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文档简介

1、多晶切方,光伏1121 崔恩恩 夏思竹,多晶切方,多晶切方的切割方式及原理 开方的流程 开方机设备及结构 设备的性能特点,切割方式及原理,切割方式:线切方 线切方是将晶锭切割成后续工段加工要求的尺寸范围 原理 将待切割的多晶硅锭粘接在工作台的垫板上，工作台上方有 一个线网框架，钢线被引申到框架上，来回顺序缠绕在四组 滑轮与导轮之间，形成上下两个纵横线网；框架里安放的多 个砂嘴为切割提供砂浆；滑轮带动线网将砂嘴带入并紧压在 晶体切割面上来回移动，形成磨削式切割，同时框架将线网 慢慢向下推过晶体而完成切割。,开方流程 晶锭粘接 线开方 线开方去胶,硅片生产工艺流程介绍,1、晶锭粘接,喷涂式泡沫胶,

2、此为线开方辅助工序，将晶锭粘到线开方定位晶托上，准备开方。,2、线开方,上棒:,硅片生产工艺流程介绍,切割:,硅块清洗机 将开方好的晶棒连同晶托一起取下放入80度热水中，将晶托与晶棒分离,卸棒清洗:,从粘锭处领取上一工序粘接好的晶锭，通过叉车将晶锭装到外置工作台上，再通过手摇车将晶锭送入切割室内,线切割原理: 砂浆中的金刚砂附着在高速转动的钢线上磨削形成切割. 一次可以切割25根晶棒.,线开方去胶 将开方后的晶棒放入清洗机中清洗后，将晶棒一次取下，用 铲子将晶棒和晶托上的胶铲掉。,开方设备及结构,设备:带锯和线锯 带锯切割:单方向分刀进行 特点:废料少 精度高 表面好 线锯切割:二元纵横方向同

3、时进行切割 特点:可同时完成x与y方向的切割，提高 工作效率，损耗更低，削面更光滑，加工精 度更高。 目前主要使用线锯进行大块多晶硅锭得开方分割,结构（多线） 多线切方机主要由切割区 线网框架、砂浆系统 冷去温控系统、控制系统 组成,设备的性能特点 一次完成纵横两个方向的分割、省料省工、省时、生产效率 高。 表面精细，无深层次裂痕损伤，有利于后工序加工质量和成 品率的提高 每刀可切出方棒103mm规格36根，125mm规格25跟，或 156mm规格16根。,硅锭大小 400kg 840*840*250mm 硅块大小 156*156*250m 硅片大小 156*156*0.18mm,破锭工艺参数 工作台下降速度600um/min，往复切割回线95%最 大线 速度13m/s.砂浆密度1.63kg/L.砂浆流量160kg/h,张 力臂50N 报警温度:上砂路27摄氏度,上导轮30摄氏度 浆料更新:每切4次更新30L，至21次全部更新,检验标准 尺寸一级1560.5mm,角度900.3 二级1560.8mm,角度900.3 电阻率一级0.5-2欧姆.厘米 二级大于2欧姆.厘米 少子寿命一级大于2us二级1-2us 阴影：位于209m

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