




版权说明:本文档由用户提供并上传,收益归属内容提供方,若内容存在侵权,请进行举报或认领
文档简介
1、 可利用10年的時間間隔,回顧半導體製程的歷史: IC以前(1950年代) IC時代(1960年代) LSI時代(1970年代) VLSI時代(1980年代) 次微米VLSI時代(1990年代) Giga bit時代(2000年以後),半導體製程技術發展史,IC以前 (1950年代), 1950 年代是開始生產電晶體的時代。當時半導體基板材料為鍺,加工鍺的各種技術,都以量產為立足點。 電晶體由點接觸型開始,經過合金接合型、成長接合型等,接著引進擴散技術,再轉移到矽。 本世代的製程包括使用爐管的熱處理、去除污染、蝕刻、電鍍等等。 在1950年代末急速進展,材料從Ge轉為Si。因此,製程技術亦從以
2、往的Ge加工技術,變為Si加工技術,變遷到IC時代。,IC時代 (1960年代), 1960年代為IC的時代,此時起引進光微影技術(photolithography) 。使用光罩的圖案轉寫技術引進IC的製造工程。 從製程技術面而言,本時代誕生了微影製程、平面技術的開發、表面安定化技術 。為了提昇雙極性電晶體的性能,引進磊晶層形成技術的主題。離子植入技術的原型也是在本時代提出。 磊晶成長技術的應用是從本時代開始,此技術對於減低雙極性電晶體的集極系列的電阻,是不可或缺的,後來也應用在雙極性IC的基板。,LSI時代 (1970年代), IC的積體度增大,最早被稱為LSI的 MOS記憶體,於1969
3、1970年登場。 於1970年代定位為LSI時代。過去不穩定的MOS元件,由於確立了界面特性安定化的製程,此一趨勢下,使得MOS記憶體開始出現於市面。 達到高密度、高積體度的製程,是Si閘極技術崛起的最大關鍵,閘極構造取代過去的Al閘極。 Intel公司發表使用此一閘極構造的記憶體,成為以後DRAM發展的出發點。 從此時起,CVD膜的重要性增加,藉由熱壁 (hot wall) LPCVD法,開發出多晶矽膜和氮化膜的形成技術。而且1970年代為確立半導體製造設備產業的時期。 本時期所開發的製程技術,最為注目的就是 LOCOS (Local Oxidation of Silicon) 構造。採用選
4、擇性氧化法的隔離構造,也是目前廣泛應用的技術。,LOCOS製程流程,VLSI時代 (1980年代), 1980年代,隨著DRAM的量產及高密度化的進展,DRAM在半導體產業內是技術的驅動力。 本時期的最小圖案尺寸為1m,隨著步進機的必要性,製程同時往乾式化進展。特別是過去使用的蝕刻技術,從濕式製程轉為使用電漿的乾式製程。 藉由乾式化,可提昇圖案轉寫的精確度,提高再現性。 藉由本時期的反應性離子蝕刻,微細圖案形成技術的進步極為顯著。 元件技術方面,從雙極性轉移至CMOS,數位用的IC以及LSI幾乎都是用CMOS構造製作而成。,濕式蝕刻製程與乾式蝕刻製程,次微米VLSI時代 (1990年代), 本
5、時代的最小加工尺寸為1m以下,由於步進機也加以對應,提高解析度,硬體的進步持續推進。 相對於“DRAM的日本”而言,本時代由於“DRAM的韓國”抬頭,DRAM不再只是日本獨佔的舞台。此外,台灣的半導體生產也急速成長,以代工廠方式為主,成功扮演半導體生產基地的角色。 本時期內,製程技術的主題為製程整合概念的滲透。這是設備與設計概念的結合,本書作者一直以來稱為複合製程的方式。 複合製程主要是組合幾個基本製程進行處理,形成一種構造,在一台設備內將製程連續化達成一項目標。但並不是所有的製程都可以連續化,製程整合是促成晶圓製程標準化和共通化的動作。 W插塞 (plug) 構造的流程,是製程整合的典型例子。CMP技術也在本時期確立為基本製程之一。,Giga bit時代 (2000年以後), 本世紀邁入Giga bit的時代,最小加工尺寸為0.18m至0.13m,且不久即轉移至0.1m 。尺寸的表示從m轉變為nm。因此,引進新製程、新材料是不可或缺的工作,製程技術方面,對於開發的需求有重新回到原點的態勢。
温馨提示
- 1. 本站所有资源如无特殊说明,都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
- 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等,如果需要附件,请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
- 3. 本站RAR压缩包中若带图纸,网页内容里面会有图纸预览,若没有图纸预览就没有图纸。
- 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
- 5. 人人文库网仅提供信息存储空间,仅对用户上传内容的表现方式做保护处理,对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑,并不能对任何下载内容负责。
- 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容,请与我们联系,我们立即纠正。
- 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。
最新文档
- 2025版保密协议范本(适用于咨询行业)
- 2025年度高空作业安全生产责任合同书范本
- 2025版国际贸易反担保保证合同规范文本
- 二零二五年度国防科技工业劳动合同变更及国家安全协议书
- 二零二五年度城市综合体运营启动仪式策划合同
- 二零二五年度城市综合体安全防护系统施工合同
- 二零二五年度IT行业网络安全解决方案产品全球代理授权合同
- 二零二五年度宾馆房间租赁及物业管理合同
- 2025年建筑工地安全员岗位聘用及管理服务协议
- 二零二五年度腻子产品线上线下销售合作协议
- 全国高中物理奥林匹克竞赛试卷及答案
- 装饰装修工程施工方案完整版
- while循环 教学课件
- 市场营销人员劳动合同指南
- 佐剂库设计与高通量筛选中的研究
- DZ∕T 0033-2020 固体矿产地质勘查报告编写规范(正式版)
- 小学道德与法治培训感悟
- 营区物业服务营区物业服务保密措施
- 2023年春季内蒙古高一化学学业水平合格性考试卷真题
- 思维导图在小学数学复习课中的应用研究 论文
- 现代物流园规划方案
评论
0/150
提交评论