N型单晶操作培最终版.ppt

1、1,拉制N型单晶操作培训,我公司N型单晶用于制作N型高效电池，拉制N型单晶采用合金掺杂，所掺合金为磷合金（P-Si）合金,P型所掺合金为硼合金（B-Si）。 拉制N型单晶注意与P型单晶区别，生产中N型单晶沾污上P型杂质会严重影响单晶质量，导致产品不合格。 拉制N型单晶少子寿命要求较高，金属杂质是影响少子寿命的主要因素。生产过程中在拆清炉、装料等环节注意避免金属杂质的引入。,序 言,着装要求 准备工作 拆清炉 拉晶工艺流程,3,目录,N型炉台操作员工及拆清人员配有专用服装（颜色与P型不一样），操作员工有固定的衣服及衣架，出入车间换衣服时，不要将自己的衣服挂在其他衣架上。车间其他员工不许动用N型专

2、用衣架。拆清炉操作拆N型炉台时，需更换特有的衣服方可进行拆炉。,一、着装要求,二次更衣室衣架,1、炉台转N型前须进行预处理： 炉台在确定拉制N型单晶后，对炉台进行大清，确定要换的热场部件由工程师确认必须换掉； 排气管道、电磁阀必须清，更换新泵油； 副室、隔离阀室、籽晶夹头、钢缆需用沾酒精的纤维纸擦拭干净。所有的工作做完之后空烧20个小时，进行热场纯化。,二、准备工作,（1）、工具： N型单晶拉制炉台所用拆清工具：取晶筒、拆炉车、埚帮车、埚底料铁盒、吸尘器等，并都贴有“N型专用”的标识，贴有标识的颜色为浅蓝色，如图所示：,三、拆清炉,N型专用,三、拆清炉,(2)、工具区域划分： （1）埚底料、废

3、石英有专门的存放区域。 （2）石墨打磨也有固定的打磨区域。 （3）取晶筒、取晶盒、吸尘装置、一次性口罩、一次性PE手套、装料手套、高温隔热手套、斜口钳等工具必须放置在制定区域。 （4）所有工作必须在指定区域内进行，所有工具不许与P型炉台混用。使用完的工具放到指定区域里。对不清楚的事项要及时向工程师询问。,三、拆清炉,三、拆清炉,N型埚帮车 N型取晶筒,N型所用工具放置区域,三、拆清炉,所用工具放置区域,N型专用过滤桶 N型专用埚底料盘,（3）、拆清炉注意事项： 拆清过程中严格按照作业指导书进行，按照要求使用N型专用拆清工具，注意与P型拆清工具区分。,三、拆清炉,（1）.拉至N型单晶硅的工艺流程

4、卡为两张蓝色纸张。 （2）. N型单晶目前使用原料为钛业多晶，投料量为105kg；由于是块料，为避免装不下应大小块搭配，合金放于石英坩埚中下部。 （3）.装料期间，周边若有炉子要拆，所拆热场远离装料炉台，加热器清理工作待装料炉台合炉后进行；装料时，若发现周边已经拆炉、或者是正在装热场，可暂时推迟装料，避开周边拆装热场时装料。保证装料时没有灰尘的污染。 （4）. 装料人员在装料时，所用工具如：装料车、剪刀、酒精等，必须为贴有N型标示的专用工具。所有参与装料的人员整个过程必须带口罩、一次性手套，一次性手套破损须及时更换。装料者摸过其他物品后，更换一次性手套后方可继续装料。装料人员装料过程中不允许聊

5、天天，其他与装料无关人员禁止围观。,四、拉晶工艺流程,1、装料时注意事项,（1）.化料后沾渣严格按照沾渣作业指导书进行，所提渣头符合作业指导书标准，提渣完成之后将渣头放置于专用放置区域。 （2）.电阻率小头要求直径30mm，长度30mm，粗细均匀的小头，要求小头进行收尾，小头测试完成后需在小头上标明日期、重量、炉次编号并且将小头放到N型小头专用放置区域。 （3）.N型单晶小头电阻率控制在1112.cm，若头部电阻率高于12.cm，通知现场工程师或值班人员，按照头部电阻率为11.cm继续掺N型合金;若头部电阻率在10-12.cm则继续进行单晶拉制，若小头电阻率低于10.cm则通知现场工程师或值班

6、人员进行处理。,四、拉晶工艺流程,2、化料后注意事项,N型单晶的拉制，采用氩气流量为60或80slpm（具体流量以炉台工艺为准），比常规工艺要大，会引起液面温度小的波动，对稳温要求高。自动引晶时操作工要多观察，避免引断或过粗，保证引晶质量，若出现各种工艺问题应及时通知工艺人员或现场工程师。,四、拉晶工艺流程,3、引晶时注意事项,N型单晶拉制采用的工艺： 晶转12，埚转放肩中由12变为8，氩气流量60或80slpm，炉内压20或14torr，直径控制在1701mm（由于新产品工艺使用初期，操作人员在工艺运行中发现问题及时向工艺人员反馈）。 放肩中由于埚转的降低，熔体温度反应延迟。等径后，观察拉速与直径变化，在拉速、直径波动较小时投入“等径控制”。 等径过程中要多测量直径，若直径波动