直拉单晶埚跟比长度等参数的计算

1、直拉单晶坩埚后续长度等参数的计算，演讲者：牛冬梅，培训对象：单晶操作者，2010年10月17日，直拉单晶炉坐标长度、拉速和温度校准曲线的计算都是以晶体生长的长度为坐标设定的，投入自动运行后，根据设定的曲线(拉速、温度校准和转速)以长度为坐标自动控制。不同加载量和直径的单晶坐标长度是不同的，因此必须按下式计算：其中：l-坐标长度，mm；d-晶体直径，毫米-硅密度，2.33克/立方厘米；w-晶体重量=装载量-坩埚底部残留物，2。坐标长度的计算，例如，当装入60千克并拉制154毫米单晶时，如果坩埚底部残留物为1.0千克，则该长度假定整个晶体重量(包括末端部分)是根据等直径计算的，实际上，长度从旋转肩

2、部的清理开始，晶体等直径的实际长度不会超过上述计算的坐标长度。拉速曲线和拉速曲线的设置应符合单晶硅生长的特点，即拉速应自始至终逐渐降低，无论是恒速下降还是变速下降，是快还是慢，都由工艺设计决定。例如：让晶体长度为1400毫米，晶体直径为156毫米。该工艺要求头部拉伸速度为2.0毫米/分钟，尾部拉伸速度为1.0毫米/分钟。第一种方法：如果将设计的晶体坐标长度等分为五段，每段长度为280毫米，每段拉伸速度下降0.2毫米/分钟，则五段仅下降1.0毫米/分钟，正好满足工艺要求。绘制速度曲线的设定，第二种方法，绘制速度随着一定的下降趋势逐渐增加，即在200米时，为2.0毫米/分钟；400毫米时1.9毫米

3、/分钟；在600毫米时，速度下降0.2毫米/分钟，即1.7毫米/分钟。这条曲线是一条不均匀的绘制速度曲线和一条虚线。从图中可以看出，两条曲线的下降率不同，因此可以根据不同的工艺要求设计不同的拉速曲线，自动控制定额的目标是使实际拉速尽可能符合该曲线，以满足工艺要求。温度修正曲线的设定，从转肩到拉晶，为了保持单晶硅的等径生长，温度修正规律是一个“冷却-恒温-加热-逐渐加快”的变化过程。冷却时间不长，恒温时间较短，然后进入加热过程。在晶体生长过程中，由于液态不断转化为固态，并被籽晶提升，坩埚中的液面位置不断下降，这必然会导致固液界面温度梯度发生变化，给单晶生长带来困难。但是，如果液面下降1毫米，坩埚

4、上升1毫米，则液面在热场中的相对位置不会改变，固液界面稳定，有利于单晶生长。因此，当肩部变成等径生长时，应及时启动坩埚上升，并给定一定的上升速度，以保持热场中液面的相对位置不变，这称为坩埚上升随动。但是，如果罐提升过大或过小，液位位置可能保持不变。如何确保正确的提锅？坩埚上升速度的计算，生长晶体的质量：式中：s-拉晶速度；生长时间。固体硅的s-密度；晶体直径补充的液体质量；其中：s坩埚随动速度；生长时间。液态si的l密度；坩埚的内径为wS=wL。简化后，固体硅的密度为2.33克/立方厘米，液体硅的密度为2.5克/立方厘米。替代是：坩埚提升速度的计算。例如，坩埚305的内径为288毫米，晶体直径为78毫米。当籽晶提升速度为2.0毫米/分钟时，坩埚应该跟随什么？因为在晶体直径的测量中可能存在误差，并且在晶体上升和坩埚上升的实际值与显示值之间也可能存在误差，以下是坩埚的速度2.当18英寸的应时坩埚拉制6.5英寸的棒，并且头部拉制速度为1.5毫米/分钟时，坩埚应该跟随多少？谢，谢！这