CN119517801A 基板处理方法及基板处理装置 （株式会社斯库林集团）

201910936715.02019.09.29内上4丁目天神北町1番地之1(邮递区本发明提供一种可对喷出至基板的端部的液柱状的处理液进行拍摄的基板处理方法及基保持于基板保持部的基板的上表面而言更高的置而言更低的位置的喷嘴的喷出口向保持于基口喷出的处理液的摄像区域且自基板的上方的2上升工序，使包围所述基板保持部的外周的杯状构件上升，并位于较保持于所述基板保持部的所述基板的上表面斜面处理工序，自位于较所述上端位置而言更低的位置的多个喷嘴的任摄像工序，使照相机对包含自所述喷出口喷出的处理液的摄像区域进行拍摄所述摄像工序中，将所述照相机配置于被保持于所述基板保持部的所述基板的上方，且在俯视时相对于所述多个喷嘴而位于所述基板的中心侧且为所述基板保持部的旋转方并使位于所述基板的所述上表面的端部的上方的所述多个喷嘴在自所述摄像位置进所述摄像位置为：所述照相机的光接收面的下端的高度位置成为与所判定所述摄像图像中位于所述喷嘴的正下方且较纵向而言在横向上长的喷出判定区基于液体飞溅判定区域内的像素的像素值，判定是否产生所述处述喷出判定区域而言的所述基板的旋转方向在所述摄像图像中、在相对于所述喷出判定区域而言的所述所述喷出判定区域是设定于所述摄像图像中包含通过镜面反射而映现于所述基板的3所述照相机的曝光时间是设定为所述基板旋转一周所需的基于在所述基板旋转一周所需的时间以上的时间内利用所述照相机取得的多个摄像自所述摄像图像切出位于所述喷嘴的正下方且较纵向而言在横向上长的喷出判定区使所述喷嘴自所述基板周缘位置向所述基板的中心部的处理位置移动规定宽度的工照相机，从位于在俯视时较所述处理位置更靠所述基板的所述照相机及所述多个喷嘴在所述照相机从所述摄像位置对所述摄像区域进行拍摄所述照相机的光轴方向在纵深方向上彼此偏离的升降机构，使所述杯状构件上升，并使所述杯状构件的上端所述摄像位置为：所述照相机的光接收面的下端的高度位置成为与通过所4照相机移动机构，使所述照相机在较所述杯状构件而言更靠外喷嘴移动机构，使所述多个喷嘴在较所述杯状构件而言更靠所述照相机及所述多个喷嘴被固定于所述喷嘴臂。56相机对作为包含自所述喷嘴的所述喷出口喷出的处理液的摄像区域且自保持于所述基板[0022]基板处理方法的第4实施方式根据第2实施方式或第3实施方式的基板处理方法，摄像图像中相对于所述喷出判定区域而言的所述基板的旋转方向的[0024]基板处理方法的第6实施方式根据第2实施方式至第5实施方式中任一实施方式的基板旋转一周所需的时间以上的时间内利用所述照相机取得的多个摄像图像进行积分或[0028]基板处理方法的第10实施方式根据第9实施方式的基板处理方法，其中在所述监7[0029]基板处理方法的第11实施方式根据第1实施方式至第10实施方式中任一实施方式所述喷嘴自所述基板周缘位置向所述基板的中心部的处理位置移动规定宽度理液的摄像区域且自保持于所述基板保持部的所述基板的上方的摄像位置看到的摄像区[0032]根据基板处理方法的第1实施方式及基板处理装置的实施方式，可对自喷嘴喷出[0034]根据基板处理方法的第3实施方式，可使用在喷出的有无中使用的第一统计量来[0035]根据基板处理方法的第4实施方式，使用设定于容易产生液体飞溅的方向上的液[0036]根据基板处理方法的第5实施方式，在不易产生液体飞溅的区域并未设定液体飞[0037]根据基板处理方法的第6实施方式，通过镜面反射而映现于基板的上表面的液柱89[0127]所述基板处理装置100通过一边使基板W在水平面内旋转，一边对基板W的端部供3PO4[0128]基板处理装置100包括：分度器(indexer)102、多个处理单元1及主搬送机器人搬出/搬入腔室10的搬出口/搬入口及使所滤单元14用于将设置有基板处理装置100的洁净室(cleanroom)内的空气进一步净化，并室10内的风扇及过滤器(例如，高效空气过滤器(HighEfficiencyParticulateAir旋转基座(spinbase)21，所述旋转基座21以水平姿势固定于沿着铅垂方向延伸的旋转轴[0139]圆板形状的旋转基座21的外径比保持于基板保持部20的圆形的基板W的直径稍[0140]在旋转基座21的保持面21a的周缘部竖立设置有多个(本实施方式中为4根)卡盘销26分别抵接于基板W的外周端来握持基板W，而可在旋转基座21的上方以接近保持面21a的水平姿势保持所述基板W(参照图3)，并且可使多个卡盘销26分别自基板W的外周端离开[0141]在基板保持部20通过利用多个卡盘销26的握持而保持有基板W的状态下，旋转马达22使旋转轴24旋转，由此可使基板W绕通过基板W的中心的沿着铅垂方向的旋转轴CX旋基板W的端部的上方的处理位置与较处理杯40而言更靠外侧的待机位置之间沿着水平方向个喷出喷嘴31彼此同步地移动。三个喷出喷嘴31设置于处理位置中沿着基板W的周向排列打开，而来自处理液供给源37的处理液流经配管34的内部并自喷出喷嘴31的喷出口喷出。在喷出喷嘴31停止于处理位置的状态下喷出的处理液着落于保持于基板保持部20的基板W处理液自喷出喷嘴31的前端作为比较大的块体(液滴置与较处理杯40而言更靠外侧的待机位置之间呈圆弧状移动。此喷出喷嘴61也对基板W的箭头AR69所示般在基板W的大致中央的上方的处理位置与较处理杯40而言更靠外侧的待机设置于处理单元1的处理液供给部并不限定于三个，只要为一个以上即可。处理液供给部的高度位置称为处理杯40的上端位置。处理杯40的上端位置与基板W的在铅垂方向上的间包含自三个喷出喷嘴31中位于中央的喷出喷嘴31喷出的大致液柱状的处理液Lq1。此处所述的大致液柱状的处理液Lq1是指自喷出喷嘴31的前端朝向基板W的上表面流下的处理液动机构63通过使固定构件62位移，而使照相机70移动至基板W的上方的摄像位置。具体而[0165]在图2的例子中，喷出喷嘴31的待机位置相对于照相机70的待机位置而位于在顺喷出喷嘴31的前端与自喷出喷嘴31的前端喷出的大致液柱状的处理液Lq1的摄像区域进行[0167]在图2的例子中，照相机70在俯视时，相对于喷出喷嘴31而位于基板W的中心即，照相机70相对于基板W而言的径向上的位置位于较喷出喷嘴31的径向上的位置而言更与喷出喷嘴31的虚拟直线L1和照相机70的光轴所成的角度θ1(0<θ1＜90)大于与直线L1正IM1中包含三个喷出喷嘴31的全部，因此可以自摄像位置观察时三个喷出喷嘴31在横向上[0170]在图2的例子中，照相机70相对于喷出喷嘴31而位于基板保持部20的旋转方向的喷嘴31的一侧(图3的腔室10内的右上区域)。处理杯40的上端位置位于比喷出喷嘴31的前状构件的前端向铅垂下方延伸的第二棒状构件。第二棒状构件的前端与上表面构件732连面构件732及下表面构件734以其厚度方向沿着铅垂方向的姿势配置，侧面构件733以其厚表面构件734也作为支撑照相机70的支撑构件9对由照相机70取得的摄像图像IM1进行图像处理。因此，控制部9作为图像处理部发挥功得的摄像图像IM1中适当地包含自喷出喷嘴31喷出的大致液柱状的处理液Lq1。控制部9通中央处理单元(CentralProcessingUnit，CPU)，进行各种运算处理；只读存储器(ReadOnlyMemory，ROM)，为存储基本程序的读出专用的存储器；随机存取存储器(Random一个喷出喷嘴31的前端附近的区域R1放大的图。喷出判定区域R2为摄像图像IM1中的喷出喷嘴31的正下方的区域，且为包含自喷出喷嘴31喷出的大致液柱状的处理液Lq1的一部分的位置是以处理液Lq1的宽度方向上的两端包含于所述喷出判定区域R2内的方式设定。喷出判定区域R2的纵向上的宽度被适宜地设定，例如所述宽度也可为与几个像素相当的宽图像IM1内的喷出喷嘴31的位置，并确定相对于所确定的喷出喷嘴31而处于规定的位置关在摄像图像IM1内发生变动，也可对应于所述喷出喷嘴31的位置适当地确定喷出判定区域[0201]在喷出喷嘴31喷出有处理液Lq1的状态下，在喷出判定区域R2中包含所述大致液[0202]图9是表示喷出判定区域R2内的像素的亮度值(此处为像素值)的一例的曲线图。Lq1的喷出，而喷出判定区域R2内的一部分像素(与处理液Lq1对应的像素)的像素值增大[0204]所述方差也为反映有无自喷出喷嘴31喷出的处理液Lq1在基板W的上表面弹回的而采用标准偏差。在图11中，示出有处理液Lq1的喷出时间不同的三个曲线图G1～曲线图[0206]曲线图G1及曲线图G2表示适当地喷出处理液Lq1时的统计量A1的时间变化。曲线图G3表示在处理液Lq1的喷出刚开始后产生液体飞溅时的统计量A1的时间变化。在喷出喷流量最少的处理液Lq1的喷出刚开始后产生液体飞溅(参照曲线图G3)。所述情况可以如下以横向上长的方式设定喷出判定区域R2。因此，处理液Lq1的液体飞溅部分可在摄像图像出判定区域R2内，与处理液Lq1相当的像素的像素值比其他像素的像素值高(也参照图9)。[0220]与所述喷出的有无以及液体飞溅的有无相应的所述总和的变化倾向和图11的曲设定摄像图像IM1中的喷出喷嘴31与液体飞溅判定区域R3的相对位置。将表示所述相对位在不易产生液体飞溅的区域中并未设定液体飞溅判定区应于所述喷出喷嘴31的位置适当地确定液体飞溅判[0232]如上所述，控制部9可基于液体飞溅判定区域R3内的像素值来适当地判定液体飞由所述照相机保持部73而固定于固定构件32。照相机70及照相机保持部73相对于喷嘴臂相机70以可对喷出喷嘴31的前端及自所述喷出喷嘴31喷出的处理液Lq1进行拍摄的姿势，[0238]移动机构33通过使喷嘴基台322转动，而可一边维持喷出喷嘴31及照相机70的位位置与喷出喷嘴31的处理位置的位置关系[0242]在处理液Lq1包含氢氟酸的情况下，照相机70的框体的下表面或照相机保持部73四氟乙烯等氟树脂或者氯乙烯树脂等耐化学品性树脂[0243]据此，可减小位于基板W的上方的照相机70被处理液Lq1的汽化成分腐蚀的可能[0245]图14是概略性地表示摄像图像IM1的区域R1的另一例的图。在图14中例示的摄像基板W的上表面的大致液柱状的处理液Lq1的方式设定喷出判定区域R[0247]控制部9通过与所述图像处理相同的图像处理，可确定喷出判定区域R2内的处理[0250]因此，可将照相机70的曝光时间设定为基板W旋转一周所需的旋转时间以上。据此，摄像图像IM1中的基板W的图案经平均化而一致化，因此可使摄像图像IM1中的处理液表示所述位置关系的信息可存储于控制部9的存缘区域R4内的基板周缘位置，并将所述基板周缘位置作为基准位置预先存储于控制部9的[0259]控制部9对所确定的基板周缘位置与基准位置进行比较，并调整喷出喷嘴31的位的前端侧利用紧固构件将反射镜75加以固定并保持的前端侧利用紧固构件将反射镜75加以固定并保持反射镜保持部76例如是由金属(例如[0263]反射镜75的位置(摄像位置)与喷出喷嘴31的俯视时的位置关系和处理单元1中的像图像IM1按照与喷出喷嘴31的喷出状态相关的类别进行分类。类别也可称为类目91可谓是完成机器学习的分类器。机器学习部92例如使用邻近法、支持向量机(support述赋予可由作业者进行。机器学习部92是基于这些教师数据进行机器学习而生成分类器