CN119509362A 一种光学标定成像系统和光学标定方法 （天津中科晶禾电子科技有限责任公司）

司技园新北路4668号创新创业园22-A号本发明公开了一种光学标定成像系统和光件；检测光源用于出射检测光线至第一光学组计算光学标定成像系统中的光学器件造成的实际偏移量并将该实际偏移量补偿在晶圆对位过2所述误差检测单元包括检测光源和第一光学组件；所述检测光源用于所述第一成像单元用于在第一样品位于第一成像光路上时获取二成像单元用于在第二样品位于第二成像光路上所述第二检测光路复用为部分所述第一成像光路和部分所述第二成所述控制单元根据所述第一检测图像、所述第二检测图像、所述所述框架包括第一分部、第二分部和第三分部；所述第一分部连接所所述第一成像单元和所述误差检测单元设置在所述第二分部的容纳空间所述第一透镜用于接收所述检测光线并平行出射至所述第一分光镜，经镜分束为沿所述第一检测光路传播的所述检测光线和继续沿所述检测光线出射方向传播所述第二分光镜用于接收所述第一分光镜分束的所述检测光线并将所述检测光线反所述点光源用于出射光线至所述整形单元，所述整形单元用于将所述第一光源用于出射第一成像光束至所述第二光学组件，所述第二一成像光束并将所述第一成像光束传输至所述第所述第二光源用于出射第二成像光束至所述第三光学组件，所述第三3二成像光束并将所述第二成像光束传输至所述第所述第三光学组件包括沿经所述第二样品反射的所述第二成像光束传播方向上依次所述第二成像光路上还包括第五透镜；所述第五透镜设置在所述第二光所述第二筒镜设置所述第二成像单元和所述第三光学组件之间且在所述第二成像光根据所述第一检测图像、所述第二检测图像、所述第一成像根据所述第一检测图像和所述第二检测图像根据所述第一成像图像和所述第二成像图像确定根据所述理论待移动量和所述实际偏移量确4二检测光路输送至第二成像单元中；第一成像单元用于接收检测光线生成第一检测图像，[0015]第二分光镜用于接收第一分光镜分束的检测光线并将检5[0017]点光源用于出射光线至整形单元，整形单元用于将光线整形[0022]第三光学组件包括沿经第二样品反射的第二成像光束传播方向上依次设置的第[0026]第二筒镜设置第二成像单元和第三光学组件之间且在第二成像光束的传播路径6光学标定成像系统中的光学器件造成的实际偏移量并将该实际偏移量补偿在第一样品和[0038]应当理解，本部分所描述的内容并非旨在标识本发明的实施例的关键或重要特员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本发明保护的范据本发明实施例提供的第一种光学标定成像系统的电连接示意图，图3是根据本发明实施例提供的第二种光学标定成像系统的光路示意图，图4是根据本发明实施例提供的第三种[0051]误差检测单元3包括检测光源31和第一光学组件32；检测光源31用于出射检测光7[0052]第一成像单元1用于在第一样品51位于第一成像光路上时获取第一成像图像；第二成像单元2用于在第二样品52位于第二成像光路上[0056]其中，误差检测单元3可用于在第一成像单元1和第二成像单元2中生成第一检测的检测光线a经过第一光学组件32进入第一检测光路和第二检测光路中，由第一检测光路二检测图像上的光斑形状大小由检测光源31出射的检测光线a决定且理论上第一检测图像测图像和第二检测图像会产生相对位移导致两者不同，进而控制单元4可根据第一检测图光线输入至第一成像单元1中，第二成像光路可用于将第二样品52反射后的光线输入第二成像单元2中。由于第一检测图像和第二检测图像目的为光学标定成像系统中的光学器件测第一成像单元1中的图像和图像上的标记点以获取最清晰的且具备标记点的第一成像图8通过控制单元4结合第一成像图像和第二成像图像计算理论待移动量，并结合待移动量和元计算光学标定成像系统中的光学器件造成的实际偏移量并将该实际偏移量补偿在第一[0065]第一成像单元1和误差检测单元3设置在第二分部902的容纳空间中；第二成像单元2设置在第三分部903的容纳空间中；第一样品51和第二样品52设置在第二分部902和第误差检测单元3设置在框架90的容纳空间中。第一分部904可用于连接第二分部902和第三第二分部902和第三分部903之间的检测位置完成图像的[0067]可以理解的是，实际设置的光学标定成像系统中，由于第二分部902和第三分部903之间需设置空间容纳第一样品51和第二样品52且需可容纳第一样品51和第二样品52的第二分部902指向第三分部903方向第一分部904尺寸大。当光学标定成像系统受到机械振9分束为沿第一检测光路传播的检测光线a和继续沿检测光线a出射方向传播的检测光线a；[0075]第二分光镜33用于接收第一分光镜322分束的检测光线a并将检测光线a反射至第[0077]具体的，第二分光镜33接收第一分光镜322分束的检测光线a并将检测光线a反射[0078]可以理解的是，本发明实施例中的第二分光镜33可既具[0079]本发明实施例的技术方案，通过在第一检测光路上设置[0081]点光源311用于出射光线至整形单元312，整形单元312用于将光线整形为检测光样品51在第一成像单元1中成像提供光线，第二光学组件7可用于传输第一光源6的第一成在第二成像单元2中成像提供光线，第三光学组件9可用于传输第二光源8的第二成像光束二光学组件7将第一成像光束b传输至第一样品51上，第一样品51反射第一成像光束b至第在第二光学组件7和第三光学组件9的间隙中，第一样品51和第二样品52之间无光学器件，[0091]本发明实施例的技术方案，通过在第一成像光路上设置第一光源和第二光学组[0093]第三光学组件9包括沿经第二样品52反射的第二成像光束c传播方向上依次设置第三分光镜72和第四分光镜73均具备透射反射功能，第三分光镜72将第一光源6发出的第反射镜93镜将第二成像光束c反射至第一成测光线a透射至第三分光镜72上，第三分光镜72进而透射至第五分光镜92和第二反射镜93源6和第二光学组件7之间且在第一成像光束b的传播路径上；第四透镜61的焦点与第二透第五透镜81的焦点与第三透镜91的焦点重合，经过第五透镜81的第二成像光束c聚焦至第五分光镜92上，又经第五分光镜92入射至第三透镜91上，提高了第二成像光束c的成像质[0100]基于同样的发明构思，图6是根据本发明实施例提供的第一种光学标定方法的流测第一成像单元1中的图像和图像上的标记点以获取最清晰的且具备标记点的第一成像图通过控制单元4结合第一成像图像和第二成像图像计算理论待移动量，并结合待移动量和一检测图像和第二检测图像计算光学标定成像系统中的光学器件造成的实际偏移量并将[0113]在上述实施例的基础上，图8是根据本发明实施例提供的第二种光学标定方法的一检测图像和第二检测图像计算光学标定成像系统中的光学器件造成的实际偏移量并将