特大功率电力半导体器件性能产能提升和碳化硅器件研发项目环境影响报告表.docx

x环境技术有限公司 评价证书类别：乙 级环评报告2016 评价证书编号：xxx功率半导体变流技术股份有限公司特大功率电力半导体器件性能产能提升和碳化硅器件研发项目环境影响报告表（送审稿）x环境技术有限公司 建设项目环境影响报告表项 目 名 称：特大功率电力半导体器件性能产能提升 和碳化硅器件研发项目建设单位(盖章)：xx功率半导体变流技术股份有限公司 编制日期：2016年11月30日国家环境保护总局制建设项目环境影响报告表编制说明建设项目环境影响报告表由具有从事环境影响评价工作资质的单位编制。1、项目名称指项目立项批复时的名称，应不超过30个字（两个英文字段作一个汉字）。2、建设地点指项目所在地详细地址，公路、铁路应填写起止地点。3、行业类别按国标填写。4、总投资指项目投资总额。5、主要环境保护目标指项目区周围一定范围内集中居民住宅区、学校、医院、保护文物、风景名胜区、水源地和生态敏感点等，应尽可能给出保护目标、性质、规模和距厂界距离等。6、结论与建议给出本项目清洁生产、达标排放和总量控制的分析结论，确定污染防治措施的有效性，说明本项目对环境造成的影响，给出建设项目环境可行性的明确结论。同时提出减少环境影响的其他建议。7、预审意见由行业主管部门填写答复意见，无主管部门项目，可不填。8、审批意见由负责审批该项目的环境保护行政主管部门批复。项目名称：特大功率电力半导体器件性能产能提升和碳化硅器件研发项目文件类型：环境影响报告表 适用的评价范围：一般项目环境影响报告表 法定代表人：王晓平 （签章）主持编制机构：x环境技术有限公司 （签章）xx功率半导体变流技术股份有限公司特大功率电力半导体器件性能产能提升和碳化硅器件研发项目环境影响报告表编制人员名单表编制主持人姓名职（执）业资格证书编号登记（注册证）编号专业类别本人签名韩烨00015339B36040281000社会服务主要编制人员情况序号姓名职（执）业资格证书编号登记（注册证）编号编制内容本人签名1韩烨00015339B36040281000项目基本情况、评价适用标准、工程分析、自然环境社会环境简况、环境影响分析2李珊珊00015340B36040270300防治措施及预期治理效果、环境质量状况、结论及建议建设项目基本情况项目名称特大功率电力半导体器件性能产能提升和碳化硅器件研发项目建设单位xx功率半导体变流技术股份有限公司法人代表陆剑秋联系人耿涛通讯地址x市高新区锦业二路13号联系电政编码710201建设地点x市高新区锦业二路13号立项审批部门x高新区创新发展局批准文号西高新创新发2016(273)号建设性质新建改扩建技改行业类别及代码电力电子元器件制造（C3924）占地面积（平方米）4000绿化面积（平方米）/总投资（万元）36742其中：环保投资（万元）60环保投资占比总投资比例0.16%评价经费（万元）/预期投产日期2018年12月工程内容及规模：一、项目由来xx功率半导体变流技术股份有限公司原为x电力电子技术研究所，主要从事大功率电力半导体器件、各类新型电力电子器件、各种电力电子应用装置、检测技术和设备、可靠性技术、冷却技术等综合电力电子技术的开发和生产的基地，是我国著名的电力电子研究开发中心、国家工程研究中心、国家电力电子产品质量监督检验中心以及标准信息中心。2010年西电所将全部科研、生产整体化转成立了xx功率半导体变流技术有限公司，2010年12月通过了关于成立xx半导体变流技术有限公司的批复（陕科改发2010151号），2015年12月取得了企业名称核准变更通知书（西工商）名称变内核字2015第002809号），公司名称变更为xx功率半导体变流技术股份有限公司。公司目前现有生产线年产普通晶闸管4万只，超大功率5英寸晶闸管0.2万只，特大功率半导体6英寸晶闸管0.5万只。根据公司的发展方向，为进一步提高阻断电压和直流导通电流以及实现SiC SBD和MOSFET的产业化，研制出600-10000V/30A以上系列SiC SBD二极管与MOSFET器件。并在此基础上研制SIC基PIN二极管、IGBT和晶闸管及其相关器件和技术，逐步实现产业化。通过本项目的实施，建立一个覆盖晶闸管、SiC器件研制生产基地，将x公司打造成为具有世界一流技术水平的、能够提供完整特大功率电力半导体器件产品及其应用解决方案的供应商。根据中华人民共和国环境影响评价法、建设项目环境保护管理条例、建设项目环境影响评价分类管理名录的有关规定，以及x市环境保护局高新分局对工程环境管理的要求，该建设项目应进行环境影响评价，编制环境影响报告表。2016年9月，xx功率半导体变流技术股份有限公司正式委托x环境技术有限公司承担本项目环境影响评价工作，并编制建设项目环境影响报告表。接受委托后，我公司组织有关技术人员进行了现场踏勘，收集了建设项目所在区域的自然、社会、生态环境和人文环境资料。在工程污染因素分析的基础上，通过实地监测、类比调查和资料收集，编制了特大功率电力半导体器件性能产能提升和碳化硅器件研发项目环境影响报告表。二、项目概况1、建设地点特大功率电力半导体器件性能产能提升和碳化硅器件研发项目建设地点位于x市高新区锦业二路13号xx功率半导体变流技术股份有限公司厂区原厂房内。项目北邻特斯拉汽车销售服务（x）公司和x沃恩机床有限公司，南临锦业二路，西临丈八三路，东邻霍尼维尔生命安全集团和SEW-传动设备x公司。项目地理位置见附图1。2、建设内容及规模本项目对现有1#建筑晶闸管工艺厂房、4#建筑化学品库、5#建筑动力站进行技术升级改造，不涉及土建工程。1#建筑晶闸管工艺厂房位于厂区中部，紧挨西厂界，北侧为汽车库和综合办公楼；4#建筑化学品库位于1#建筑东侧靠北方向，东侧为空地；5#建筑动力站位于1#建筑东侧和4#建筑南侧，东侧为空地。本项目四邻关系图见图1。项目分两个阶段：第一阶段通过技术升级改造使现有生产线工艺设备达到特大功率8英寸晶闸管的顶级配置，向下兼容现有产品，包括普通晶闸管（大功率整流管、快速软恢复二级管、脉冲晶闸管、快速晶闸管）、直流输电用超大功率5英寸、6英寸晶闸管，增加新产品的同时，提高原有产品的性能与产能；第二阶段是在同时在晶闸管生产线的基础上，研发IGCT(普通元器件)和SiC器件等高端产品（完成8英寸芯片生产线的基础上）。本项目具体建设内容及规模见表1，改造区布置图见附图2。图1 项目四邻关系图表1建设内容及规模建设位置建设内容建设规模1#建筑晶闸管工艺厂房一层纯水区增10t/h纯水处理系统与原系统实现并联运行改造工艺净化面积约为3600m2，动力面积约为280m2废水区进行局部改造，增加沉淀时间和距离，进一步提高对含氟废水的处理效果二层净化空调机组增加FFU（风机过滤器装置）数量，将FFU布置占比提高至80%，同时改造回风通道、铸铝镂空地板等，新增1台40000m3/h新风机组（含变频控制柜）热排风机组增加一台热排风机，形成1备1用，并增加相应的分支管路工艺真空机组增加1套工艺真空系统（1备1用2台WS501罗茨干泵组，1个真空储气罐，管路、阀门等）有机排风机组增加1套有机排风系统（包括管路等）酸碱排风系统工艺线排出酸碱到排酸风机之间，增加一级或几级小的酸碱中和箱工艺改造区增添工艺生产设备，配电、照明等生产辅助动力系统进行改造4#建筑化学品库氢气、氧气改造现有汇流排（软连接改为弹簧硬管连接）改造面积约为50m25#建筑动力站冷却循环水改造增加1台冷却塔，新增1套循环系统（包括泵组、管道）改造面积约为70m2液氮罐区进行改造增装200m3/h气化器1套(包括气化器、管路改造等），备用液氮罐10m3一个，增强氮气供给能力本项目总投资为36742万元，用地性质为工业用地，土地文件见附件1。主要产品方案见表2，项目新增设备见表3、4，项目主要组成情况见表5。表2产品方案序号产品名称新增年产量（万只）备注1普通元器件2第一阶段2直流输电用超大功率5英寸晶闸管0.33直流输电用超大功率6英寸晶闸管14直流输电用特大功率8英寸晶闸管0.35碳化硅器件0.6第二阶段表3第一阶段工艺设备清单（新增）序号设备名用途描述设备型号数量（台）1高温离子注入机碳化硅或硅片掺杂IH860DSIC12激光动态成像机实时电子版激光曝光ALDI-SLS138英寸3层扩散炉高温掺杂/548英寸双面曝光机规准曝光/358英寸单面曝光机精准曝光/26套刻测量仪光刻对准检查KLA510517PECVD结终端钝化/18LPCVD沉积膜THERMCO 510419快速退火炉SHS2800离子注入退火SHS2800110涂胶显影轨道机匀胶显影MK-VZ211干法去胶机去除光刻胶MATTSONASPEN2ICP212箱式高真空退火炉掺杂或金属层退火/2138英寸腐蚀机湿法去胶、腐蚀/6148英寸清洗机硅片清洗/6158英寸甩干机清洗甩干SEMITOOL D800616电子束镀膜机电极制备/317扩展电阻测试仪扩散结果检测/118少子寿命分布测试仪少子寿命分布检测ELYMAT119台阶测试仪腐蚀轮廓测试DECTEK120IGCT静态态参数测试台IGCT动态参数测试/121IGCT动态参数测试台IGCT动态参数测试/1228英寸静态态参数测试台7英寸晶闸管参数测试/1238英寸动态参数测试台8英寸晶闸管参数测试/1248英寸浪涌电流测试台8英寸分立半导体器件/1258英寸冷焊机8英寸晶闸管封装/126电子扫描显微镜芯片微观检查S-4500127全自动硅片清洗机硅片清洗/528仿真设备和软件研发SIVACO129碳化硅工艺管芯片高温掺杂/10308英寸高温片蓝芯片加热酸洗/100318英寸碳化硅舟芯片高温掺杂/50328英寸源管高温预沉积/20338英寸舟高温扩散/50348英寸工装、模具等8英寸后道工艺/358英寸冷焊模具和测试卡具等8英寸封装测试/表4第二阶段工艺设备清单（新增）序号设备名用途描述设备型号数量(台)1溅射台(AL/TI)/VARIAN329012APCVD WJ999(BPSG)/WJ99913双面刷洗机/DNS60A14酸碱清洗台（金属、无金属）/国内定制26光刻机/ NikonI1015OX 刻蚀LAM4520/LAM452016刻蚀 LAM4420/LAM442017金属刻蚀 LAM TCP9600SE/LAM TCP9600SE18紫外线固胶PCU200 POLO/PCU200 POLO19立式淀积炉SVG7000/SVG7000110卧式炉BDF41（栅氧）/BDF41111卧式炉BDF41（场氧）/BDF41112卧式炉BDF41（场氧）/BDF41113卧式炉TMX9K（回流）/TMX9K114缺陷扫描电镜KLA2135/KLA2135115线宽扫描电镜H8840/H8840116膜厚仪UV1050/UV1050217颗粒仪SFS-6200/SFS-6200118显微镜OPSTATION V/OPSTATION V219膜厚椭偏仪OP2600/OP2600120B/P含量测量仪ECO1000/ECO1000121CP探针台&测试仪/EG2001&DTS1000222线宽扫描电镜KLA8100/KLA8100123CV测试仪/NA124SiC高温外延生长设备/VP508 GFR125高温退火/Activator 150-50，126碳膜溅射/ULVAC，SME200127碳膜去除设备/ULVAC，NE-550 128栅氧化高温氧化炉/129贴膜ADVANTEK TL/ADVANTEK TL130去膜TAKATORI ATRM2100/TAKATORI ATRM2100131贴膜ADVANTEK TL/ADVANTEK TL132去膜TAKATORI ATRM2100/TAKATORI ATRM2100133芯片参数测试系统/KEYSIGHT B1505A/B1506A134超声波清洗机/235超声波自动键合机/136键合拉力测试仪/137X-RAY检测仪/138真空干燥箱/339激光打标机/140模块动、静态测试系统/定制141热阻测试仪/定制142浪涌测试仪/定制1表5 项目主要组成情况序号项目组成建设名称建设内容与原有工程的依托关系1主体工程净化空调机组增加FFU（风机过滤器装置）数量，将FFU布置占比提高至80%，同时改造回风通道、铸铝镂空地板等，新增1台40000m3/h新风机组（含变频控制柜）依托现有厂房及空调净化系统热排风机组增加一台热排风机机组，形成1备1用，增加相应的分支管路依托现有厂房与排气筒工艺真空机组增加1套工艺真空系统（1备1用2台WS501罗茨干泵组，1个真空储气罐，管路、阀门等）依托现有厂房工艺区改造增添工艺生产设备，配电、照明等生产辅助动力系统进行改造依托现有厂房及生产线,增加生产设备2辅助工程纯水区改造增10t/h纯水处理系统与原系统实现并联运行冷却循环水改造增加1台冷却塔，新增1套循环系统（包括泵组、管道）依托现有冷冻站3储运工程原料储存氢气、氧气改造现有汇流排（软连接改为弹簧硬管连接）依托现有工程液氮罐区进行改造增装200m3/h气化器1套(包括气化器、管路改造等），备用液氮罐10m3一个，增强氮气供给能力依托现有工程产品储存存放于成品库房依托现有工程4公用工程项目供水来自市政供水项目排水系统包括生产废水、生活污水、雨水排水系统。供电为市政供电项目办公区采用空调供暖依托现有工程5环保工程废水处理生产废水经厂区污水处理站处理后排入第二污水处理厂依托原有污水处理站，设施的处理能力为8.5m3/h生活污水经厂区现有化粪池处理后排入第二污水处理厂处理依托现有化粪池，现有规格为G3-6SF（6m3）的化粪池2座，水力停留时间为12小时，原有项目生活污水排放量约为16.4m3/d，现有项目新增排放量3.2 m3/d，可以满足排放需求废气处理酸碱废气（氯化氢、硫酸雾、氟化物、氨气）经过酸碱中和箱反应后，碱性废气被中和去除，酸性废气经洗涤塔（氢氧化钠）处理达标后通过15m高排气筒排放依托现有处理装置及排气筒（原有2套设备，1用1备）有机废气（非甲烷总烃）经废气处理装置活性炭吸附塔处理达标后由15m高排气筒集中排放依托原有处理装置及排气筒，本次改造新增一套设施备用油烟废气经型号为LJPD-1-30000的油烟净化设施处理后达标排放利用现有职工食堂，餐饮规模满足本项目新增工作人员噪声控制选用低噪声设备，其次采用消声、隔声、减振等措施依托现有厂房、隔声窗固体废物处置生活垃圾由区环卫局统一运至城市生活垃圾处理场处理，废旧塑料和废包装材料等，由相关单位收集回收利用依托现在垃圾存放点危险废物废酸排入废水处理站酸碱中和池中和，产生的沉淀物与废有机溶剂委托x高科环保技术有限公司集中处置（委托协议见附件）废有机溶剂用桶存储，大约1吨的时候开始清运四、原辅材料及能源消耗本项目主要原材料为单晶硅片、钼园片、金属陶瓷管等，其他辅助材料主要为氮气、硫酸、盐酸、硝酸等。项目主要原辅材料及能源消耗情况见表6。表6 项目主要原辅材料及能源消耗编号物料名称规格（固、液）年用量采购来源备注1单晶硅片固态84000片德国/2钼园片固态168000片英国、奥地利等/3金属陶瓷管固态84000片德国、瑞士/4金刚砂颗粒状400公斤x/5硅橡胶固态200公斤x/6光刻胶（危险化学品）胶状150升北京/7异丙醇（危险化学品）液态180升天津99.5%8乙醇（危险化学品）液态150升天津99.7%9环己烷（危险化学品）液态0.80tx99.5%10乙酸丁酯（危险化学品）液态1.00tx99.0%11盐酸（危险化学品）液态14tx36-38%12硝酸（危险化学品）液态14tx65-68%13硫酸（危险化学品）液态7tx95-98%14磷酸（危险化学品）液态3tx85%15氢氟酸（危险化学品）液态2.00tx40-50%16冰醋酸（危险化学品）液态2.00tx99.5%17双氧水（危险化学品）液态2.00tx30%18氨水（危险化学品）液态1.00tx25-28%19氟化铵（危险化学品）固态0.50tx/20氮气气态7000m3x99.999%21氢气（易燃易爆危险品）气态200m3x99.999%22氧气气态2000m3x99.999%23机油液态15tx/24包装材料-140tx/25新鲜水液态1555.4市政管网/26电-176当地电网/五、公用工程（1）给水本项目给水由市政供水供给。（2）排水项目采用雨污分流的形式。项目产生的废水经厂区污水处理站处理后排入该区域市政污水管网，最终排入第二污水处理厂。职工食堂废水经隔油池处理后和生活污水一起排入化粪池处理，最终排入第二污水处理厂。（3）供电本项目年用电量约为176万kwh，由市政电网供给。（4）供暖项目办公区采用中央空调供暖。六、总平面布置现有项目占地75937m2，整个厂区主要分为办公区、生产区、储存区和公用工程。本次工程只是进行技术改造，不新建厂房。办公区位于厂区北端，主生产车间位于厂区中部布置，从西到东分别为晶闸管工艺厂房、化学品库、动力站，污水处理站位于晶闸管工艺厂房的北端。具体厂房总平面布置见附图3。本项目对现有1#建筑晶闸管工艺厂房、4#建筑化学品库、5#建筑动力站进行技术升级改造，涉及改造面积约4000m2，其中1#建筑晶闸管工艺厂房涉及改造工艺净化面积约为3600m2，动力面积约为280m2；4#建筑化学品库涉及改造面积约为50m2；5#建筑动力站涉及改造面积约为70m2。七、组织定员与生产制度项目原有员工381人，本次新增生产人员50人，企业实行单班工作制，年工作日220天，日工时8小时，全年生产1760h。八、项目产业政策符合性分析根据产业结构调整指导目录（2011年本）（2013年修正），本项目为第一类，鼓励类-二十八条-信息产业-21-新型电子元器件制造，符合国家产业政策。九、与相关规划、政策的符合性分析1、建设项目与x市总体规划的相容性x市2008-2020年城市总体规划中指出，为合理分布生产力和形成城镇体系，有利于资源开发、生产发展和生态平衡，促进城镇建设和控制城市人口的增长，城市的布局原则是优化布局结构，完善城市功能；保护古城风貌，实施新旧分治；降低中心密度，发展外围新城；显山露水增绿，塑造城市个性，城市布局形态为九宫格局，棋盘路网，轴线突出，一城多心。主城区将形成虚实相当的小九宫格局，中心为唐长安城，发展成商贸旅游服务区；东部依托现状发展成国防军工产业区；东南部结合曲江新城和杜陵保护区，发展成旅游生态度假区；南部为文教科研区；西南部拓展成高新技术产业区；西部发展成居住和无污染产业的综合新区；西北部为汉城遗址保护区；北部形成经济技术产业区；东北结合浐灞河道整治，建设成高尚住宅、旅游生态区。本项目位于x市高新区，项目所在地土地规划性质为工业用地，其建设符合x市总体规划的要求。2.项目建设与x市国民经济和社会发展第十三个五年规划纲要（草案）的相容性x市国民经济和社会发展第十三个五年规划纲要（草案）中要求：培育壮大战略性新兴产业。新一代信息技术。以三星项目为引领，构建存储芯片设计、制造、封装、测试完整产业链，培育壮大电子级多晶硅、大直径单晶炉和硅片制造等配套产业，建设世界一流高端芯片产业基地，在下一代新型存储器产业中保持世界领先。依托中兴、华为、酷派等重点企业，带动整合智能终端整机及零部件、芯片、系统和应用软件研发设计制造企业，打造千亿规模智能终端产业集群。本项目主要为半导体分立器件制造，其建设符合x市国民经济和社会发展第十三个五年规划纲要（草案）的要求。3. 项目建设与x市环境保护“十三五”规划的符合性分析本项目与x市环境保护“十三五”规划符合性分析，见表7。表7 项目与x市环境保护“十三五”规划的符合性规划内容本项目与规划的关系符合性分析水二氧化硫、氮氧化物、化学需氧量、氨氮、挥发性有机物排放量较“十二五”末分别下降（由国家和省级下达后确定）。本项目总量控制指标为COD及氨氮，符合要求。符合空气加强能源基础设施建设，提升我市清洁燃料保障能力。本项目食堂全部使用电。符合噪声继续加强对交通运输噪声、建筑施工噪声、社会生活噪声、工业企业噪声等的管理和控制，使城市声环境质量整体得到改善。评价对建筑施工噪声的污染防治提出要求，减小施工扰民现象的发生；对项目建成后对设备局部进行减震降噪和隔声处理，并将噪声源空压机安置于室内，房间安装双层隔声门窗，运行时关闭门窗等实现环境噪声达到GB12348-2008工业企业厂界环境噪声排放标准2类区域标准。符合固体废物做好城市污水处理、生活垃圾无害化处理、污泥综合处置等环境基础设施建设的实施和日常管理工作，促使项目尽快发挥环境效益。本项目生活垃圾集中收集，统一清运至生活垃圾填埋场填埋，生活垃圾处理率达到100%；废有机溶剂等危险废物交由资质单位处置。符合4、与x高新区总体规划相符性x高新区发展总体规划（2011年-2030年）中指出：x高新区将发展形成“一心、二轴、三带、五区”的结构模式，形成居住、商务、产业三大功能主体和13个功能组团，面积将扩展至200平方公里。本项目位于x高新技术产业开发区，项目所在地用地规划性质为工业用地（土地文件见附件），其建设符合x市高新区总体规划的要求，土地利用规划图见附图4。与本项目有关的原有污染情况及主要环境问题：一、现有工程概况及污染物产排情况本项目为技改项目，现有项目（特高压大功率6英寸晶闸管生产项目）占地面积为75937m2，总投资33000万元，以1#建筑晶闸管工艺厂房作为主要生产加工厂房，共有一条生产线，主要生产普通晶闸管、超大功率5英寸晶闸管以及特大功率6英寸晶闸管，年生产能力分别为4万只、0.2万只以及0.5万只。厂区处于锦业二路以北，丈八二路以西，丈八三路以东，北临绕城高速公路，周围道路畅通，地理位置优越，交通便利。该部分环境影响评价报告表于2006年9月由x市环境保护研究所编制，并取得陕西省环保厅出具的环境影响报告表的批复（陕环批复2006237号）以及项目竣工环境保护验收的批复（陕环批复2015364号）。2014年5月，x市环境保护科学研究院出具了特高压大功率6英寸晶闸管产业化项目环境影响报告表变更说明，变更内容为：原工艺废气中的酸性废气和碱性废气分别经过酸、碱性排气筒排放，变更为工艺废气中的酸碱废气经过酸碱排气筒排放。本次环评将现有工程的主要污染物产生及排放情况分析如下：1、废气原有项目在生产过程中产生的工艺废气主要包括：表面清洗过程中产生的少量氯化氢、氟化物、硫酸雾以及氨气，先经酸碱中和箱反应，然后排入酸碱废气洗涤塔（氢氧化钠）处理达标后通过15m高排气筒排放；表面处理过程和表面清洗过程中使用的有机溶剂少量挥发产生的有机废气非甲烷总烃，经废气活性炭吸附塔处理后，由通风系统经过15m的排气筒集中排放；食堂产生的废气主要为油烟，通过油烟净化器净化后排放。2016年9月，x高新区中凯环境检测有限公司对项目废气进行了监测（高环监字（气）2016-HJ-325），酸碱排气筒氨气排放浓度为4.65mg/m3，排放速率为0.079kg/h，氟化物排放浓度为4.60mg/m3，排放速率为0.090kg/h，氯化氢排放浓度为1.73mg/m3，排放速率为0.030kg/h、硫酸雾排放浓度为1.31 mg/m3，排放速率为0.022kg/h；有机排气筒非甲烷总烃排放浓度为3.25mg/m3，排放速率为0.017kg/h。氟化物、氯化氢、硫酸雾以及非甲烷总烃监测结果均符合GB16297-1996大气污染物综合排放标准新污染源大气污染物排放限值中最高允许排放浓度限值及最高允许排放速率二级标准限值；氨气监测结果均符合GB14554-1993恶臭污染物排放标准排放标准值。2014年10月陕西省环境监测中心站组织专业技术人员对该项目进行竣工验收监测（陕环验（表）字2015第006G号），项目食堂净化后的排气量为16012m3/h，油烟浓度为0.69mg/m3，处理效率为54.1%。油烟最大排放浓度符合饮食业油烟排放标准（试行）（GB18483-2001）的要求，但油烟净化设施最低去除效率不符合饮食业油烟排放标准（试行）（GB18483-2001）中75%的要求。2、废水现有工程运行期产生的废水包括生产废水和生活污水两部分，单独处理后集中排放，年排放量为9360t。其中，生产废水主要是元器件表面处理的清洁水、废气处理的酸碱水和纯水制备酸碱水，主要污染因子为pH、化学需氧量、氟化物、氨氮和石油类。项目将产生的生产废水收集后经酸碱调解中和处理，絮凝沉淀后经过石英砂、生物炭过滤处理后排入城市污水管网。食堂餐饮污水先经隔油处理，再与办公区生活污水一起经化粪池处理后排入城市污水管网，主要污染因子为pH、悬浮物、化学需氧量、氨氮和动植物油。2016年9月，x高新区中凯环境检测有限公司对项目废水进行了监测（高环监字（水）2016-HJ-321），厂区总排口水质pH为7.05，污染物COD浓度为14.4mg/L，氟化物浓度为8.22mg/L，氨氮1.35mg/L。COD、氟化物和氨氮满足DB61/224-2011黄河流域（陕西段）污水综合排放标准二级排放标准，pH满足GB8978-1996污水综合排放标准二级标准要求，再经污水管网送至x市第二污水处理厂处理。3、噪声现有工程源主要为空气压缩机、风机和水泵等机械设备。通过对设备局部进行减震降噪和隔声处理，并将噪声源空压机安置于室内，房间安装双层隔声门窗，运行时关闭门窗等。本次环评监测结果表明：采取以上隔音降噪措施后，经过车间墙壁隔声和距离衰减，北、东厂界噪声能满足GB12348-2008工业企业厂界环境噪声排放标准2类区域标准要求，西、南厂界由于紧挨丈八三路和锦业二路，昼间因车辆较多有所超标，夜间噪声满足GB12348-2008工业企业厂界环境噪声排放标准2类区域标准，基本不会对周围环境产生影响（见监测报告普惠检综字2016第458号）。4、固体废物原有工程生产过程中固体废弃物主要有：废腐蚀液等废酸和去胶液等各类废有机溶剂；废机油；废旧塑料和废包装材料等；污水处理站废生物炭；生活垃圾。其中：废酸和废有机溶剂为危险废物，废酸直接排到污水处理站的酸碱混合池中和，废有机溶剂年产量为2t/a，废酸中和沉淀物年产量约为0.1t/a，废生物炭产量约1.0t/a，废机油年产量约为0.01t/a，危险废物目前已与x高科环保有限公司签订了危废处置合同；废旧塑料和废包装材料等一般固废年产量为5t/a，全部回收利用，生活垃圾已与高新技术开发区公共事业服务中心签订合同。二、现有工程存在的问题及整改方案1、存在的问题食堂油烟净化设施最低去除效率不符合饮食业油烟排放标准（试行）（GB18483-2001）中75%的要求；现有废水处理站对含氟废水处理能力较低。2、整改方案1）、为了更好地减少食堂油烟对大气的影响，企业将采取以下措施：更换去除率达标的油烟净化设施。2）、对现有污水处理站进行局部改造，增加沉淀时间和距离，进一步提高对含氟废水的处理效果。建设项目所在地自然环境社会环境简况自然环境简况(地形、地貌、地质、气候、气象、水文、植被、生物多样性等)：一、地形地貌项目所在地周围地势开阔平坦，起伏较小，地貌单元属于皂河二级阶地。地面标高约199.55-199.72m。二、气候气象x市位于关中平原中部，属温暖带半湿润半干旱季风气候，大陆性气候明显。其主要特征是四季分明，冬夏两季长，春秋两季短；春季气温升降急剧，多有干旱和阵性大风；夏季炎热多雨，冬季寒冷干燥，气温低，降雨少。年平均气温13.3，极端最低气温-20.6，极端最高气温41.7。年平均风速为1.7m/s。平均降雨量604mm，分布不均，有50%集中于7-9月份。最大积雪深度22cm，年平均气压97030Pa。常年主导风向为东北风，全年平均东北风和偏东风频率为40%；次主导风向为西南风，频率为9%；静风频率为29%。全年常年出现厚度为300-400m的逆温，最厚达520m，冬季更为突出。三、水文建设地处于皂河的二级阶地上，高于一级阶地35m，地面宽阔平整，起伏不大。地层自上而下依次为人工填土、第四系全新统残积黑垆土、上更新统风积黄土、残积古土壤及冲击粉质黏土及砂类土，厚30-40m，含水层主要是上更新统冲洪积层、湖积物（中细沙及亚粘土）构成，富水性强，透水性好，水质较好，水质化学类型属低矿化度HCO3-Ca2+Na+型水。地下承压水含水层埋深100-380m，主要有中、下更新统冲洪积粘土，冲湖积粉质粘土和砂砾石层呈不等厚互层构成，水质较好。四、植被项目建设地为城市建成区，周围植物多为人工绿化植物，有杨、柳、桐、槐等。社会环境简况(社会经济结构、教育、文化、文物保护等)：该项目位于x高新技术产业开发区新区内，属于高新区的二次创业的起步区规划范围，区域交通、水、电、气等基础设施和配套设施已基本完善，交通便利、环境优美。x是我国内陆对外开放城市，是承东启西、连接南北的地理中心和东西交通大动脉和新欧亚大陆桥的枢纽，享受沿海开发城市和西部开发的各项优惠政策。x高新技术产业开发区位于x市南郊科研、文教区，始建于1988年，1991年3月被国务院批准为国家级高新技术产业开发区。园区紧邻市内交通干道二环路，距x咸阳国际机场35km，距陇海铁路x客运站仅十几公里，距市中心5km。经过十几年的发展，园区注册企业已达5000余家；园区环境优美、交通便利、基础设施完备、配套设施齐全；现已建设了六个专业园区、四个大学园区和长安科技产业示范基地，形成了“十园一基地”的发展格局；在产业实力、经济规模、体制创新、科技成果转化、园区建设以及对外形象等方面，位居我国53个国家级高新区前三位，是国家首批批准的亚太经济合作组织（APEC）特别开放的科技园区。1994年以来，多次被评为全国先进高新区，并于1997年经国务院批准率先加入了APEC科技工业园区组织网络；2001年x高新区被科技部列为“十五”期间重点建设的五个国家示范高新区之一；2002年12月，x高新区被联合国工业发展组织考察认定为六个“中国最具活力的城市和地区”之一，2003年12月，x高新区被评为“中国50家投资环境诚信安全区”。2004年2月，x高新区通过了国家环保总局、科技部ISO14000国家示范区现场验收，成为我国西部创建的第一个ISO14000国家示范区。x高新区紧邻x市南郊科技文化区，已建成为一个基础设施不断优化，配套功能日益完善、软硬环境优良的高科技产业园区，也是我国中西部地区最具国际化、市场化、人文化、生态化的区域。到2004年年底已完成一期、二期、新型工业园的开发及新区的配套基础工程建设。拥有高标准的路网、通讯、水、电、气、暖等公用设施，有全市一流的中学、小学、幼儿园，绿化覆盖率40.1，人均绿化面积达到23.3m2。项目建设地位于高新新区中部，区域基础设施和配套设施基本完善。该项目位于x高新技术产业开发区新区内，紧邻丈八三路，处于高新新区的中心地带。高新新区是x高新区的三期规划区，也是开发区的二次创业规划区，规划面积78.4km2。目前已有百余家企业与开发区签订了投资意向，包括陕西金叶在内的第一批入区企业已进入了项目实施阶段。三期规划区的交通、水、电、气等基础设施和配套设施的建设也已全面落实，一个环境优美、交通便利、基础设施完备、配套设施齐全的高新新区（三期规划区）已经初具规模。项目影响范围内目前尚未发现需特殊保护的文物古迹、风景名胜等环境敏感点。环境质量状况建设项目所在地区域环境质量现状及主要环境问题(环境空气、地表水、地下水、声环境等)1、环境空气质量现状2016年9月14日9月23日，x普惠环境检测技术有限公司对项目现有工程所在地进行环境监测。监测项目为PM10、SO2、NO2，监测时间为连续监测七天，监测结果见表8、9，监测点位见监测报告（普惠检（综）字（2016）第336号）。表8 1小时均值统计结果监测项目评价项目SO2NO2浓度范围（g/m3）21372651超标率（）00最大超标倍数00GB3095-2012环境空气质量标准二级标准（g/m3）500200表924小时均值统计结果监测项目评价项目SO2NO2PM10浓度范围（g/m3）2528363994108超标率（）000最大超标倍数000GB3095-2012环境空气质量标准二级标准（g/m3）15080150由监测统计结果可以看出，监测期间项目所在区域环境空气中SO2、NO2小时值、24小时均值，PM1024小时均值符合GB3095-2012环境空气质量标准中二级标准。2016年9月21日9月23日，x普惠环境检测技术有限公司对项目现有工程所在地进行环境监测。监测项目为氯化氢、硫酸雾、氨气、氟化物、非甲烷总烃，监测时间为连续监测三天，监测结果见表10，监测点位见监测报告（普惠检（综）字（2016）第336号）。表10 1小时均值统计结果监测项目评价项目氯化氢硫酸雾氨气氟化物非甲烷总烃浓度范围（g/m3）ND(0.003)0.010.0170.0520.079ND(610-2)0.2880.409超标率（）00000最大超标倍数00000TJ36-79工业企业设计卫生标准（g/m3）0.050.300.200.02/由监测统计结果可以看出，监测期间项目所在区域环境空气中氯化氢、硫酸雾、氨气、氟化物和非甲烷总烃1小时均值均符合TJ36-79工业企业设计卫生标准。2、声环境质量现状2016年9月14日，x普惠环境检测技术有限公司在项目地东、南、西、北厂界及南侧逸翠园住宅小区内，各布设1个监测点位，共布设5个监测点位（白天企业正常进行生产的情况下监测），监测项目为等效连续A声级，昼、夜各监测一次，监测1天，监测结果见表11。监测点位见监测报告（普惠检（综）字（2016）第047号）。表11项目环境噪声监测结果统计表单位：dB(A)监测点位2015.9.222类标准昼间夜间昼间夜间1#（项目所在地东厂界）51.443.260502#（项目所在地南厂界）60.349.83#（项目所在地西厂界）62.548.74#（项目所在地北厂界）54.945.2逸翠园小区53.242.66050监测结果表明：监测期间项目东、北厂界昼间、夜间噪声满足GB12348-2008声环境质量标准中2类标准，西、南厂界由于紧挨丈八三路和锦业二路，昼间因车辆较多有所超标，夜间噪声满足GB12348-2008声环境质量标准中2类标准；逸翠园小区昼间、夜间噪声满足GB3096-2008声环境质量标准中2类标准。3、地下水环境质量现状2016年9月14日x普惠环境检测技术有限公司对地下水进行了监测（普惠检（综）字（2015）第047号），监测结果见下表。表12地下水监测结果项目点位2016年9月5日单位标准值项目地上游（袁旗寨新村）项目地附近（傅村）项目地下游（逸翠园小区）K+0.7740.7520.768mg/L/Na+7.127.157.08mg/L/Ca2+59.358.759.1mg/L/Mg2+10.69.789.94mg/L/Cl-6.566.246.51mg/L/SO42-15.115.115.3mg/L/pH7.587.627.59/6.58.5氨氮0.1360.1480.162mg/L0.2硝酸盐2.261.751.78mg/L20亚硝酸盐ND（0.001）ND（0.001）ND（0.001）mg/L0.02挥发性酚类ND（0.002）ND（0.002）ND（0.002）mg/L0.002氰化物ND（0.002）ND（0.002）ND（0.002）mg/L0.05砷ND（1.0）ND（1.0）ND（1.0）g/L0.05汞ND（1.0）ND（1.0）ND（1.0）g/L0.001铬(六价)ND(0.004)ND(0.004)ND(0.004)mg/L0.05总硬度98112108mg/L550铅ND(2.5)ND(2.5)ND(2.5)g/L0.05氟化物0.5430.8770.818mg/L1.0镉ND(0.5)ND(0.5)ND(0.5)g/L0.01铁ND（0.1）ND（0.1）ND（0.1）mg/L0.3锰ND（0.1）ND（0.1）ND（0.1）mg/L0.1溶解性总固体372413398