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文档简介

1、PVD流程介绍、制作人： PVD-QC日期： 2010/06/21、目录、1. PVD原理及其特点2. PVD流程流程3. PVD产品质量管理要求4. PVD流程的优点1. PVD原理PVD (physical vapool 即，在物理气相沉积技术、即由电场形成的等离子体中，块状材料被溅射而堆积在工件表面，形成一定厚度的薄膜，跳起的中性原子在真空室内与同时分离的气体粒子反应而堆积在工件表面，形成一定厚度的膜层。 以TiN为例，工艺为3360，1.1 PVD工艺、第一阶段气体分离、e、Ar、Ar、Argon气体块、Ar e Ar 2e、第二阶段溅射、Power、arti )平面磁控制电极表面的电

2、子的运动，d)Z方向的凝聚第三阶段反应成膜，Ar N2 2N Ar Ti N TiN 3.1PVD外观管理3.2PVD颜色管理3.3PVD膜厚管理3.4PVD可靠性测试项目介绍，3.PVD产品质量管理要求，(1) PVD产品外观标准根据不同的客户定义，文件定义要求，客户样品要求，产品样品要求，通常PVD 一般按照一级方面(2) PVD产品的主要外观不良1 )划痕2 )污点3 )黑/白点、3.1 PVD外观质量管理、1. PVD日常生产过程的颜色标准：管理客户认可的限度模板(如左图所示)。 2 .现在的颜色管理方法：1)每炉不同的位置：通常最上层、中间层、最下层分别提取1pcs进行颜色确认。 2

3、 )如果以上样品OK，PVD生产进行颜色全检查和外观全检查。 3. PVD色内部规定：采用色差校正对炉上中下各1pcs进行l、a、b值测定，以供工艺调整参考。 色差修正，客户认可的限度模板，3.2 PVD颜色管理，1 .现在PVD正常生产膜厚管理方法：1)频度：3pcs/炉(上中下，各1PCS) 2)测试方法：球磨法2 .新产品开发阶段管理方法。 2 )测试方法：切片法3 )球磨法作为内部规定，按照检查规则进行，收集数据，供参考。 3.3 PVD膜厚管理、3.4 PVD的主要可靠性测试项目、3.4.1振动研磨测试方法、产品放入左侧图示的研磨机，研磨时间为2hrs。 其中0.5hr、1.0hr、4.PVD工艺的优点，1 .高金属质感和鲜艳丰富的色彩效果2 .优异的功

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