CN119509418A 一种高精度直角检测装置和检测方法 （中国科学院精密测量科学与技术创新研究院）

激光和出射激光测量亚稳态锂离子的离子光谱然后一阶多普勒效应反推出入射激光和出射激本发明的方法可以将角度测量的精度提升到迁谱线或分子跃迁谱线为参考，可供使用的离2待测原件（1）的其中一个直角面；数据处理模块（602）还通过信号传输线与声光调制器饱和吸收光谱线型，并根据第一次测量的饱和吸收光谱线型拟合得到第一次测量的中心频率；38.根据权利要求7所述一种高精度直角检测方法，,,4[0002]角度测量在精密测量与定位方面具有重要意义与应用，在工业制造中的精密加[0004]本发明的目的在于针对现有技术存在的上述问题，提供一种高精度直角检测装5的激光出射端通过第一光纤耦合头与光纤一端连接，光纤的另一端与第二光纤耦合头连输线与光电倍增管连接，成像透镜将离子发出的荧光信号聚焦到光电倍增管的感光面上，[0012]步骤1、数据处理模块开启离子源，离子源制备离子并引出形成设定速度的离子6的方向射出，准直后的离子束穿过入射激光201和出射激光203，入射激光201和出射激光203激发亚稳态锂离子跃迁并发出荧光信号，荧光收集模块收集亚稳态锂离子发出的荧光7[0034]入射激光201与待测原件1的两个直角面的角平分面平行，入射激光201与出射激光203所在平面与待测原件1的两个直角面的角端连接，声光调制器604的激光出射端通过第一光纤耦合头605与光纤606一端连接，光纤[0037]荧光收集模块包括成像透镜302和光电倍增管301，数据处理模块602还通过信号增管301的感光面上，光电倍增管301探测到荧光信号后将荧光信号转变为电压脉冲信号，[0038]激光器603用于产生单频单模的入射激光201；对声光调制器604用来扫描激光器[0039]亚稳态锂离子跃迁发出各向同性的荧光信号，其中达到成像透镜302的荧光信号倍增管301探测到荧光信号后转变为电压率数据处理模块602连接声光调制器604扫描激光频率进行光谱的扫描；数据处理模块光203测量亚稳态锂离子的离子光谱来计算入射激光201和出射激光203的一阶多普勒效射激光203的夹角205最终计算得到待测原件1的直角角度，本发明的方法可以将角度测8态锂离子跃迁并发出荧光信号，光电倍增管301探测到荧光信号后将荧光信号转变为电压号以及激光器603输出的激光频率得到第一次测量的饱和吸收光谱线型，并根据第一次测[0047]f=f+嘤+fiBsinp（1）亚稳态锂离子跃迁并发出荧光信号，光电倍增管301探测到荧光信号后将荧光信号转变为冲信号以及激光器603输出的激光频率得到第二次测量的饱和吸收光谱线型，并根据第二可以得到：[0052]将第一次测量后拟合得到的谱线中心频率和第二次测量后拟合得到的谱线中/2，同样，待测原件1的第二直角面102与第二参考面403构成直角/2，则第一直角面101与第二参考面403的夹角404的大小完全等于第二直角面102与第一参考面401的夹角402，将第一直角面101与第二参考面403的夹角404和第二直角面102与第一参考面401的夹角402记为9[0056]本发明的方法是在入射激光201和出射激光203平行情况饱和吸收光谱是由运动速度与参与作用的两束光（本实施例中为入射激光201和出射激光f-所属技术领域的技术人员可以对所描述的实施例作各种各样的修改或补充或采用类似