无尘室管理规范.ppt

1、无尘室管理规范,部门：MFG 日期：11-09-29,核准： 审核： 制作：Torry,Contents,无尘室的纪律,设备进出无尘室管理,无尘衣鞋及日常用品管理,进出无尘室的管制与方法,无尘室基本介绍,文件档案管理,无尘室物料管理,厂商进出无尘室注意事项,标示管理,无尘室安全注意事项,化学药品管理,无尘室基本介绍,1.无尘室又称洁净室（Clean Room） 无尘室是一个为了对室内空气中的微粒数进行控制所建的特殊封闭式建筑并具备下列特性的密闭作业空间： a.空气中微粒数小于一定数目 b.能防止外界微尘粒子进入 c.能迅速排出室内所产生之微尘粒子和有害气体到室外 d.维持温度、湿度及室压于一定

2、标准 e.能防止静电、电磁等有害制程的干扰 f.安全及节能的考量 2.无尘室管理的目的 有效管理无尘室生产设备、工具、人员的进出、无尘衣鞋等，确保无尘室的高效洁净度、设备的正常运转及制程的稳定。,无尘室基本介绍,各种条件下微尘状况,无尘室基本介绍,无尘车间标准-等级,无尘室基本介绍,无尘室洁净度之维持和控制，除了前期硬件设备投资外也需要良好的软件管理制度来搭配，方能维持良好的洁净度。由上图测试结果来看，作业人员对无尘室内洁净度影响最大，作业人员进度无尘室时尘埃有显著增加，有人员来回走动等动作时洁净度马上劣化，可见洁净度劣化的主要原因为人为因素,污染源说明,无尘室基本介绍,微尘的危害及防止,就玻

3、璃基板而言，微尘粒子之附着将造成玻璃基板的划伤，短路和贴附气泡等制程品质不良，而造成报废。因此对污染源的控制已成为无尘室管理的重要环节。 1.外部尘埃侵入之防止 无尘室适当正压保持（0.5mmHg）,做好前期施工工程保证不漏气，人员、设备、原材料、治工具、耗材等携入无尘室之前必须做好清洁擦拭等防尘动作。同时清洁工具需妥善放置及定时更换或清洁。 2.无尘室内发生及防止 隔间板、地板等无尘室材料的适当选用，制程设备的发生控制即定期保养清洁，生产人员人在其位不得随意走动或较大肢体动作，特殊站点采取增加粘尘垫等预防措施。 3.室内发生之不积累 组织生产人员定期清洁无尘室内的各个角落，遵循从上到下、从外

4、到内的清洁方法。 4.无尘等级极度劣化之处理 暂停所有生产，将设备、治工具等清洁后打包密封，检查厂务设备、过滤网等，采取泄压方式处理。,进出无尘室的管制与方法,1.一般人员 a.经过专门培训并考核通过 b.需严格遵循无尘室管理规范的要求 c.身体健康无传染病 d.服从现场主管的管理 e.随身携带物品需遵循无尘室物品管制的要求 2.厂商 a.经过专门培训并由公司负责人签字确认 b.由公司接待人员负责开立施工厂商无尘室进入申请单，经主管签字 c.由公司接待人员随同进入 d.携带物品由公司接待人员负责开立物品携入、携出申请单，经主管签字 3.来宾 a.由公司接待人员负责开立来宾无尘室进入申请单，经主

5、管签字 b.由公司接待人员陪同沿参观路线参观,进出无尘室的管制与方法,人员穿着无尘衣/鞋步骤说明(进无尘室),洗手并烘干,戴口罩,戴网帽,穿无尘衣,穿无尘鞋,戴手套,洗手并烘干,粘尘滚轮清洁无尘衣鞋,踏上粘尘垫,进入风淋室,举双手转三圈,听到提示音后开门进入无尘室,进入门禁室,进出无尘室的管制与方法,人员脱无尘衣/鞋步骤说明(出无尘室),确认无人员进入并关门后开前侧门出,脱手套,洗手并烘干,脱无尘鞋,脱无尘衣,脱网帽,脱口罩,离开门禁室,进入缓冲室,进出无尘室的管制与方法,进出风淋室注意事项,a.穿好无尘衣鞋后，必须先用粘尘滚轮清洁再进入风淋室，然后进入无尘室 b.排队进入风淋室，每次进入人数

6、不得超过限定人数 c.人员在风淋室应双手举起转三圈，不得用手堵住出风口、不得靠墙、更不得打闹拥挤 d.洗净完毕后，听到提示音再开门依次走出 e.出风淋室后进入无尘室，不得大声喧哗，非紧急情况不能跑步,进出无尘室的管制与方法,禁止进出无尘室人员及物品,人员进入无尘室注意事项,a.禁止进入无尘室的物品和人员，非紧急情况下不可进入无尘室，如经稽核人员发现，则拍照并发出稽核单，并通知该员工上级主管处理。 b.每天穿棉袜，并保持一天一洗。 c.阴雨天气进入无尘室前，要尽量保持身体及衣物的干爽、洁净。 d.所有人员需按照规定穿戴好无尘衣、鞋、手套、口罩、手套、网帽，并按照标准流程进入无尘室。 e.有高等级

7、无尘室进入低等级无尘室不需通过风淋室，有低等级无尘室进入高等级无尘室必须通过风淋室。,进出无尘室的管制与方法,人员出无尘室注意事项,a.出无尘室缓冲室内无特别人数限制，但两侧门不可同时打开，确保无人员进入并关门后才可打开另一侧门。 b.耗材丢弃：将已使用之手套、网帽、口罩按照日常用品管理说明分类丢到对应回收桶内。 c.按照门禁出无尘衣、鞋摆放标准将无尘衣挂整齐，并将无尘鞋收好。 d.携出物品检查：门禁人员有权对出入人员执行电子扫描检查或随身包装物品拆开检查，若无违反无尘室物品管理规定或有主管签字的无尘室物品携入携出申请单可放行，否则门禁有权扣留物品并将该员工厂牌等信息登记，按照相应流程处理。

8、e.针对涉及制造材料携出部分，需开立无尘室物品携入携出申请单，并由生产支援课物料负责人及主管签字后才可放行。,进出无尘室的管制与方法,无尘衣鞋及日常用品管理,无尘衣鞋清洗管理,a.无尘衣鞋每周一清洗一次，按照门禁要求放入指定位置 b.无尘衣鞋清洗完毕后有门禁安排人员放入对应柜子 c.无尘衣鞋统一由门禁收集并编号，有问题直接与门禁沟通 d.无尘衣鞋必须按照规定定期投洗与穿戴，将不定期进行稽核，如有员工违反公司规定，将依照公司员工管理办法进行处置。,无尘衣鞋及日常用品管理,日常用品管理,设备进出无尘室管理,在Move In门口将设备清洁,挂Move In围帘,门禁撕开封条并开Move In门,将设

9、备推入,开Move In门申请单,门禁关Move In门贴封条,在无尘室内将设备打包,挂Move In围帘,门禁撕开封条并开Move In门,将设备推出,开Move In门申请单,门禁关Move In门贴封条,设备Move In,设备Move Out,无尘室的纪律,a.禁止交头接耳谈论与工作无关的事情，禁止对机器做较大肢体动作。 b.禁止随意走动、禁止未经现场主管允许而更换工作岗位。 c.禁止坐在地上或趴在设备上（工程师维修调试时除外）。 d.无尘室内禁止打开衣扣或拉链，禁止在无尘衣、鞋、手套上乱写乱画，手套损坏应马上通知现场主管，待批准后自行到门禁室更换。 e.禁止多人聚集在一起（紧急情况或

10、开会除外）。 f.禁止跑步或较大肢体动作，以免引起灰尘。 g.禁止将口罩下拉、禁止卷起衣袖露出皮肤。 h.无尘室内安全门非紧急情况禁止倚靠或推开以免引起假报警造成人员伤害或生产损失。 i.工作期间需喝水、上洗手间的，通知现场生产主管，拿到主管签字的出入卡后方可离开，并在15分钟内返回，注意此期间不许抽烟。 j.发现任何产品异常应立即通知现场生产主管或工程师。 k.应轻拿轻放产品，并按照SOP规定放置在对应的标示区域。 l.不可与同事或主管顶撞，遇到任何问题可与主管沟通解决。,厂商进出无尘室注意事项,a.禁止进入无尘室的物品和人员非紧急情况下不可进入无尘室。 b.若需携带Note Book进入无

11、尘室，需要公司資訊安全主管审核批准。 c.厂商人员需有公司对应负责人陪同才可进入。 d.厂商施工物品需按照本公司对应负责人的要求规范放置。 e.厂商需按照本公司规定购买符合规格的无尘衣、鞋等无尘室专用物品。 f.厂商不得擅自在无尘室内拍照（公司内部其余地方也不允许）。 g.厂商进行任何危险的施工比如：电焊、有毒或惰性气体施工等需有正规的施工许可证，因厂商原因造成的自我伤害或本公司人员及经济损失，由厂商所在公司负责。 h.其余事项按照本公司员工纪律执行。,无尘室物料管理,a.材料上限时由领料员按照规范要求放至对应位置，核对实物料号与工单是否相符，若有不符将其分类标示后通知生产部物料管理人员进行处

12、理。 b.生产在线暂存之物料，其高度不得超过限高线，送料数量依材料体积大小和生产效率而定。 c.在搬运、存放材料过程中，确保其质量不被损坏。 d.材料堆放应遵循上轻下重，上小下大的原则，堆叠高度依照SOP规定。 e.拿取材料时应戴静电手环等静电防护设备，确保材料不被静电损伤。,化学药品管理,a.化学药品放置于防爆柜中，有需求时找物料员领用，多余药品应立即放回防爆柜。 b.若发现现场站点化学药品用完，由现场领班和物料管理主管签字后方可领取，由物料员负责发放。 c.化学药品在防爆柜内存放量最大不得超过一个星期的用量。 d.化学药品应由明确的标示，不得涂改、撕毁标示，非专业人员不得倒装化学药品。 e

13、.无标示化学药品不可使用，由专业人员进行处理。,文件档案管理,a.SOP档案资料需放置于指定档案夹内，各站点SOP文件按规定放置于醒目位置，不得随意挪动，更不得乱写乱画。 b.确保产线使用的SOP文件必须是最新版的并在有效期内，过期的由生产主管审核后指派人员销毁。 c.现场所有物品、文件摆放需按照现场5S标准执行。 d.携入无尘室的所有文件资料必须是用无尘纸打印，包装、外壳必须用无尘布+酒精清洁,标示管理,无尘室安全注意事项,a.灭火器及逃生门口1米内禁止放任何物品，且紧急逃生通道应保持畅通。 b.无尘室内发现异常状况（不明声音、烟雾、不明气味等）应迅速通知现场主管。 c.禁止生产人员和无关人员修改设备密码，或私自操作按钮。 d.调机时工程师应按下紧急停止开关，并悬挂“停机保养/维修”警告牌。两人配合时需遵循“提