SOP-QC-XXX悬浮粒子监测操作规程

1、1 目的建立悬浮粒子监测操作规程，使其操作规范化、合理化。2 范围适用于洁净区悬浮粒子监测操作。3 职责qa、qc检验人员负责本规程的实施，质量控制部部长、质量保证部部长负责监督。4 内容4.1 测试方法4.1.1 测试用仪器： xx型激光尘埃粒子计数器。4.1.2仪器使用操作步骤：见xxx型激光尘埃粒子计数器使用操作规程 。4.2 测试条件被测试洁净室（区）温、湿度须达到规定的要求 （无特殊要求时， 温度控制在 1826，相对湿度控制在 4565%为宜），静压差、换气次数、空气流速必须控制在规定值内。4.3 测试状态测试状态有静态和动态两种，静态是指洁净室（区）在净化空气调节系统已安装完毕且

2、功能完备的情况下，生产工艺设备已安装，但洁净室（区）内没有生产人员的状态或洁净室（区）在生产操作全部结束后，生产操作人员撤离现场并经过自净后的状态；动态是指洁净室（区）已处于正常生产状态，设备在指定的方式下运行，并且有指定的人员按照规范操作的状态。测试状态的选择必须符合生产的要求，并在报告中注明测试状态。测试人员必须穿戴符合环境洁净度级别的工作服。静态测试时，室内测试人员不得多于2 人。cn， m4.4 测试时间对单向流，测试应在净化空气调节系统正常运行时间不少于10 分钟后开始。静态测试在操作人员撤离现场并经10 分钟自净后开始；对非单向流，测试应在净化空气调节系统正常运行时间不少于30 分

3、钟后开始。静态测试在操作人员撤离现场并经20 分钟自净后开始。在动态测试时，须记录生产开始时间以及测试时间。4.5 悬浮粒子计数4.5.1 采样点数目及其布置4.5.1.1最少采样点数目按下述公式求出最少的采样点数目：n la式中：nl ：最少采样点数（四舍五入为整数）；a：洁净室或洁净区的面积，以计。在单向流情况下，面积a 可认为是垂直于气流方向上的横切面积。在非单向流情况下，面积a 指房间面积。4.5.1.2采样点位置及布置4.5.1.2.1采样点位于工作活动的高度，一般在离地面0.8m 高度的水平面上均匀布置。4.5.1.2.2各洁净级别采样点布置规则见附录 1。4.5.2采样次数：对于

4、任何小的洁净室（区）或局部空气净化区域，采样点的数目不得少于 2 个，总采样次数不得少于5 次。4.5.3 采样量根据 iso14644-1 规定最少采样量需同时满足以下两点规则：(a) 根据下面公式计算得到每个采样点最少采样量式中，v s每个采样点最少采样量，用升表示。为相关等级规定的最大被考虑粒径之等级限值（pc/m3 空气）。20 当粒子浓度处于该等级限值时，可被检测到的粒子数。经计算得： a 级： 1000lb 级：静态 690l，动态 6.9lc级：静态 6.9l ，动态 0.69ld级：静态 0.69l(b) 每个采样点的采样量至少为 2 升，采样时间最少为 1 分钟。以采样流量为

5、28.3l/min的 y09-310 型尘埃粒子计数器采样举例，那么c 级动态和 d级静态的采样量为28.3l 。4.5.4 采样注意事项4.5.4.1在确认洁净室（区）压差达到要求后，开始进行采样。4.5.4.2仪器自净：在测量之前及不同洁净级别的房间（采样点）之间测量时需连接自净头对仪器进行自净。4.5.4.3使用测试仪器时应严格按照仪器说明书操作，采样管必须干净，严禁渗漏，采样管的长度应根据仪器的允许长度，除另有规定外，长度不得大于1.5m。4.5.4.4采样时，对于单向流，计数器采样管口朝向应正对气流方向，对于非单向流，采样管口宜向上。布置采样点时，应避开回风口，测试人员应在采样口的下

6、风侧，并尽量减少活动。4.5.4.5采样完毕后，需连接自净头对粒子计数器进行自净。4.5.4.6应采取一切措施防止采样过程的污染。4.5 结果判定采样结束后， 立即打印结果。 仪器显示全部采样点的粒子浓度及平均值均值的95%置信上限ucl，要求每个采样点的平均悬浮粒子浓度及平均值均值的95%置信上限（ucl）均符合各洁净级别限度要求，各洁净级别限度要求见洁净区（室）环境监测管理规程（ smp-qc-04-030）。5 参考文件及附录5.1附录 1：洁净室（区）采样点布置5.2洁净区悬浮粒子测试记录（sop-qc-xxx）5.3洁净区悬浮粒子测试报告（sop-qc-xxx）6 文件历史版本号生效日期主要变更描述01本文件为新订附录 1：洁净室（区）采样点布置1 洁净室（区）采样点布置力求均匀，避免采样点在某局部区域过于稀疏。下列采样点的图示可作参考。 注：为采样点图 1 平面采样点布置图2a 级单向流区域，洁净工作台或局部空气净化设施的采样点布置：2.1水平单向流图 2 水平单向流气流形式2.2垂直单