版权说明:本文档由用户提供并上传,收益归属内容提供方,若内容存在侵权,请进行举报或认领
文档简介
1、ingrot-acylindricalsolidmadeofpolycryinstalline或singlecrystalsiliconfromwhichwaferersarecut晶锭-多晶或单晶圆柱体,晶圆被切断。laser light-scattering事件- asignalpulsethatlocatessurfaceimperfectionsonwafer激光散射-由晶片表面缺陷引起的脉冲信号。lay-themaindirectionofsurfacetextureonawafer层-晶片表面结构的主要方向。光点补偿(lpd ) (非首选); see本地化灯光客户机)点缺陷(LPD
2、 ) (不推荐,请参见局部光散射)lithography-theprocesusedtotransferpatternontotwaers从光刻格拉夫-掩模到晶片的转印工艺。本地化光源er-onefeatureonthesurfaceofwafer,suchasapitorascratchthatscatterlight.itisalsocalledlightpointdefect局部光散射-由于晶片表面的特征,例如坑或伤痕,光散射,也称为点缺陷。lot-waferersofsimilarsizes和characteristicplaced是一体的批次-将具有相同尺寸和特性的晶片合并为一个载体
3、进行定径套。大型运营商- a运营商、以太网电子产品规范、以太网电子产品在类型区域中的使用。多数载体-半导体材料中占支配地位的空穴和电子,例如n型中为电子的载体。机械制造工具- asiliconwaferusedfortestingpurposes机械测试晶片-测试用晶片。微roughness-surfrusergushingwithspansingtheimpurities和ameasurementoflessthan100m。微粗糙度-小于-100m的表面粗度部分。Miller Indices,ofacyiryinstalllingographicclane-asystemthaturize
4、sterbendetoidentifyplanorientationinacrystalMiller搜索指数-确定并行面的三个整数。 这些个的整数是来自同一系统的基本向量。miniminialconditionsordimensions -健康标准文件夹determiningwhetheronotawaferisconsideredacceptable。最小条件或方向-判断晶片是否合格的允许条件。少数派载体,eitheraheraheorenthatisnotdmintinaspecificationationationationationationationationationationat
5、ion ation在少数载流子半导体材料中不支配的移动电荷,在p型中是电子,在n型中是空穴。mound-araiseddefectonthesurferofawafermeasuringmmorethan0. 25毫米层叠-晶片表面超过0.25的缺陷。notch-aninintnontheedgeofawaferusedfororientationpurposes凹槽-用于定位晶片边缘的晶体取向的小凹槽。orange peel-aroughenedsurfacethatis出现在unaideeye中桔梗-肉眼可见的粗糙表面正确的我的定向- -垂直角取向误差-particle-aslecompe
6、rformationawaferthatisnotconnectedwithit粒子-晶圆上的小物质。粒子计数- waferersthareusedtotesttoolsforparticlecontamination粒子计算-用于测试晶片粒子污染的测试工具。paticulate contamination-paticalleconthesurfaserfofawafer.patiaparasblithposwhenaccollineatedlightisshinedonthefwafer粒子污染-晶片表面的粒子。检测到pit-anon-removableimperfrf部分深坑-晶片表面无法
7、去除的缺陷。点缺陷- acrystaldefectthatisanimpurity、suchasalatticevacancyoraninterstitialatom点缺陷-非纯晶体缺陷,如晶格缺陷或原子空隙。首选项技术-优先蚀刻-权利金功率因数校正(wafer-awaferthatcanbeusedforparticlecounting,mesimentingpatternresolutioninthephotolithographyprocess ),以及此功率因数校正(wafer )测试晶片-复印过程中用于计算粒子、测定溶解度、检测金属污染的晶片。 对该晶片的具体应用有严格的要求,但比主
8、晶片的要求宽松。一次旋转方向平坦主定位边-晶片上最长的定位边。关工艺试验字验证连接beusedforprocesses。加工测试晶片-用于区域清洁中的晶片。轮廓仪- atoolthatisusedformeasuringsurfacetopography表面形态-用于测量晶片表面形态的工具。resitivity (电气)-theamountofdifficultythatchargecarriershaveinmovingthroughoutmaterial电阻率(电面) -材料抵抗或抵抗电荷的物理特性。required-theminitionspecificationsneedbythecu
9、stomerwhenorderingwaers必需-订购晶片时客户必须达到的最低规格。22222222222222222222222222222222222222222222粗糙度-晶片表面的间隙小的肌理构成。saw标记-表面规则锯痕-表面不规则。扫描方向-互动式计算,指向所附子站点的方向。在扫描方向-平面度测量中,是局部平面的方向。扫描器站点平面-局部平坦度扫描仪-scratch-amarkthatisfoundonthewafersurface伤痕-晶片表面的痕迹。次要平面- aflatthatissmallrtheprimirearyonteofthisflat.thepationoft
10、hiffthewaferis,andalsotheoreationofthewaferer在比第二定位边-主定位边小的定位边,其位置决定晶片的种类和结晶的方向。形状-形状-site-anareationthefrentsurfathasssidsparticallandperpendicallortotheprimaryorientationflat.(thisareationala局部表面-与晶片前面的主定位边平行或垂直的区域。site array-aneighboringsettingofsites局部表面系列-一系列相关的局部表面。站点平面-局部平面-剥离校验特性软件程序。伤-晶片表面的
11、小皱纹引起的缺陷。smudge-adefectorcontrannitiationforthewafercausedbyfingerprint污垢-晶片上的指纹引起的缺陷或污染。Sori -striation-defects或contaminations在形状螺旋中检测到条痕-螺纹缺陷或污垢。Subsite、ofsite-anareafoundinthsite、also rectangular.thecenterofthesubsitemustbelocatedwithintheoriginalsite部分子表面-部分表面内的区域也是矩形的。 从站中心必须在原站点内部。表面纹理: reatio
12、nsontherealsurfaceofthewaferthatdeviatefromthereferencesurface。表面肌理构成-晶片的实际面和参照面的不同。测试wafer-asiliconwaferthatis是为了监视和测试而制造的测试晶片-生产中用于监测和测试的晶片。thitingoftoplicsiliconfilm-theconstationforthetoplicsiliconfilmsandthesurfaceoftheoxidelayer掌门人硅膜厚度-掌门人硅层表面和氧化层表面间的距离。topsiliconfilm-thelearyofsichsionsemicondevicesareplaced.thisslocodentopto
温馨提示
- 1. 本站所有资源如无特殊说明,都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
- 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等,如果需要附件,请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
- 3. 本站RAR压缩包中若带图纸,网页内容里面会有图纸预览,若没有图纸预览就没有图纸。
- 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
- 5. 人人文库网仅提供信息存储空间,仅对用户上传内容的表现方式做保护处理,对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑,并不能对任何下载内容负责。
- 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容,请与我们联系,我们立即纠正。
- 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。
最新文档
- 2025内蒙古锡林郭勒盟锡林珠宝城老凤祥招聘26人笔试历年难易错考点试卷带答案解析
- 2025内蒙古苏尼特国有资产管理有限责任公司招聘7人笔试历年难易错考点试卷带答案解析
- 2025内蒙古宁城包商村镇银行招聘8人笔试历年典型考题及考点剖析附带答案详解
- 2025内蒙古公务员考试招录7270人笔试历年典型考题及考点剖析附带答案详解
- 2025兴业银行汕头分行春季校园招聘笔试历年典型考题及考点剖析附带答案详解2套
- 2025交通银行青岛分行校园招聘及笔试历年典型考题及考点剖析附带答案详解
- 2025下半年四川内江市隆昌市兴晟产业投资集团有限公司招聘拟聘用人员笔试历年难易错考点试卷带答案解析
- 橡胶制品生产项目水资源论证报告书
- 生产协调工程方案
- 企业资金可视化方案
- 中班美术课件《有趣的蔬菜拓印》
- m认主协议书模板
- PCR室作业指导书表格汇编
- 《Unity虚拟现实开发实践》Unity-特效基础
- JBT 14732-2024《中碳和中碳合金钢滚珠丝杠热处理技术要求》
- 平台印刷机-机械原理课程设计报告
- 医防融合的实践路径与手段分析
- GB/T 24484-2009钼铁试样的采取和制备方法
- GA/T 1740.1-2020旅游景区安全防范要求第1部分:山岳型
- 碳纳米管的制备课件
- 九江市柴桑区乡镇街道社区行政村统计表
评论
0/150
提交评论