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文档简介

1、VACUUM PUMP真空泵,目 录,1、真空技术 1.1真空的定义 1.2真空技术的应用 2、真空泵的原理及结构 2.1真空泵的原理 2.2真空泵的选择 2.3罗茨真空泵的结构,1.1真空的定义,真空的标准定义：在给定的空间内低于一个大气压力的气体状态 ，是一种物理现象。（1Atm=1.01*105pa=760torr=7.6*105mtorr） 真空的通俗定义：是指空间中的压力低于大气压力时所产生的状态。这些压力可通过均匀分布在该空间的气体或蒸汽 来产生。 总压力的定义：在封闭的容器中，气体颗粒进行热运动，在其与容器壁的相互作用中，原子和分子经受大量的碰撞，每次碰撞都会给容器壁施加力。,1

2、、真空技术,1.2 真空技术的应用,真空技术的应用是指人为的制造出稀薄气体的物理环境来完成某些特定任务。一种是利用这种环境制造产品或设备，如灯泡、电子管和加速器等， 这些产品在使用期间始终保持真空;而另一些则仅把真空当作生产中的一个步骤，最后产品在大气环境下使用，如真空镀膜、真空干燥和真空浸渍等。,压力换算表,1Torr=1.33*102Pa 1Atm=1.01*105pa 1Torr=103mTorr,2、真空泵的原理及结构,2.1真空泵原理 真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空环境的器件或设备。,罗茨真空泵,低温冷凝泵,涡轮分子泵,为何选用Dry pu

3、mp的原因：多年以来工业上应用的高真空系列，常用油扩散泵为主泵，油封机械泵为前级泵组成通用型高真空系统，即所谓的湿式真空系统。对这种系统的真空泵，明确的指出了它不适用于抽除含氧量过高的、有爆炸性的、有腐蚀性的、对泵油起化学反应的以及会有尘埃颗粒的气体。而产生这些问题的原因主要是因为泵体内有油导致的。,半导体行业 所用真空系统,恶劣条件下的抽气 抽除化学反应物（有毒甚至致癌）及固体颗粒物,中等条件下的抽气 抽除工艺过程中产生的反应气体但无固体颗粒物,清洁条件下的抽气 只抽空气和少量的水蒸气,注：压缩比：排气压力 与进气压力 之间的最大压力比被称为压缩比 = / ,2.2 真空泵的选择,DIFF,PVD,IMP,Turbo Pump,Cryo Pump,Dry Pump,Turbo Pump,Dry Pump,Dry Pump,罗茨真空泵,Cryo Pump,2.3罗茨真空泵的结构,罗茨真空泵(简称:罗茨泵)是指泵内装有两个相反方向同步旋转的叶形转子，转子间、转子与泵壳内壁间有细小间隙而互不接触的一种变容真空泵 。,为什么选用罗茨真空泵？,优点： 1、在较宽的压力范围仍然具有较高的抽速。 2、振动小，运转平稳，不用润滑，摩擦损失小，可大大降低驱动功率。 3、泵腔内无需用油密封和润滑，可减少油蒸汽对真空系统的污染。 4、泵腔内无压缩，无排气阀，机构简单，紧凑

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