光机电测控技术基础【第3章 激光测试基础】 - 副本.ppt

1、光机电测控技术基础,主讲人:严晗 武汉理工大学 机电工程学院,第3章 激光测试基础,2,目录 3-1 激光的基本性质 3-2 激光概述 3-3 激光器的分类和特点 3-4 激光准直技术 3-5 激光多普勒测速技术 3-6 激光测距技术,3,引 言,自从1960年由Maiman研制成功世界上第一台红宝石固体激光器以来，激光技术发展极为迅速，并带动一大批相关学科和技术的发展，其应用遍布几乎所有的领域，如信息、医学、工农业和军事技术等各个部门，是具有里程碑意义的重要技术成就。激光技术的广泛应用使之成为力学、物理、化学、材料科学、光电子以及医学工程之间的一门交叉学科。 激光是一种高亮度的定向能束，单色

2、性好，发散角很小，具有优异的相干性，既是光电测试技术中的最佳光源，也是许多测试技术的基准。,4,3-1激光的基本性质,激光的方向性 描述方法： 发散角：光源发光面所发出光线中，两光线之间的最大角，一般用2表示，单位为rad。 立体角：球冠曲面S对光源O所张的空间角，单位为sr，可用下式描述 整个球面对球心所张的立体 角是4(sr)。,5,激光的方向性 激光器的发散角接近该激光器的出射孔径所决定的衍射极限。可以表示为,例：对氦氖激光器，若=0.63m， d = 3mm，则光束发散角为 2210-4rad。,当发散角较小时，发散角和立体角的关系可简化为,常用激光器的光束方向性能： 气体激光器方向性

3、最好，其发散角约为10-310-6rad； 固体激光器的方向性较差，一般为10-2rad量级。 半导体激光器的方向性最差，一般在（510）10-2rad，且两个方向的发散角不一样。,3-1激光的基本性质,激光的高亮度 定义：亮度为单位面积的光源在单位时间内向着其法线方向上的单位立体角范围内辐射的能量，可表示为 亮度的单位是W/m2 sr；,一般激光器的发光立体角大约为10-6sr，其发光亮度比普通光源大百万倍。 正是由于激光能量在空间和时间上的高度集中，才使得激光具有普通光源所达不到的高亮度。,激光的亮度水平： 一个普通的调Q红宝石激光器发射的 激光，其脉冲功率很容易达到106W 的水平，其亮

4、度是太阳的1010倍。 目前的超短脉冲激光器能产生短至 4.6fs的超短脉冲，光功率密度可高达 1020W/cm2，其亮度就更高了。,3-1激光的基本性质,激光的单色性 单色性是指光强按频率（波长）的分布状况。 描述方法：用频谱或波长分布的宽度（线宽）来描述 激光的单色性能： 单模稳频He-Ne激光器，其发出的谱线的线宽与波长的比值可达 。 普通光源中，单色性最好的同位素86Kr放电灯在低温下发出波长0.6057m的光，,3-1激光的基本性质,8,激光的时间相干性 概念：激光的时间相干性指在一空间点上，由同一光源分割出来的两光波之间位相差与时间无关的性质，即光波的时间延续性。可以理解为，同一光

5、源发出的两列光波经不同的路径，在相隔一定时间c后在空间某点会合，尚能发生干涉，c称为相干时间。 概念：在迈克尔逊干涉仪中，当两光路光程差小于光振动波列本身的长度L时，在观察点P处还有一部分干涉，可看到干涉条纹。当光程差大于振动波列本身的长度L时，两列波完全不相干，则看不到干涉条纹。我们把两波列间允许的最大光程差称为光源的相干长度，记作Lc，它等于光振动的波列本身的长度。,3-1激光的基本性质,9,激光的时间相干性 经过简单推导有下式成立：,结论：光谱线宽度和越窄，光的相干长度Lc和相干时间c越长，光的时间相干性越好。所以激光的时间相干性比普通光源所发出的光好得多。,例如，用86Kr灯作光源的干

6、涉仪，理论上其相干长度Lc=77cm，这与非受激发射的普通光源相比已是最长的了；但利用稳频He-Ne激光器（0.6328m）作光源，若其频率稳定度为10-11，干涉仪的相干长度可达几千公里。,3-1激光的基本性质,10,激光的空间相干性 概念：空间相干性是指同一时间，由空间不同点发出的光波的相干性。 如果用单模激光器作光源，由于这种激光光束在其截面不同点上有确定的位相关系，因此可产生干涉条纹，即单模激光光束的空间相干性很好。 例如：尺寸为100m的矩形汞弧灯光源，当针孔屏距光源500mm放置时，横向相干长度大约为0.25mm， 而激光器的横向相干长度可达100mm以上。,3-1激光的基本性质,

7、11,激光的纵模与横模 1）激光的纵模 光波是一种电磁波，每种光都是具有一定频率的电磁振荡。当谐振腔的光学长度等于半波长的整数倍的那些光波，将形成稳定的振荡，因为这些光波在多次反射中相位完全相同而得到最有效的加强。谐振条件：,所以原则上谐振腔内有无限多个谐振频率。每一种谐振频率的振荡代表一种振荡方式，称为一个“模式”。对于上述沿轴向传播的振动，称为“轴向模式”，或简称为“纵模”。,结论： 纵模的频率间隔与谐振腔的光学长度成反比，与纵模的模序数q无关，在频谱上呈现为等间隔的分立谱线，称之为谐振频率。 只有那些落在增益曲线范围内，并且增益大于损耗的那些频率才能形成激光。其他频率的光波都不能形成激光

8、振荡。 在这里谐振腔起了一种频率选择器的作用，正是由于这种作用，才使激光具有良好的单色性。,3-1激光的基本性质,12,激光的纵模与横模 2）激光的横模 激光光束的截面形状除对称的圆形光斑以外，还会出现一些形状较为复杂的光斑，如图3-7所示。激光的纵模对应于谐振腔中纵向不同的稳定的光场分布。光场在横向不同的稳定分布，通常称为不同的横模。,在实际应用中，希望激光 的横向光强分布越均匀越 好，而不希望出现高阶模。,3-1激光的基本性质,13,从点光源发出的光波，在各向同性介质中传播时形成球形的波面，称为球面波。一个复杂的光源常常可以看做是许多点光源的集合,它所发出的光波就是球面波的叠加 球面波的等

9、位相面是一组同心球面，每个点上的振幅与该点到球心的距离成反比 平面上发散球面波复振幅分布为,球面波及其复振幅表示,3-2 激光概述,在任意时刻、与波矢量相垂直的平面上振幅和位相为常数的光波称为平面波 如波矢量 表示光波的传播方向，其大小为 ，方向余弦为 ，则平面波传播到空间某点的复振幅的一般表达式为 图中用虚线表示出相位值相差 的一组波面与平面 的交线，即等位相线；它们是一组平行等距的斜直线,平面波及其复振幅表示,3-2 激光概述,15,传播矢量 位于 平面的平面波在 平面上的空间频率 。 时间倒数：频率；长度倒数：空间频率，即在单位长度内周期函数变化的周数（单位：周/mm，线对/mm，L/m

10、m，等 ） 信息光学中有两种空间频率，一种是空间强度分布，单位为：周/mm，线对/mm，L/mm，等，对二维图象进行频谱分析得到的图象频谱对应的空间频率。另一种是平面波对应的空间频率，因为电磁波在均匀介质中波长是常数，在其传播方向上空间频率是不变的。,空间频率的物理意义,3-2 激光概述,16,高斯光束 高斯光束的描述 由凹面镜构成的稳定谐振腔产生的激光束既不是均匀平面光波，也不是均匀球面光波，而是一种结构比较特殊的高斯光束，如图所示。,3-2 激光概述,17,高斯光束 高斯光束的描述 沿z轴方向传播的高斯光束的电矢量表达式为,波数K2/,（z）称为z点的光斑尺寸，它是z的函数，即 0是z =

11、 0处的光斑尺寸，它是高斯光束的一个特征参量，称为光束的“束腰”；,R(z)是在z处波阵面的曲率半径，它也是z的函数,是与z有关的位相因子,3-2 激光概述,18,高斯光束 高斯光束的特性 1）z = 0的情况 将z = 0代入电矢量表达式，得出z = 0处的电矢量表达式为 特点：与x, y有关的位相部分消失，即z = 0的平面是等相面，它与平面波的波阵面一样； 振幅部分是一指数表达式，这种指数函数叫高斯函数，通常称振幅的这种分布为高斯分布光斑中心最亮，向外逐渐减弱，但无清晰的轮廓。通常以电矢量振幅下降到中心值1/e（光强为中心值的1/e2）处的光斑半径作为光斑大小的量度，称为束腰。,注意：

12、高斯光束在z = 0处的波阵面 是一平面，这一点与平面波 相同，但其光强分布是一种 特殊的高斯分布，这一点不 同于平面波。也正是由于这 一差别，决定了它沿z方向传 播时不再保持平面波的特性， 而以高斯球面波的特殊形式 传播。,3-2 激光概述,19,高斯光束 高斯光束的特性 2）z = z0 0的情况 当z = z0 0时，电矢量E的表达式为,上式的相位部分表示高斯光束在z = z00处的波阵面是一球面，其曲率半径为R（z0） ，由定义式知 即波阵面的曲率半径R（z0）大于z0，且R随z而异，即作为波阵面的球面的曲率中心不在原点，而且随中心不断变化，如图所示。,3-2 激光概述,20,高斯光束

13、 高斯光束的特性 2）z = z0 0的情况,电矢量E的振幅值与z = 0处相仿，但仍中心最强，同时按高斯函数形式向外逐渐减弱，此时光斑尺寸为 从上式可知，在z = 0处的光斑尺寸最小，该点的光斑尺寸0为束腰，而(z)随z增大，表示光束逐渐发散。,3-2 激光概述,21,高斯光束 高斯光束的特性 2）z = z0 0的情况,通常以2来描述光束的发散角，其表达式为 当z = 0时，20 ； 当 时， ； 当z时， 远场发散角 通常称z = 0到 的范围为准直距离，在此区间发散角最小。,3-2 激光概述,22,高斯光束 高斯光束的特性 3）zz0的情况 与zz0相似，它的振幅分布在zz0处完全一样

14、，只是 R（z0）R（z0），在z0处是一个沿z方向传播的发散球面波，而在z0处，则是沿z方向传播的会聚球面波，两者曲率半径的绝对值相等。,小结：高斯光束在z0处是沿z方向传播的会聚球面波，当它到达z = 0处变成一个平面波，当继续传播时又变成一个发散的球面波。光束各处上的光强分布均为高斯光束。,3-2 激光概述,23,高斯光束 高斯光束的变换 1）高斯光束的复曲率半径 将高斯光束电矢量公式改写为,定义复曲率半径为,参数q（z）将高斯光束 的两个基本参数（z） 和R（z）统一在一个表 达式中，它是表征高斯 光束的又一个重要参数。 一旦确定光束在某位置 处的q（z）值，便可求 出该位置处的（z）

15、 和R（z）。,3-2 激光概述,24,高斯光束 高斯光束的变换 1）高斯光束的复曲率半径 如果以q0=q(0)表示z = 0处的复曲率半径，并注意到R(0)，(0)=0，则按定义式 ，有,由此得出,将（z）和R（z）的定义式代入q（z）的定义式，经适当运算可得,这就是高斯光束的复曲率半径在自由空间（或均匀各向同性介质)中的传输规律,3-2 激光概述,25,高斯光束 高斯光束的变换 2）高斯光束通过薄透镜的变换,=,入射球面波M ，经过薄透镜后将转变成球面波M，有,强调：高斯光束的复曲率半径q(z)和普通球面波的曲率半径R(z)有一样的形式和作用。,3-2 激光概述,26,高斯光束 高斯光束的

16、变换 3）高斯光束通过复杂透镜的变换 高斯光束通过复杂透镜系统的变换关系，遵循ABCD变换定律，表示为,同理，对复杂光学系统有:,3-2 激光概述,27,高斯光束 高斯光束的聚焦 为使高斯光束获得良好的聚焦，通常采用短焦距透镜，或者使高斯光束束腰离透镜甚远。,在入射光束的束腰处,在A处,在B处,在出射光束的束腰处,当 l f 时，有,3-2 激光概述,28,气体激光器 气体激光器是以气体或蒸汽为工作物质的激光器。 气体激光器可分为三大类：原子（如He-Ne）、分子（如CO2）和离子（如Ar+）气体激光器。 气体激光器的特点是： 谱线的波长分布区域宽，已观察到的上万条谱线，覆盖了从紫外到红外光谱

17、区，目前已向两端扩展到X射线波段和毫米波波段。 其激光器输出光束的质量相当高，具有良好的单色性和发散度。 目前是连续输出功率最大的激光器，如CO2激光器连续输出量级已达数十万瓦。 与其它激光器相比，转换效率高，结构简单，造价低廉。 被广泛应用于工农业、国防、医学和其它科研领域中。,3-3 激光器的分类和特点,29,固体激光器 固体激光器是以固体作为激光工作物质的激光器。 类型：目前，实现激光振荡的固体工作物质已达百余种，如红宝石（Cr3+:Al2O3）、掺钕钇铝石榴石（Nd3+:YAG）、钕玻璃和掺钛蓝宝石（Ti3+:Al2O3）等。 特点： 激光谱线数千条。 脉冲激光能量从几千焦耳到几十万焦

18、耳，最高峰值功率达1013瓦。 随着中小功率固体激光器技术的发展，与之有关光学元件也相应地得到发展，其中包括电光Q开关、声光Q开关、调制器、宽带调谐、倍频以及锁模技术等装置均已成熟，已形成产品系列。 结构紧凑、坚固可靠和使用方便等。,1960年由梅曼(Maiman)制成世界上第一台红宝石脉冲激光器，它标志了激光技术的诞生，从此固体激光器技术获得了飞速发展。,3-3 激光器的分类和特点,30,半导体激光器 半导体激光器是指以半导体材料为工作物质的一类激光器。 半导体激光器主要特点有： （1）超小型、重量轻，激活面积为0.50.5mm2； （2）效率高、微分量子效率大于50，能量转换效率大于30；

19、 （3）发射的激光波长范围宽，通常谱宽在0.530m之间； （4）使用寿命长，可达百万小时以上，即使在60的环境温度下工作，寿命也可达20万小时以上； （5）普通的半导体激光器的发射功率在1-100mW，但目前大功率半导体激光器的发展极为迅速，一维相干的大功率半导体激光器连续输出已达500mW，二维相干列阵器件的输出功率达1W。部分相干的半导体激光器的最大输出达80W，准连续输出为300W，脉冲输出达1000W以上。,3-3 激光器的分类和特点,31,半导体激光器 半导体激光器的材料主要集中为三大类材料： III族化合物半导体，如GaAs； -族化合物半导体，如CdS； 族化合物半导体，如Pb

20、SnTe。 其中III族化合物半导体材料研制开发最成熟，应用也最广泛。 目前，半导体激光器已成为激光器家族中最主要的成员之一，是光通信领域中发展最快和最为重要的光纤通信的光源，并在激光电视唱片、光盘、激光高速印刷术、全息照相、文字记录、数码显示、办公自动化、激光准直、激光防盗及医疗等方面开发了应用。半导体激光器是光信息处理、光储存和光计算机等新领域的主要角色。,3-3 激光器的分类和特点,32,液体激光器 液体激光器有两类，即有机化合物（染料）液体激光器和无机化合物液体激光器。 染料激光器输出的激光波长可以在从紫外(340nm)到近红外(1200nm)的范围内连续调谐；激光谱线宽度很窄，目前染

21、料激光器产生的超短光脉冲的时间宽度已压缩到几纳秒，利用锁模技术还可以获得从皮秒（10-12s）到飞秒（10-15s）量级的激光脉冲；染料激光器每个脉冲的能量可达数十焦耳量级，峰值功率达几百兆瓦；激光能量转换效率高达50；已在光化学、光生物学、光谱学、全息照相、光通信、同位素分离、激光医学、大气和电离层光化学等方面获得日益广泛的应用。,3-3 激光器的分类和特点,33,化学激光器 化学激光器是指基于化学反应建立粒子数反转而产生受激辐射的一类激光器。 化学激光器的工作物质可以是气体或液体，但大多数是气体，由于化学激光器在激励方式等方面的独特性，通常将其归为一个单独的激光器分支。 特点是：1）将化学

22、能直接转换为激光；2）输出的激光波长丰富，从紫外到红外，一直进入微米波段；3）高功率、高能量激光输出，如氟化氢激光器，每公斤氢和氟作用就能产生1.3107焦耳的能量；4)化学激光器在许多领域中具有广阔的应用前景，特别是要求大功率的场合，如同位素分离、激光武器等方面，利用氟化氘(DF)激光器击落靶机已见报道。,3-3 激光器的分类和特点,34,自由电子激光器 自由电子激光器是最近发展起来的一种新型激光器。其工作物质是自由电子束。 自由电子激光器具有显著的特点： 1)输出的激光波长可在相当宽的范围内连续调谐，原则上可以从厘米波一直调谐到真空紫外，甚至x光的波段，在目前电子加速器可利用的能量范围内，

23、已实现的调谐范围是100nm-1mm； 2)由于自由电子激光器的工作物质是电子束本身，因而不会出现自聚焦、自击穿等非线性光学损伤现象，只要电子能量足够大，就可以获得极高的光功率输出； 3)具有极高的能量转换效率，理论上可高达50，目前实验中已做到10。 目前，自由电子激光器仍处于试验阶段，离实际应用尚有相当一段距离。,它和普通激光器的根本区别在于： 辐射不是基于原子、分子或离子的 束缚电子能级间的跃迁。本质上看， 自由电子激光器是一种把相对论电 子束的动能转变成相干辐射能的装置。,3-3 激光器的分类和特点,35,其它激光器 除了上面介绍的激光器外，还有很多其它类型的激光器，并且各有自己独特特

24、点，如： 1）x射线激光器 2）受激喇曼散射激光器 3）薄膜激光器 4）自电离激光器和离解激光器 5）光纤激光器等,3-3 激光器的分类和特点,2020/8/27,36,3-4 激光准直技术,1激光束的压缩技术 在普通应用中，可以把激光束看成平面波，直接作为直线性测量的基准。但是在高准确度应用中，必须考虑激光束的波面既非平面波也不是球面波，而是高斯光束，其发散的形式与球面波是不一样的。所谓激光束的压缩，即要压缩光束的发散角，改善激光束的方向性。 用倒置望远镜压缩激光束,当透镜L1为短焦距的薄透镜时,同样，就透镜L2而言,所以,2020/8/27,37,1激光束的压缩技术 用倒置望远镜压缩激光束

25、 而在透镜L2处入射光束的曲率半径为R3，R3f2。则 由此可见，高斯光束经过一个倒置望远镜系统后，从透镜L2出射光束的曲率半径为无穷大，即出射光在透镜L2处为一平面波，出射光的束腰位于透镜L2处，其尺寸为,3-4 激光准直技术,2020/8/27,38,1激光束的压缩技术 用倒置望远镜压缩激光束 所以，出射光的发散角为 而入射光的发散角为 此时发散角的压缩比,3-4 激光准直技术,2020/8/27,39,1激光束的压缩技术 零阶贝赛尔(Bessel)光束 高斯光束经过任何线性光学系统的变换仍然是高斯光束，随着光束的传播，高斯光束截面上光强迅速衰减。但是当光源用激光器，经过特殊的会聚元件而形

26、成的零阶贝塞尔光束的光强几乎不随传播距离而衰减，是一条亮而细的光束。 零阶贝塞尔光束是波动方程在无界空间的一个特解，其形式为：,由该式可知，这是一个在垂直于传播方向z的横截面上具有相同光强分布J0(r)的光束，即光强分布不随z而变，因而具有无发散传输的性质。 必须指出，在有界空间中，零阶贝塞尔光束是波动方程的一个近似解，即在某一传输距离内延缓光束的衍射发散，使横截面上的光强分布近似不变。,3-4 激光准直技术,2020/8/27,40,1激光束的压缩技术 零阶贝赛尔(Bessel)光束,3-4 激光准直技术,2020/8/27,41,1激光束的压缩技术 产生超细光束的新光源 1989年美国密执

27、安大学的科研人员研制出一种可产生超细光束的技术，其光束的直径可以小至1nm。 这项技术，包括在一支内径仅100nm或更小的微小滴管的尖头内，生长一颗分子态晶体，通过用激光或其它手段对这颗晶体进行激发，光以分子态激子形式经晶体传播，并激发晶体，在滴管尖端产生细光束。使用不同晶体可产生不同波长的光。 这种新装置是一种可产生极细光束的主动光源，而不是以某种形式将光压缩变窄、被动限制地产生细光束，并且由于晶体可以放大信号，因此其亮度要大得多。 这项技术最重要的特点是它能实现对极小区域成像（分子成像），预示着它将有重要应用。,3-4 激光准直技术,2020/8/27,42,2激光准直测试技术 激光自准直

28、技术 激光束的自准直技术是指能实现反射波面与入射波面完全重合的技术。 1）平面镜反射的自准直 激光束经倒置望远镜后射出，经平面镜反射回来，射在距平面镜一定距离的四象限平面光电接收器或面阵CCD上，垂直光束移动光电接收器，确定了激光斑的位置；若平面镜有小量倾斜，则反射光束的偏角为平面镜倾角的两倍，再移动光电接收器，又一次确定了激光斑中心的位置后，由其移动距离和平面镜到光电接收器的距离，即可求出平面镜的倾角。,3-4 激光准直技术,2020/8/27,43,2激光准直测试技术 激光自准直技术 2）相位共轭技术实现自准直 若光波入射到相位共轭镜上，不论是否垂直入射，都按原路反射回去，而且发散光变成了

29、会聚光，产生的会聚光波称为相位共轭波。相位共轭光束的任意两点间的相位差与原入射光束相同两点之间的相位差大小相等符号相反。改变相位符号的数学运算称为共轭，故称该现象为相位共轭。 产生方法： 受激布里渊（Brillouin）散射 四波混频,一束高强度、高方向性的 光束进入光学非线性材料 时，只要光束功率大于某 一阈值，光束就几乎全部 向后反射回来，后向反射 光的出现就是产生布里渊 散射的结果。,3-4 激光准直技术,2020/8/27,2激光准直测试技术 激光准直技术 现有的激光准直仪按照工作原理可以分为振幅测量法、干涉测量法和偏振测量法等。 1）振幅（光强）测量法 原理：振幅测量型准直仪以激光束

30、的强度中心作为直线基准，在需要准直的点上用光电探测器接收。探测器输出对中和偏心信号。 这种方法比用人眼通过望远镜瞄准方便，瞄准的不确定度上也有一定的提高，但其准直度受到激光束漂移、光束截面上强度分布不对称、探测器灵敏度不对称，以及空气扰动造成的光斑跳动等的影响。,3-4 激光准直技术,2020/8/27,2激光准直测试技术 激光准直技术 1）振幅（光强）测量法 提高激光准直仪的对准准确度的方法有： 菲涅尔波带片法 位相板法 双光束准直法,当激光束通过望远系统后，均匀地照射在方形波带片上，并使其充满整个波带片，则在光轴的某一位置出现一个很细的十字亮线。调节望远系统的焦距，则十字亮线就会出现在光轴

31、的不同位置上，这些十字亮线中心点的连线为一直线，这条线可作为基准来进行准直测量。由于十字亮线是干涉的效果，所以具有良好的抗干扰性。同时，还可克服光强分布不对称的影响。,该准直法使用一个复合棱镜将光束分为两束，当激光器的出射光束漂移时，经过棱镜以后的两个光束的漂移方向相反，采用两光束的平分线作为准直基准可以克服激光器的漂移和部分空气扰动影响。,3-4 激光准直技术,2020/8/27,2激光准直测试技术 激光准直技术 2）干涉测量法 干涉测量法是在以激光束作为直线基准的基础上，又以光的干涉原理进行读数来进行直线度测量的。,3-4 激光准直技术,2020/8/27,2激光准直测试技术 提高测试准确

32、度的技术措施 激光准直仪大多采用单模（TEM00）输出的He-Ne激光器，其功率约为12mW，波长为0.6328m。 由于谐振腔反射镜支架的变形、激光器的发热（一般可达6070）以及周围环境温度的变化引起激光器毛细管弯曲或谐振腔变形，都可能引起光束方向的漂移。 减小激光器输出光束的漂移，可以采取以下几种措施: 1）热稳定装置 2）光束补偿装置 3）在激光管周围对称地放置自动温控加热器 减小空气扰动的影响比较复杂（机械、光学方法）,前苏联的直线度和平面 度国家基准采用实时补 偿技术，直线基准的均 方差=0.006m/m。,3-4 激光准直技术,3激光准直测试技术的应用 大尺寸设备的装配和制造的准

33、直,测量水平： 如机翼长度约61m，其所有部件，如机翼前 缘的对准标准不确定度小于0.13mm，整个机 翼装配合成标准不确定度为0.76mm。 可以以0.025mm的不确定度探测激光束的位置。,3-4 激光准直技术,2020/8/27,3激光准直测试技术的应用 直线度的测试,3-4 激光准直技术,2020/8/27,3激光准直测试技术的应用 多自由度准直测量,美国Michigan University 0.5m范围内的测试分辨力：线位移为2m，角位移0.05，但滚转角分辨力较低。,3-4 激光准直技术,2020/8/27,3激光准直测试技术的应用 多自由度准直测量,日本Nihon Univer

34、sity和Sophia University,3-4 激光准直技术,2020/8/27,3-5 激光多普勒测速技术,概述 1842年奥地利科学家Doppler等人首次发现，任何形式的波传播，波源、接收器、传播介质或散射体的运动会使频率发生变化多普勒效应。 1964年，Yeh和Cummins观察到水流中粒子的散射光有频移，首次证实了可用激光多普勒频移技术来确定粒子流动速度。 目前，激光多普勒频移技术已广泛地应用到流体力学、空气动力学、燃烧学、生物医学以及工业生产中的速度测量。,2020/8/27,1. 多普勒效应 当波源与观测者之间有相对运动时，观测者所接收到的频率不等于波源振动频率，此现象称为

35、多普勒效应。 多普勒在其声学理论中指出，在声源、介质、观测者存在相对运动时，观测者接收到的声波频率与声源频率不同的现象就是声学多普勒效应。 爱因斯坦在论物体的电动力学中指出，当光源与观测者有相对运动时，观测者接收到的光波频率与光源频率不同，即存在光（电磁波）多普勒效应。,声学多普勒效应与波源及观测者 相对于介质运动有关，光学多普 勒效应只与光源和观测者之间的 相对运动有关，因此，声学（机 械波）和光学（电磁波）的多普 勒效应有本质区别。,3-5 激光多普勒测速技术,2020/8/27,1. 多普勒效应 1）声多普勒效应原理 声波是依赖于介质传播的，离开介质就谈不上波的存在。 设声源的频率为 f

36、，声波在媒质中的速度为v，波长=v/f 声源不动，观测者相对于媒质以速度v1运动 设声源相对于介质静止，观测者迎向声源运动，则声波相对于观测者的速度不再是v，而是v+v1，则观测者接收到声波的频率为 同理，观测者背离声源有,3-5 激光多普勒测速技术,2020/8/27,55,1. 多普勒效应 1）声多普勒效应原理 声源相对于媒质以速度v2运动，观测者静止于媒质中 设声源S相对于媒质以速度v2迎着观测者D运动。波源在运动过程中按照自己的频率振动，一个周期内完成一次全振动，在媒质中产生一个完整波形；同时在T内，波源前进了v2T距离，波长变为,则，频率为,同理，声源背离观测者运动有,3-5 激光多

37、普勒测速技术,2020/8/27,56,1. 多普勒效应 1）声多普勒效应原理 声源和观测者相对于媒质运动，速度分别为v2和v1 综合上述情况，可以得到：,观测者向着声源运动时，取正号；反之取负号,声源向着观测者运动时，取负号；反之取正号,总之 当声源和观测者相向运动时，接收频率升高；当声源和观测者背离运动时，接收频率降低；,强调： 声学只有纵向多普勒效应，没有横向多普勒效应,3-5 激光多普勒测速技术,2020/8/27,57,1. 多普勒效应 2）光多普勒效应原理 对于任何惯性系，光在真空中的传播速度都相同，所以，光源和观测者谁相对于谁运动是等价的，只取决于相对速度的大小。如图示。,K系中

38、静止的光源从K系的t1时刻开始发出一列光波，这个波列的发射截止时间为t2，于是在K系中此波列发射的时间为（t2 t1 ），在这段时间内发射的波数为N，光源的频率为,3-5 激光多普勒测速技术,2020/8/27,58,1. 多普勒效应 2）光多普勒效应原理 在观测者所在坐标系K中来看，此波列发射始于t1时刻（光源在S1处），接收这个波列的时刻是,在观测者所在坐标系K中来看，此波列发射截止于t2时刻（光源在S2处）。t2时刻光源发出的光波传到观测者的时刻为,3-5 激光多普勒测速技术,2020/8/27,59,1. 多普勒效应 2）光多普勒效应原理,观测者D收到这N个波共需时,3-5 激光多普勒

39、测速技术,2020/8/27,60,1. 多普勒效应 2）光多普勒效应原理 观测者接收光波的频率为,根据时间相对性,这就是光学多普勒效应公式,3-5 激光多普勒测速技术,2020/8/27,61,1. 多普勒效应 2）光多普勒效应原理 若相对运动发生在观测者和光源连线上，则cos1（远离时取1，接近时取1）：,纵向多普勒效应,若相对运动发生在观测者和光源连线的垂直方向上，则cos0,横向多普勒效应,同样的v值下，横向多普 勒效应比纵向多普勒效 应要小很多。,3-5 激光多普勒测速技术,2020/8/27,62,2. 激光多普勒测速原理 1）多普勒测速原理 如图。由于v/c非常小，只取级数展开的

40、前两项，即,考虑流体中的速度为c/n，将v换成纵向分量,3-5 激光多普勒测速技术,2020/8/27,63,2. 激光多普勒测速原理 1）多普勒测速原理 探测器接收到的两束光频率之差为（忽略横向效应）,因 ，若 则得,于是，流速为,测量出探测器 上的拍频信号， 就可以得到f， 也就可以得到v,3-5 激光多普勒测速技术,2020/8/27,64,2. 激光多普勒测速原理 2）频移信号的检测 光混频技术（外差干涉）：,方式： 零差； 外差。,3-5 激光多普勒测速技术,激光多普勒测速的特点,动态响应快 空间分辨率高 流速测量范围宽 测量精度高,3-5 激光多普勒测速技术,激光多普勒测速的应用,

41、管道内水流流层研究； 流速分布亚音速或超音速气流旋流的测量 大气远距离测量； 风速测量 可燃气体火焰的流体力学研究； 水洞、风洞和海流测量,3-5 激光多普勒测速技术,2020/8/27,3-5 激光多普勒测速技术,2020/8/27,68,血液流速测量,3-5 激光多普勒测速技术,2020/8/27,69,3-6 激光测距技术,利用激光进行远距离（几千米）测量的技术，通常有激光相位测距和脉冲激光测距两种。 激光相位测距 1激光相位测距原理 相位测距是通过对光的强度进行调制来实现的。光波从A点传播到B点的相移可表示为 若光从A点传到B点所用时间为t，则A、B两点之间的距离,2020/8/27,

42、70,3-6 激光测距技术,激光相位测距 1激光相位测距原理 只要测出光波相移中周期2的整数m和余数m，便可由公式求出被测距离L。所以，调制光波的波长是相位测距的一把“光尺”。 实际上，用一台测距仪直接测量A和B两点光波传播的相移是不可能的。因此，采用在B点设置一个反射器（即测量靶标），使从测距仪发出的光波经靶标反射再返回到测距仪，由测距仪的测相系统对光波往返一次的相位变化进行测量。,2020/8/27,71,3-6 激光测距技术,激光相位测距 1激光相位测距原理 相位测量技术只能测量出不足2的相位尾数，即只能确定余数m ，而不能确定相位的整周期数m。因此当被测距离L大于Ls 时，用一把光尺是无法测定距离