CN119509364A 测量装置、测量系统和测量方法 （华为技术有限公司）

包括：第一干涉仪沿第一方向与位移台间隔设第一干涉仪的第一光轴和第二干涉仪的第二光冗余光轴用于测试位于位移台上沿第二方向设光轴用于测试位于位移台上沿第一方向设置的2所述第一干涉仪沿第一方向与所述位移台间隔设置，所述第二干涉仪所述第一干涉仪被配置为产生多个第一光轴，所述第二干涉仪被配置为所述多个第一光轴中的一个为第一冗余光轴，所述第一冗余光轴的第一光轴和所述多个第二光轴用于伺服所述位移台沿所述多个所述多个第二光轴中的一个为第二冗余光轴，所述第二冗余光轴的第二光轴和所述多个第一光轴用于伺服所述位移台沿所述多个所述多个第二光轴中除所述第二冗余光轴以外的第二光轴，用于伺服所述多个第一光轴，还用于伺服所述位移台沿所述第五方向和所述第所述多个第二光轴中除所述第二冗余光轴以外的第二光轴，还所述多个第一光轴中除所述第一冗余光轴以外的第一光轴，用于伺服所述多个第二光轴，还用于伺服所述位移台沿所述第四方向和所述第所述多个第一光轴中除所述第一冗余光轴以外的第一光轴，还3至少两个所述第二光轴在所述第二方向上间隔设置，且所述第一干涉仪沿第一方向与所述位移台间隔设置，所述第二干涉仪所述第一反射镜设置于所述位移台上沿所述第二方向的第一支撑面，所述第一干涉仪被配置为产生多个第一光轴，所述第二干涉仪被配置为所述多个第一光轴中的一个为第一冗余光轴，所述第一冗余光轴用所述多个第二光轴中的一个为第二冗余光轴，所述第二冗余光轴用述第一方向的所述第二支撑面，所述第三反射镜沿所述第三方向与所述位移台间隔设置，所述多个第二光轴中除所述第三冗余光轴以外的第二光轴，用于伺服所述多个第一光轴，用于伺服所述位移台沿所述第一方向移动，以及述第二方向的所述第一支撑面，所述第四反射镜沿所述第三方向与所述位移台间隔设置，4所述多个第一光轴中除所述第四冗余光轴以外的第一光轴，用于伺服所述多个第二光轴，用于伺服所述位移台沿所述第二方向移动，以及所述多个第二光轴中的一个为第五冗余光轴，所述第五冗余光轴，用于所述多个第一光轴，用于伺服所述位移台沿所述第一方向和所述第三所述多个第二光轴中除所述第五冗余光轴以外的第二光轴,用于伺服所述位移台沿所所述多个第一光轴，还用于伺服所述位移台沿所述第五方向和所述第所述多个第二光轴中除所述第五冗余光轴以外的第二光轴，还控制第一冗余光轴测试第一反射镜，以及控制多个第一光5控制第二冗余光轴测试第二反射镜，以及控制多个第二光外的第二光轴和所述多个第一光轴伺服所述位移台沿所述多个自控制所述多个第二光轴中的至少一个所述第二光轴通过控制所述多个第二光轴中除所述第三冗余光轴以外的第二光轴，控制所述多个第一光轴伺服所述位移台沿所述第一方向控制所述多个第一光轴中的至少一个所述第一光轴通过控制所述多个第一光轴中除所述第四冗余光轴以外的第一光轴，控制所述多个第二光轴伺服所述位移台沿所述第二方向控制所述多个第一光轴伺服所述位移台沿所述第一方向和所述第三方向的位移值为控制所述多个第二光轴中除所述第五冗余光轴以外的第二光轴伺服所述位移台沿所控制所述多个第一光轴伺服所述位移台沿所述第五方向和所述第六方向的位移值为控制所述多个第二光轴中除所述第五冗余光轴以外的6余光轴以外的第二光轴和多个第一光轴用于伺服位移台沿多个自7[0016]这种设计中，通过将至少三个第一光轴或至少三个第二位移台上沿第二方向的第一支撑面，第二反射镜设置于位移台上沿第一方向的第二支撑8二光轴和多个第一光轴用于伺服位移台沿多方向为位移台绕第三方向旋转的方向。多个第二光轴中除第三冗余光轴以外的第二光轴，方向为位移台绕第三方向旋转的方向。多个第一光轴中除第四冗余光轴以外的第一光轴，9用于伺服位移台沿第一方向和第三方向的位移值为0。多个第二光轴中除第五冗余光轴以第二光轴中除第五冗余光轴以外的第二光轴伺服位移定在二维调整架(俯仰调整和倾斜调整)上，分光棱一光轴和第二光轴用于测量位移台Y向位置并进行伺服控制，第三光轴和第四光轴用于位和多个第一光轴用于伺服位移台51沿多个光轴中除第二冗余光轴以外的第二光轴用于伺服位移台51沿第二方向和第三方向的位移个第二光轴中除第二冗余光轴以外的第二光轴还用于伺服位移台51沿第四方向的位移值可以通过多个第一光轴和多个第二光轴共同配合以伺服位移台51沿除了第一方向以外的伺服位移台51除第二方向以外的沿其他方第四方向和第六方向的位移值为0。多个第一光轴中除第一冗余光轴以外的第一光轴还用[0100]图6中的(b)示出了第二反射镜测试的流程图，测试置和第一反射镜71相对设置，第二干涉仪53的第二光轴的位置和第二反射镜72相对设置。三方向的夹角为90°。第三冗余光轴以外的第二光轴可以伺服位移台51沿第二方向和第三方向的位移值为0。由第四冗余光轴以外的第一光轴可以伺服位移台51沿第一方向和第三方向的位移值为0。由沿第五方向和第六方向的位移值为0。多个第二光轴中除第五冗余光轴以外的第二光轴还第一冗余光轴以外的第一光轴和多个第二光轴伺服位移台沿冗余光轴以外的第二光轴和多个第一光轴伺服位移台沿多个自移值为0。以及控制多个第二光轴中除第五冗余光轴以外的第二光轴伺服位移台沿第二方第一光轴伺服位移台沿第五方向和第六方向的位移值为0。以及控制多个第二光轴中除第应各个功能划分各个功能模块，也可以将两个或两个以上的功能集成在一个处理模块中。[0161]所述集成的单元如果以软件功能单元的形式实现并作为独立的产品销售或使用或者说对现有技术做出贡献的部分或者该技术方案的全部或部分可以以软件产品的形式片机，芯片等)或处理器(processor)执行本申请各个实施例所述方法的全部或部分步骤。