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1 X射线荧光光谱仪 2 基础知识简介 3 什么是仪仪器分析? 仪器分析是一大类分析方法的总称,一般的说, 仪器分析是指采用比较复杂或特殊的仪器设备, 通过测量物质的某些物理或物理化学性质的参数 及其变化来获取物质的化学组成、成分含量及化 学结构等信息的一类方法。或者说通过施加给测 试样品一定的能量,然后分析其对声、光、电等 物理或物理化学信号的响应程度或变化大小。分 析仪器即测量这些信号及变化的装置。根据待测 物质在分析过程中被测量或用到的性质,仪器分 析可分为光分析方法、电分析方法、分离分析方 法等。 4 5 仪仪器分析方法的分类类 classification of instrument analytical method 仪器分析 电化学分析法光分析法 色谱分析法 热分析法 分析仪器联用技术 质谱分析法 6 什么是光谱:光谱是一系列有规律排布的光。如 雨后的彩虹。 7 8 10-1310-1210-1110-1010-910-810-710-610-510-410-310-210-1110 110 210 310 4 紫外线 超短波 短 波 中 波 长 波 超 声 波 nm 1 mmkm green blue violet yellow orenge red radiant 波长() pm X射线 射线 可见光 红外线 微 波 (indigo) 9 光分析法:光学分析法是根据物质吸收 、发射、散射电磁波或电磁波与物质作 用而建立起来的一类分析方法。 光学分析法可归纳为以下两大类: 第一类 光谱分析法。例如原子吸收光谱分析 、原子发射光谱分析,分子吸收光谱分析 ,X射线荧光分析和穆斯鲍尔光谱分析等。 第二类 非光谱分析法。例如折射,偏振法, 旋光色散法,浊度法,X射线衍射法,电子 显微镜法等。 10 光分析法 光谱分析法非光谱分析法 原子光谱分析法分子光谱分析法 原 子 吸 收 光 谱 原 子 发 射 光 谱 原 子 荧 光 光 谱 X 射 线 荧 光 光 谱 折 射 法 圆 二 色 性 法 X 射 线 衍 射 法 干 涉 法 旋 光 法紫 外 光 谱 法 红 外 光 谱 法 分 子 荧 光 光 谱 法 分 子 磷 光 光 谱 法 核 磁 共 振 波 谱 法 11 什么是光谱分析? 用特殊的仪器设备对特定物质的光谱 进行分析的方法。 常见的光谱分析仪器有: 原子吸收光谱仪;直读光谱分析仪 ICP直读光谱分析仪;X射线荧光光谱 仪 原子荧光光谱仪 12 X射线荧线荧光分析 13 X射线荧光光谱仪的分类 1. 根据分光方式的不同,X射线荧光分析 可分为能量色散和波长色散两类, 缩写为EDXRF 和WDXRF。 2. 根据激发方式的不同,X射线荧光分 析仪可分为源激发和管激发两种 14 波长色散与能量色散分辨率的比较 15 波长色散X射线光谱仪分类 1.纯扫描型: 一般配备4-6块晶体、两个计数器 、衰减器等.灵活,造价较低.但是分析 速度慢,稳定性稍差,真空室过大,轻元 素扫描道流气窗易损坏,故障率较高。 2.纯多道同时型: 每个元素一个通道,多数部件可以 互换。稳定分析速度快、真空室很小. 故障率低。但是造价高. 16 3.多道加扫描道型: 在多道同时型仪器上加扫描道,既有 多道同时型的优点,又有灵活的优点. 4.扫描型仪器加固定道: 在扫描型仪器上加2-4个固定道.部分 减少了扫描型仪器的慢速、稳定性差的 缺点,但是基本构造没有改变,真空室很 大,配备固定道后检测距离加大,灵敏 度降低,故障率偏高。 17 扫描型与同时型的比较 项 目XRF-1800MXF-2400 分析灵敏度最高很高 高含量分析很好最好 基本参数法全功能全功能 工作曲线法最适合适合 元素面成象可以无 高次线解析标准无 18 X射线及X射线荧光 X-射线:波长0.00150nm; X射线荧光的有效波长:0.014.5nm X射线的能量与原子轨道能级差的数量级相同 X-射线荧光分析 利用元素内层电子跃迁产生的荧光光谱,应用于元素的定 性、定量分析、固体表面薄层成分分析; X-射线光谱 X-射线荧光分析X-射线吸收光谱X-射线衍射分析X-射线光电子能谱 19 X射线荧光分析基本原理 X射线管发出一次X射线(高能),照射 样品,激发其中的化学元素,发出二次X射 线,也叫X射线荧光,其波长是相应元素的 标识特征波长(定性分析基础);依据 谱线强度与元素含量的比例关系进行定量 分析. 20 荧光分析的样品有效厚度一般为0.1mm。 (金属0.1;树脂3) 有效厚度并非初级线束穿透的深度,而是 由分析线能够射出的深度决定的! 21 XRF1800结构概念图示 波长色散型WDX(顺序扫描型 ) 22 顺序型单道扫描XRF系统配置 23 多道同时型XRF仪器结构 24 多道荧光工作原理图 样品 检测器 X射线束 分光晶体 分光晶体 检测器 25 多道同时型荧光光谱仪概念图 26 X射线及X射线荧光 27 原子的壳层结构 28 特征X射线 在 X射线管中,当撞击靶的电子具有足够能 量时,这个电子可将靶原子中最靠近原子核 的处于最低能量状态的 K层电子逐出,在 K 电子层中出现空穴,使原子处于激发状态, 外侧 L层电子则进入内层空穴中去,多余的 能量以 X射线的形式释放出来,原子再次恢 复到正常的能量状态。产生的是Ka线。 对应其他的跃迁则产生Kb、La、Lb等等 29 30 荧荧光X射线线 入射 X射线激发 原子的内层电子 ,使电子层出现 空洞,原子成为 不稳定状态(激 发状态),外层 电子进入空洞而 使原子成为稳定 状态,多余的能 量释放出来这个 能量就是荧光X 射线 由于电子轨道 分为K,L,M 以 及 , 因此也分别称为 K 线、L 线 N层 M层 L层 K层 K K K L L 31 X射线线的产产生 。从阳极发出的高速电子 撞击对阴极而产生X射 线 以 X射线形式辐射出 的能量极小,大部分 能量转变成热能 阴极的热量用水或风 进行冷却 32 X射线管的结构 33 初级X射线的产生 高速电子撞击阳极(Rh、Cu、Cr等重金属):热能(99%)+X射线 (1%) 高速电子撞击使阳极元素的内层电子激发;产生X射线辐射; 34 连续光谱 连续光谱又称为“白色”X射线,包含了从短波限m开 始的全部波长,其强度随波长变化连续地改变。从 短波限开始随着波长的增加强度迅速达到一个极大 值,之后逐渐减弱,趋向于零。连续光谱的短波限 m只决定于X射线管的工作高压。 35 不同靶的连续谱图 特征光谱谱 36 布拉格公式:布拉格公式: 高级次谱线( n = 2 ) 和一级次谱线 ( n = 1 )在相同的角度被检测 分光晶体的工作原理: 37 当X射线入射到物质中时,其中一部分会被物质原子 散射到各个方向。当被照射的物质为晶体时,且原子层 的间距与照射X射线波长有相同数量级,在某种条件下 ,散射的X射线会得到加强,显示衍射现象。 当晶面距离为d,入射和反射X射线波长为时,相临 两个晶面反射出的两个波,其光程差为2dsin,当该 光程差为X射线入射波长的整数倍时,反射出的x射线相 位一致,强度增强,为其他值时,强度互相抵消而减弱 。 满足2dsin=n时,衍射线在出射角方向产生衍 射,从而达到分光的目的。 38 相干散射线的干涉现象; 相等,相位差固定,方向同, n 中n不同,产生干涉 X射线的衍射线: 大量原子散射波的叠加、 干涉而产生最大程度加强的光 束; Bragg衍射方程: DB=BF=d sin n = 2d sin 光程差为 的整数倍时相互加 强;只有当入射X射线的波长 2倍晶面间距时,才能产生 衍射 39 X射线荧线荧光光谱仪谱仪 X-ray fluorescence spectrometer 波长色散型:晶体分光 能量色散型:高分辨半导体探测器分光 波长色散型X射线荧光光谱仪 四部分:X光源;分光晶体; 检测器;记录显示; 按Bragg方程进行色散; 测量第一级光谱n=1; 检测器角度 2; 分光晶体与检测器同步转动进行扫描。 40 全固态检测器 41 仪器结构和微区分析系统 专利 可以在30mm直径内的任意位置进行分析。 42 250um成图分析,世界首创 实用的详细显示 岩石样品 Ba 250m 成图 Ba 1mm 成图 43 滤光片 初级滤光片 次级滤光片 44 初级滤光器(光源滤光片) 作用 降低背景 改善荧光 检测器检测器 X X射线源射线源 初级滤光片初级滤光片 样品样品 45 次级滤光片(检测器滤光片 ) .滤去无用的线 样品样品 检测器检测器 X X射线源射线源 次级滤光片次级滤光片 46 滤光片的原理与使用 Cu的X射线光谱在通过Ni滤片之前(a) 和通过滤片之后(b)的比较 (虚线为Ni的质量吸收系数曲线) 47 对标样对标样的依赖赖性 48 工作曲线法 标样绘制曲线 标样的要求 标样与试样的关系 使用中的一致性 49 工作曲线 C3 C2 C1 含 量 强 度 R 1 R 2 R 3 50 什么是FP法 FP法也叫基本参数法 纯理论状态下,物质的量与X射线的强度之间具 有一定的函数关系。现实中由于散射、吸收增 强等因素以及晶体衍射效率的变化等等因素造成 实测强度与理论强度的不一致,通过校准实测强 度与理论强度之间的差异而建立起来的一种以理 论参数为主的分析方法。其需要较少的标准样品 或仅需要一些纯物质即可以进行半定量定量分 析的计算。 51 基体效应 基体:分析元素以外的全部 基体效应:在一定的分析条件下,试样中基体元 素对分析元素测量结果的综合影响。 Wi = (aI2 + bI + c)(1 + djWj) - l jWj j i, Base 52 矿物效应和粒度效应 在矿石分析中,由于同一元素会以不同的价态、 不同的结构、不同的晶体存在。这种微观上的差 别无法用机械方法除去,这称为矿物效应。 当样品中的颗粒达到一定细度是,X射线的强度 达到恒定。颗粒度增加X射线强度下降。 波长越长该现象越严重。金属的表面处理也有类 似的情况,我们称其为粒度效应和表面效应 53 试样的组成及元素间的影响 试样表面的处理 颗粒度的影响 成分波动的影响 重叠影响 高含量元素峰影响 54 样品的制备及样品 与标样的一致性 荧光分析中标样与分析样品的一致性是影响分析 结果的重要因素。有时甚至将一致性放在最重要 的地位。最好使两者具有:相似的组成、相似的 状态、相同的加工方式、相似的大小 在样品制备中还要考虑:均匀、无夹杂、无气孔 、无污染、代表性等问题 55 理想待测试样应满足的条件: 1.有足够的代表性(因为荧光分析样品的有效厚度一般只 有10100) 2.试样均匀。 3.表面平整、光洁、无裂纹。 4.试样在射线照射及真空条件下应该稳定、不变型、不 引起化学变化。 5.组织结构一致! 56 样品的基本展示形态: 1.固体:铸块类;板、陶瓷、玻璃类;橡皮、木材、纸类 2.小零件类 3.粉末及压块 4.液体和溶液 5.支撑式样品:薄膜和镀层 6.熔融产物 57 常用的制样方法 1.金属块状样品和其它块状材料: 浇铸-切割-磨光或抛光或车制 要求:1、块状大小合适 2、有合适的平面且平整、光洁、 无裂纹、无气孔 3、表面干净无污染 58 2.粉末样品压片法: 一些脆性材料,如矿石、水泥、陶瓷、 耐火材料、渣、部分合金可以制成粉末样 品。一般是以粒度200目以上为平均指标。 一般疏松样品不易成块,压片成型时可以 加入10-15%的粘结剂,如甲基或乙基纤维 素,淀粉,硼酸等。 59 3、粉末样品熔融法: 一些基体复杂,矿物效应严重不能采用压片法 的可考虑熔融。 熔融一般使用5%黄金95%铂金的坩埚,溶剂与 粉体质量比一般为为10:1,常用溶剂为Li2B4O7 (熔点930)、LiBO2(熔点850),常用的脱 模剂为NaBr、LiF、NH4I、NH4Br。 60 61 X射线荧光分析技术 谱线重叠影响例: 元 素 Ka(Kev/nm) Kb(Kev/nm) La(Kev/nm)Lb(Kev/nm ) Cu8.04/0.1548.90/0.139 Zn8.63/0.1439.57/0.129 Pb10.55/0.11812.61/0.098 As10.54/0.11711.72/0.106 62 吸收增强效应 1.基体:不包括分析元素本身的其他组成。 2.产生吸收增效效应的原因: 基体吸收初级线(较小但不容易修正) 基体吸收二次分析线(严重,但容易发现, 容易修正) 基体元素发射出自身的特征谱线,分析元素 受基体元素特征谱线的激发而发射特征谱线(增强 ) 63 标准化和漂移校正 标准化(漂移校正) 控样分析 64 标准化 分析仪器因时间变化、计数器老化、X光管老化等引 起工作曲线的偏离漂移。用高低标或高号标样的测定 强度与标准强度比较,再利用数学方法将测定的强度修正 到标准强度的过程叫做标准化。 1.用接近上限和下限的两个标准试样标准化叫做两点 标准化。 2.用接近上限的一个标准试样标准化称做一点标准化 。 3.标准化样品必须均匀并能得到稳定的谱线强度比。 65 控制试样法 在实际工作中,由于分析试样和标准试样的差异 ,常使分析结果出现系统偏差,往往使用一个与分 析试样的状态一致的控制试样来确保分析结果。 控样实际是一个标样,应满足: 控样的含量与分析试样的尽可能一致; 控样与试样的冶金物理过程一致; 控制试样含量准确、成分均匀、无缺陷。 在日常分析时,将控制样与试样在相同的条件下进 行分析,通过点(R控,C控)作原曲线的平行线,这就是 控样法的校准曲线。 66 持久曲 线 控制曲线线 C0 C控 含量 强 度 R 67 基本参数(FP)法 1 标准基本参数法 无标样定量分析 2 推定基本参数法 定性、定量分析分析 3 定量基本参数法 少量标样(12个)的精确定量分析 4 背景基本参数法(BG-FP) (岛津专利) 68 典 型 应 用 69 X射线荧光分析特点 1、X射线荧光分析的优点 样品处理相对简单 峰背比较高,分析灵敏度高. 不破坏试样,无损分析. 分析元素多(一般从892号),分析含量范围广ppm100%. 试样形态多样化,(固体、液体、粉末等). 快速方便. X射线荧光分析的缺点 基体效应还是

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