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LED芯片制造工艺流程简介,范青青 2011年5月18日,主要内容 LED的简单介绍 LED芯片制造流程简介,LED是Light Emitting Diode的英文缩写,中文称为发光二极管。 发光二极管(LED)是由数层很薄的搀杂半导体材料制成,一层带过量的电子,另一层因缺乏电子而形成带正电的“空穴”,当有电流通过时,电子和空穴相互结合并释放出能量,从而辐射出光芒。,LED的简单介绍:,LED芯片的应用:,LED芯片制造流程示意图:,蓝宝石衬底(Al2O3),(衬底厂商提供),PSS工艺 Patterned Sapphire Substrate,图形化蓝宝石衬底,减小反向漏电,提高LED寿命,增强发光亮度,生长外延层(EPI),芯片前段工艺 (wafer),芯片后段工艺 (chip),封装,N电极处,发光区,切割道,有光刻胶,无光刻胶,SiO2,外延N型层,外延P型层,SiO2(底层)+ITO(顶层),ITO,ITO,SiO2(底层)+ITO(顶层),SiO2(底层)+ITO(中层)+PR,ITO(底层)+PR(顶层),外延P型层,外延N型层,ITO,SiO2(底层)+ITO(顶层),有光刻胶,无光刻胶,外延P型层,Metal,ITO,SiO2(底层)+Metal(顶层),有光刻胶,无光刻胶,外延层+SiO2,外延层+金属层,外延层+I

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