CN119515984A 一种定位测量区域参考点的方法及装置 （弈芯科技(杭州)有限公司）_第1页
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本申请公开了一种定位测量区域参考点的2以测量区域点EP为中心设置搜索范围，提按照筛选加权特征值排序后，根据筛选条件对候选点进行筛选，已获得定所述按照筛选加权特征值排序后，根据筛选条件对候选点进行筛选排除所述EP范围内的候选点；从剩余候选点中，将加权特9.根据权利要求8所述的方法，所述筛选条件还包括所述候选点与所述EP的连线角度所述剩余候选点中，将加权特征值最大且候选点与EP的连线角度合理3执行权利要求1_9任一项所述的定位测量第一提取模块，用于以EP为中心设置搜索范围，提取搜索范围内4[0002]为了满足对更高速度和更高集成度的半导体器件需求，电路图案变得越来越精因此，关键尺寸扫描电子显微镜（CD_SEM，CriticalDimensionScanningElectron工程师会使用从晶圆上获取的图像作为参考模板。这些图像通常是通过光学显微镜或扫描电子显微镜（SEM）拍摄的。而为了使用CD_SEM进行测量，操作员需要将显微镜的视场调整样品的位置，使指定的测量区域准确地位于显微镜的视场中央。由于操作员需要手动[0004]为了应对这一手动操作耗时的问题，行业内逐渐引入了基于自动化的技术方这些方法主要通过图像匹配和像素遍历来识别图像特征，尤其是基于自动对焦点（AFP，以测量区域点EP为中心设置搜索范围，提取搜索范围内的几何线段及其分割点，5每个所述候选点的特征值包括每个所述候选点与EP的距离特征值、对称性特征[0015]在一种示例性实例中，所述筛选条件还包括所述候选点与所述EP的连线角度合计算机可执行指令用于执行上述任一项所述的定67[0027]在附图的流程图示出的步骤可以在诸如一组计算机可执行指令的计算机系统中8计算width/space方向的第二对称性特征值，width和space方向的对称性体现了合并length方向的第一对称性特征值和width/space方向的第二对称性特征值，[0048]在一种实施例中，合并length方向的第一对称性特征值和width/space方向的第9γ特征值最大且候选点与EP的连线角度合理的点作为定位可执行指令用于执行上述任一项所述的定位测[0065]图2为本申请

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