CN119517815A 真空腔室的上盖驱动装置的气动控制系统及其控制方法 （无锡邑文微电子科技股份有限公司）

号真空腔室的上盖驱动装置的气动控制系统本发明公开了一种真空腔室的上盖驱动装备技术领域。该气动控制系统设置有第一隔断与进气管路的连通，保证了只有在转动机构固2所述第一驱动回路(2)与所述提升气缸(101)连接，用于驱动所述提升气缸(101)的提所述第二驱动回路(3)与所述锁紧气缸(303)连接，用于控制所述锁紧气缸(303)的锁所述开合盖保护回路(5)包括第一隔断阀(52)和双手控制阀，所述第二第二驱动回路(3)上还设置有第一机控阀(31)，所述第一机控阀(31)的进气口与所述进气杆腔连通，所述第一机控阀(31)的排气口选择性地与所述锁紧气缸(303)的有杆腔或无杆所述第一保护气路(4)连接于所述第一机控阀(31)和所述锁紧气缸(303)的无杆腔之开合盖保护回路(5)还包括第二机控阀(53所述第二机控阀(53)的出气口与所述开盖双手控制阀(551)的第一进气口和所述合盖3所述开盖气控阀(21)的出气口与所述提升气缸(101)的有所述合盖机控阀(542)的出气口与所述合盖双手控制阀(552)的第合盖双手控制阀(552)的出气口与所述合盖气控阀(22)的控制气口连通，所述合盖气控阀(22)的进气口与所述进气管路(1)连通，所述合盖气控阀(22)的出气口与所述提升气缸第一驱动回路(2)上设置有开盖隔断阀(25)和合盖隔断阀(26)，所述开盖隔断阀(25)设于所述合盖气控阀(22)和所述提升气缸(101)的无杆腔和所述合盖双手控制阀(552)的出气口均与所述开盖隔断阀(25)的控制气口连通；所述合的控制气口与所述合盖气控阀(22)的出气第一驱动回路(2)上还设置有第一梭阀(23)和第二梭阀(24)，所述第一梭阀(23)的第一进气口与所述开盖气控阀(21)的出气口连通，所述第一梭阀(23)的出气口与所述提升气缸(101)的有杆腔和所述第二梭阀(24)的第一进气口与所述合盖双手控制阀(552)的出气口连通，所述第一梭阀(23)的出气口与所述开盖隔断和/或，所述第一驱动回路(2)上还设置有第一速度控制阀(28)和第二速度控制阀所述第一速度控制阀(28)为先导式单向阀调速阀，所述合盖气控阀(22述先导式单向阀调速阀的控制气口连通，用于控制所述提升气缸(101)的有杆腔经所述先导式单向阀调速阀与所述合盖隔断阀(26)的开合盖保护回路(5)还设置有第四机控阀(51)，所述第四机控阀(51)的进气口与所述进气所述进气管路(1)的气体进入所述第二驱动回路(3)，控制所述锁紧气缸(303)的锁紧自所述进气管路(1)流向所述锁紧气缸(303)的无杆腔的部分气体经所述第一保护气路(4)所述进气管路(1)的气体进入所述开合盖保护回路(5)，在操所述进气管路(1)的气体进入所述第一驱动回路(2)，所述气控阀打开4回路(5)还设置有第四机控阀(51)，所述第四机控阀(51)的进气口与所述进气管路(1)连所述第四机控阀(51)开启后，所述进气管路(1)的气体进入所述第二驱动进入所述第二驱动回路(3)的气体经所述第一保护气路(4)进入所述第一隔断阀(52)，进入所述开合盖保护回路(5)的气体经所述第四机控阀(51)和所述第一隔断阀(52)进述合盖气控阀(22)的出气口连通，所述合盖双手控制阀(552)的出气口与所述开盖隔断阀当所述开盖双手控制阀(551)的出气口的气体进入所述开盖气控阀(21)的控制气口，控制所述开盖气控阀(21)打开后，所述进气管路(1)的气体经所述开盖气控阀(21)进入所所述开盖隔断阀(25)；另一部分进入所述提升气缸(101)的有杆腔，驱动所述提升气缸(101)的提升气杆收缩，所述提升气缸(101)的无杆腔的气体经所述开盖隔断阀(25)排出，当所述合盖双手控制阀(552)的出气口的气体进入所述合盖气控阀(22)的控制气口和所述开盖隔断阀(25)的控制气口，控制所述合盖气控阀(22)和所述开盖隔断阀(25)打开进入所述第一驱动回路(2)的气体，一部分经所述开盖隔断阀(25)的控制气口进入所5[0003]由于半导体设备需要定期维护和检修，上盖频繁开启和关闭会对密封圈造成磨翻转的动作需要一个较大的操作半径，导致半导体设备在生产线上占据较大的高度空间；[0005]本发明的目的在于提供一种真空腔室的上盖驱动装置的气动控制系统及其控制所述第一驱动回路与所述提升气缸连接，用于驱动所述提升气缸的提升气杆伸6所述第二驱动回路与所述锁紧气缸连接，用于控制所述锁紧气缸的锁紧气杆伸制阀包括开盖双手控制阀和合盖双手控制阀，所述气控阀包括开盖气控阀和合盖气控阀，所述第二机控阀的出气口与所述开盖双手控制阀的第一进气口和所述合盖双手阀的进气口与所述进气管路连通，所述开盖气控阀的出气口与所述提升气缸的有杆腔连开盖隔断阀的控制气口连通；所述合盖隔断阀设于所述提升气缸的有杆腔和排气管路之7所述进气管路的气体进入所述第二驱动回路，控制所述锁紧气缸的锁紧气杆伸进入所述开合盖保护回路的气体经所述第四机控阀和所述第一隔断阀进入所述8[0016]当所述合盖双手控制阀的出气口的气体进入所述合盖气控阀的控制气口和所述[0019]图1是本发明实施例提供的真空腔室的上盖驱动装置与真空腔室的上盖连接的结图3是本发明实施例提供的真空腔室的上盖驱动装置的气动控制系统驱动上盖打9图4是本发明实施例提供的真空腔室的上盖驱动装置的气动控制系统驱动上盖合图5是本发明实施例提供的真空腔室的上盖驱动装置的气动控制系统在开合盖中图6是本发明实施例提供的真空腔室的上盖驱动装置的气动控制系统在转动机构便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、为两个不同的位置。200与提升机构100连接，用于驱动提升机构100带动上盖401在上盖401所在平面转动至一腔室400的开口处设置有密封圈，密封圈用于保证上盖401与真空腔室400的开口之间的密保了上盖401提升过程中的稳定性和真空腔室400[0031]锁紧机构300用于在上盖401封闭开口处于工作位置时或在上盖401通过转动机构程中上盖401不会出现意外开启或移动。转轴202远离转动臂201的一端连接有锁紧盘301，孔包括上盖401处于工作位置时用于与锁紧件302配合锁紧的第一锁紧孔和上盖401处于维[0034]该气动控制系统设置有第一隔断阀52，通过与第二驱动回路3连接的第一保护气在转动机构200固定，提升气缸101不会随转动机构200转动的情况下才能打开开合盖保护旋钮式机控阀的出气口选择性地与锁紧气缸303的无杆腔或有[0041]当第一机控阀31的出气口与锁紧气缸303的无杆腔连通时，第二进气支管路12中件302与锁紧盘301上的锁紧孔配合锁紧；另一部分气体经过第一保护气路4进入第一隔断一进气支管路11中的气体能经气控阀流向提[0042]当第一机控阀31的出气口与锁紧气缸303的有杆腔连通时，第二进气支管路12中的压力远小于第一隔断阀52的控制气口的压力，因此从锁紧气缸303的无杆腔流出的气体第二机控阀53进入双手控制阀的第一进气口，经第三机控阀进入双手控制阀的第二进气控阀53的出气口与开盖双手控制阀551的第一进气口和合盖双手控制阀552的第一进气口阀552的第二进气口连通，合盖双手控制阀552的出气口与合盖气控阀22的控[0047]第二机控阀53可以与开盖机控阀541和合盖机控阀542并联设置，也可以串联设[0048]在本实施例中，第二机控阀53和合盖机控阀542均选用两位三通阀，开盖机控阀机控阀541的第一出气口与开盖双手控制阀551的第二进气口连通，开盖机控阀541的第二出气口与合盖机控阀542的进气口连通，合盖机控阀542的出气口与合盖双手控制阀552的进气支管路571与开盖双手控制阀551的第一进气口连通，第五进气支管路572与合盖双手盖气控阀22的出气口和排气口选择性与提升气缸101的无杆阀25设于合盖隔断阀26和提升气缸101的无杆腔之间，开盖气控阀21的出气口和合盖双手[0051]开盖双手控制阀551的出气口的气体流向开盖气控阀21的控制气口，控制开盖气[0053]进一步地，开盖气控阀21的第一出气口和提升气缸101的有杆腔之间设置有单向止合盖时，提升气缸101的有杆腔的气体流向开盖气控阀21，从开盖气控阀21的排气口排的第一进气口与开盖气控阀21的出气口连通，第一梭阀23的出气口与提升气缸101的有杆腔和第二梭阀24的第一进气口连通；第二梭阀24的第二进气口与合盖双手控制阀552的出101的有杆腔和第二梭阀24的第一进气口，经第二梭阀24的出气口流向开盖隔断阀25的控[0055]在一实施例中，第一驱动回路2上还设置有第一速度控制阀28和第二速度控制阀先导式单向阀调速阀的控制气口连通，用于控制提升气缸101的有杆腔经先导式单向阀调导式单向阀调速阀打开之后，提升气缸101的有杆腔的气体才能经第一速度控制阀28流向一隔断阀52打开，锁紧气缸303的有杆腔的气体经进气节流阀32流向第一机控阀31的排气使得经第一隔断阀52的出气口的气体经第二机控阀53进入开盖双手控制阀551的第一进气经开盖双手控制阀551的出气口流至开盖气控阀21第一隔断阀52的出气口的气体经第二机控阀53进入合盖双手控制阀552的第一进气口，经开盖机控阀541和合盖机控阀542进入合盖双手控制阀552的第二进气口，当合盖双手控制[0067]开盖气控阀21打开后，第一进气支管路11中的气体经开盖气控阀21的进气口流口流出的一部分气体经单向阀27和第一速度控制阀28流向提升气缸101的有杆腔；另一部阀25打开，使得提升气缸101的无杆腔的气体能经第二速度控制阀29和开盖隔断阀25流向部分经开盖隔断阀25和第二速度控制阀29进入提升气缸101的无杆腔，另一部分流向合盖杆腔的气体经先导式单向阀调速阀进入合盖隔断阀第一机控阀31的出气口与锁紧气缸303的有杆腔连通，排气口与锁紧气缸303的无杆腔连动机构200。此时由于第一机控阀31的排气口的压力远小于