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文档简介

1、毕业论文答辩阳极掩膜微细电解加工实验研究学生：导师：张孙博晶专业：机械设计制造及其自动化12主要内容1. 研究背景及相关理论2. 制备试验和表面表征3. 试验结果分析4. 结论3主要内容1. 研究背景及相关理论2. 制备试验和表面表征3. 试验结果分析4. 结论4研究背景及相关理论掩膜光刻技术阳极掩膜微细电解微细电解加工5研究背景及相关理论接触角 大于150的表面称为超疏水表面水滴空气固体表面6应用前景减阻自清洁超疏水表面防结冰7超疏水表面制备疏水材料微结构微结构表面低表面能修饰8超疏水表面制备疏水材料微结构低表面能修饰微结构表面9超疏水表面微结构研究进展 李文等微结构理论分析10超疏水表面微

2、结构研究进展 李文等 连峰等圆柱阵列微结构硅烷自组装膜微结构理论分析11超疏水表面微结构研究进展 李文等 连峰等 袁长松方柱等阵列结构TiO2表面硅基阵列圆柱微结构微结构理论分析12研究目标一致性微结构铝基体超疏水性能13微柱阵列结构模型的构建微柱阵列结构表面模型14主要内容1. 研究背景及相关理论2. 制备试验和表面表征3. 试验结果分析4. 结论15制备试验尺寸形貌表面质量制备方法16制备试验形貌多变尺寸多变表面质量好尺寸形貌表面质量制备方法表面质11量7尺寸形貌17阳极掩膜微细电解电解刻蚀机械加工模板法模板法机械加工电解刻蚀表面质1量8尺寸形貌光刻加工18阳极掩膜微细电解模板法机械加工电

3、解刻蚀表面质11量9尺寸形貌光刻加工微细电解加工19阳极掩膜微细电解20试验流程掩膜制作微柱掩膜21试验流程匀胶掩膜制作22试验流程匀胶掩膜制作23试验流程匀胶曝光显影掩膜制作24试验流程匀胶曝光显影掩膜制作夹电具液解微细电解加工电流密度加工时间25试验流程夹具阴极 （-）掩膜阳极 （+）1-进液口 2-压板 3-阴极导电螺钉 4-阴极 5-垫片 6-附有掩膜的工件 7-盖板 8-阳极引电26试验流程电解液电流密度27试验流程加工时间28试验流程匀胶曝光显影掩膜制作微细电解加工试验流程掩膜制作匀胶29155曝光显影低表面能修饰微细电解加工30表面表征微结构表征表面表征润湿性表征31微结构表征表

4、面表征润湿性表征32微结构表征表面表征润湿性表征33主要内容1. 研究背景及相关理论2. 制备试验和表面表征3. 试验结果分析4. 结论34*随a的变化微柱高（h/ m）微柱间距（b/ m）微柱宽（a/ m）实际接触角（*/ ）20606012275117901141051134060149751359012510511535*随b的变化微柱高（h/ m）微柱宽（a/ m）微柱间距（b/ m）实际接触角（*/ ）20601257512590124105120406060149751559015010512536最大接触角a=60m，b=75m， h=40m时，实际接触角*=155150，符合超疏水表面要求37主要内容1. 研究背景及相关理论2. 制备试验和表面表征3. 试验结果分析4

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