UPW系统介绍(培训学习资料).ppt

1、UPW系统进程介绍动力技术部UT科2009.5.18，Page 2，前述第一章高纯水制造系统第二章回收水处理系统，Page 3，简介高纯水(UPW-Ultra-Pure Water )系统在各个制造工艺中，主要是进行玻璃基板的清洗和高浓度的化学品原液混合调制工艺换言之，高纯水在工艺规程中与产品或产品零配件直接接触。 因此，必须用特殊的方法去除原水(自来水)中存在的可能影响制造工艺的污染因子。 例如TDS (总溶解固体物)、TOC (总有机碳)、细菌、二氧化硅、DO (溶解氧)及一部分金属络离子(Na、k、Ca、Cu )等. 为了减少原水这些个的污染因子，超纯水系统为采用一系列设备的云同步提供了

2、稳定合格的超纯水，包括多媒体过滤烟嘴(MMF )、活性炭过滤器(ACF )、反渗透(RO )、络离子交换器、紫外线灯管(UV )、混合床(MB )、膜脱气等。 为了防止高纯水在长距离输送过程中产生细菌和水质恶化，高纯水建立了循环供给研磨回路，保证了管路中的一定水流速度。 我们的系统修建了两个循环研磨供水回路，回路一设修订供水能力为100m3/h，主要为彩色胶片(C/F )、Cell、CCSS、QE实验室、可靠性实验室设备及更衣室干手等提供高纯水。 电路2的设定修正供水能力为130m3/h，主要向阵列工序的蚀刻和显影等工艺设备供给高纯水。 TFT-LCD是一个消耗大量水的行业，如果使用过的水完全

3、作为废水排出，则制造成本增加，即产品在市场上失去成本方面的优势。 实际上，由于生产工艺中可以资源再生大量的洗涤水，因此，制定了两个分别处理不同污染程度的回收水的资源再生水处理系统。Page 4、废水排放、Page 5、第一章高纯水制备系统、Page 6、第一节高纯水水质指标与原水自来水水质指标对比表、Page 7、第一节约用水中污染物质、1.1溶解性固体TDS (总溶解固体)均含有水中溶解的盐，可相应地电离为阳络离子和阴络离子，提高水的电导率下表显示了电阻率、电导率与TDS的关系：电导率为(Megohm-cm )时间节点和电导率为(s/cm )，为倒数关系。 例：水样品的测定电阻率为2500

4、ohm-cm的话，水样品的电导率是多少？2500 ohm-cm/100000=0. 0025 Meg ohm-cm1/0. 0025=400 s/cm，水中阳极络离子是Na、k、Ca、Mg、Fe、 还含有微量的金属铅、铜、亚金属铅等。 水中的阴络离子有Cl-、SO4 -、NO3 -、CO3- HCO3-等。 因为二氧化硅是土壤中最常见的物质，所以在水中的含量也很高。 二氧化硅的存在可能会引起RO膜的结垢。 水中二氧化硅的存在形态有络离子化二氧化硅和胶体颗粒状二氧化硅两种。 络离子化的二氧化硅可以通过络离子交换、RO、蒸馏等方法容易地除去。 胶体二氧化硅可以用超滤、RO、蒸馏的方法除去。Page

5、 8、第一节约用水中污染物质、1.2溶解性有机物水中的溶解性有机物多由植物、动物尸体等自然分解形成，也有与云同步人造的合成的有机成分，例如农药和工业排出的化学品废水等。 丹宁酸、木质素、胡敏素、褐霉素等这些个化合物使水形成一定的颜色，在工艺中会污染络离子交换树脂。1.3溶解性瓦斯气体1.4粒状物1.5微生物、页9、第二节超纯水系统工艺流程图、原始水槽、MMF 3 sets、过滤水槽、ACF 4 sets、ci智能运输系统ro stage 2、ro permeate水槽， 防盗水槽，安全过滤器，防盗泵(VFD )，mbx 3集。 exhaust (二氧化二、二氧化二)、vacuum泵、uv单元-

6、 185 nm、uv单元- 185 nm、HEX、HEX、冷却水供应、冷却环2 to fab、uf模块、uf模块、vff Pre_treatment Section，Make_up Section，Polishing Section PN2氮气密封，PN2氮气密封，2325，2325，在线监视3360 resistivity，部分线路5集，(5米微型过滤器)，5集，9单元，pn 2，2集，2集，2集，8单元， 10单元245m3 /h、300m3、245m3 /h、245m3 /h、245m3 /h、126m3 /h、164m3 /h、164m3 /h p、页面10、第三节多媒体过滤器(MMF

7、 )、p Back To PID， rawwater图例： 1.上部检修口2 .上部排水口3 .无烟煤4 .细砂层5 .粗砂层6 .过滤出口7 .砾石垫层8 .集水管盖9 .侧面检修口、Backwash drainage、forwar rage from filtered web From Raw Water Tank，MMF: Multimedia Filter原水从过滤烟嘴的顶部进入，通过箱内的过滤介质，由下部的集水盖收集，通过底部歧管排出，此外，MMF在防止后面的ACF床体被污染方面具有重要的作用、运行顺序例、第4节活性炭过滤器、ACF: Activated Carbon Filter

8、(活性炭过滤器)过滤后的水从过滤烟嘴的顶部进入，经过内部填充过滤材料，收集下部集水桶，并从底部出水总管流出。 水通过活性炭过滤器，吸附水中的TOC的一部分，另一个主要作用是去除水中的来源氯元素。 是保护后面的络离子交换树脂和逆渗透膜不氧化使活性炭过滤器破损的运转方式，运转顺序与多媒体过滤烟嘴大致相同，反冲洗时没有气割。Back To PID、note 3360 abovetableisabstractedfromthenalcowaterhandbook 2nd edition、第12页、第5节阴阳络离子交换器、backtracted camgknakh、water I cakhhhhhh、本

9、地范围(HCl )和沃特输出(CaCl 2、KCl )。 SO4 2- CO3 2- HCO3 - CO3 2- Cl- OH- OH-、水输出、co3- cl-oh-oh-oh -。 阴络离子交换器、Wastewater outlet (NaCl2、NaCO3)由阴阳络离子交换器、水中的TDS、无机盐生成络离子大致除去，并且二氧化硅胶体也有效地除去。 运行中主要根据阴床的出水电导率来判断交换床是否发生故障。 阴阳络离子交换器是整个过程中最关键设备的，其稳定运行和有效再生保证了整个系统的连续稳定运行。 由于阴阳络离子交换器再生需要大量化学品，因此阴阳络离子交换器的有效运转能够降低每纯水的制水成

10、本。 Page 13，第6节反渗透单针织面料，Security Filter，From AIX，高压泵(9 barg )，Stage 1，stage RO: Reverse Osmosis (反渗透)反渗透膜是半透膜，只有水可以通过，水中的本工艺中RO的设定改正回收率在90%以上。 所述过程RO系统设定为1段2段式。、Back To PID、272m3 /h、245m3 /h、27m3 /h，膜最大设定校正运转压力为300psi(21bar )，5微米过滤烟嘴中的过滤烟嘴为易耗品，由定期更换或进出口差压决定。 Page 14、第7节一次混合床、fromropermeatepump (服务进口)

11、、Nitrogen Inlet、再生剂(HCl )入口、再生剂入口(NaOH )再生废液排放到reg waste water槽中，RO permeate tank 也有在早洗入口、排气、反冲洗排水、正洗排水、再生废液排出、MBX: Mixed Bed Ion Exchanger (混合床)取样的阴阳树脂之间填充有密度的惰性树脂的。 混合床相当于无数连续的阴床和阳床，水通过混合床时，水中的阳络离子和阳树脂上的氢络离子交换，置换氢络离子，阴络离子和附近的阴树脂交换，置换氢氧化合物络离子，分别被置换的氢离子和氢氧化物离子立即结合生成稳定的水分子。 Back To PID、Page 15、第8节膜脱气

12、单针织面料(MDG )、Back To PID基于亨利定律，气体在不同相具有不同的气体分压，气体从分压高的一侧向分压低的一侧扩散(包括气相和气液相)。 第9节TOC紫外辐射针织面料UV(185nm )、upw泵、自上水槽、185 nm-TOC重新检测单元、至头交换器， uv:ulla不可避免地一部分树脂分解，使水中的TOC浓度上升的话，云同步，全部的循环管路及接头材质是PVC，是漂亮的PVC，不过，必然一部分的有机成分在水中溶出，TOC浓度也上升，因此，有必要在研磨工序中设置TOC紫外辐射降低针织面料。 TOC紫外线灯管的波长为185nm，杀菌用紫外线灯管的波长为254nm。 当然185nm的紫外线灯管也具有一定的杀菌能力。Page 17、第10节超滤膜组、UF: UltraFiltration、(超滤)膜孔径为0.2m。 薄膜过滤的主要作用是控制水中的微粒物质，能够说唱乐