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文档简介

1、1,Touch Panel 双面SiO2镀膜,Touch Panel 产品介绍 双面SiO2镀膜前准备 双面SiO2镀膜作业 双面SiO2镀膜品质缺陷,2,Touch Panel 产品介绍,背景：Touch Panel 产品是2007年伟光公司开发的新产品，主要用于高端电子产品显示屏，目前已经进入批量生产阶段。 构造：Touch Panel 产品为双面Pattern结构，膜面和空气面均有图案。,F面SiO2,F面ITO层,玻璃,R面ITO,R面金属层,R面ITO层,3,双面SiO2镀膜前准备,双面SiO2镀膜是Touch Panel产品制程中最重要的工序，与常规的镀膜工艺相比具有其一定的特殊性

2、，需要用到两种特殊用品。 镀膜特殊用品介绍： 金属Mask及铜磁背板。,4,双面SiO2镀膜前准备,金属Mask,金属MASK分两种，F面金属MASK间隔条为凹状，R面金属MASK间隔条为凹状,5,双面SiO2镀膜前准备,金属Mask,R面金属MASK,F面金属MASK,6,双面SiO2镀膜前准备,铜磁背板,铜磁背板没有镙孔面与玻璃基板接触,7,双面SiO2镀膜作业,将金属MASK置于对位台上，固定后打开真空吸附开关，将其吸附（注意F/R面MASK不要用错）,8,双面SiO2镀膜作业,将基板置于金属MASK上，必须避免基板在金属MASK上的滑动（注意基板待镀面朝下，大角与金属MASK错开）,9

3、,双面SiO2镀膜作业,基板对位标,金属MASK对位框,OK,NG,手动对位,10,双面SiO2镀膜作业,在监视器上确认基板与金属MASK对位是否在规格内（基板上有四个“田”字型对位标，与金属MASK上对位方框对位）,11,双面SiO2镀膜作业,将铜磁背板置于基板置于基板上，必须避免基板在金属MASK上的滑动,12,双面SiO2镀膜作业,将组合好的待镀品置于待镀品区域,13,双面SiO2镀膜作业,将待镀品挂上框架（注意金属MASK不能有翘曲）,14,双面SiO2镀膜品质缺陷,主要品质缺陷 电子击伤 金属层划伤 SiO2掉膜 SiO2打弧 粉尘、污染,15,双面SiO2镀膜品质缺陷,电子击伤：ITO层在镀膜时被击伤，外观检查时呈一条黑线,16,双面SiO2镀

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