下起辉产生高能量的无序的等离子5[0036]供电设备1的两个电极端分别与电子光学配件以及电子光学配件内部的待清洗组[0041]该电流检测电路4能够检测镜筒21内的真空情况,以判断电子光学配件以及电子[0049]供电设备1通过夹持装置可拆卸的与电子光学配件以及电子光学配件内部的待清洗组件22电连接,以使供电设备1与电子光学配件以及电子光学配件内部的待清洗组件226[0053]需要说明的是,该电子显微镜清洗设备还能够对电子显微镜中的电子枪进行清[0058]将供电设备1的两个电极端分别与电子光学配件以及电子光学配件内部的待清洗[0059]随后,工作人员便可以启动供电设备1,由于电子光学配件的内部的真空度比较配件以及

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