中电科设备维修和保养计划(通用及专用).doc

中电科设备维护保养计划为了确保生产的正常运行，正确地、更好地使用各类设备，并延长设备使用寿命，为此根据本公司的现有设备情况，特定如下维护保养计划：第一部分 设备维护保养通用规定一、设备的维护保养 通过擦拭、清扫、润滑、调整等一般方法对设备进行护理，以维持和保护设备的性能和技术状况，称为设备维护保养。设备维护保养的要求主要有四项： (1) 清洁 设备内外整洁，各滑动面、丝杠、齿条、齿轮箱、油孔等处无油污，各部位不漏油、不漏气，设备周围的切削液、杂物、脏物要清扫干净； (2) 整齐 工具、附件、工件(产品) 要放置整齐，管道、线路要有条理； (3) 润滑良好 按时加油或换油，不断油，无干摩现象，油压正常，油标明亮，油路畅通，油质符合要求，油枪、油杯、油毡清洁； (4) 安全 遵守安全操作规程，不超负荷使用设备，设备的安全防护装置齐全可靠，及时消除不安全因素。 设备的维护保养内容一般包括日常维护、定期维护、定期检查和精度检查，设备润滑和冷却系统维护也是设备维护保养的一个重要内容。 设备的日常维护保养是设备维护的基础工作，必须做到制度化和规范化，设备定期维护保养工作应纳入车间责任制的考核内容。设备定期检查是一种有计划的预防性检查，检查的手段除人的感官以外，还要有一定的检查工具和仪器，按定期检查卡执行，定期检查有人又称为定期点检。 设备维护应按维护规程进行。设备维护规程是对设备日常维护方面的要求和规定，坚持执行设备维护规程，可以延长设备使用寿命，保证安全、舒适的工作环境。其主要内容应包括： (1) 设备要达到整齐、清洁、坚固、润滑、防腐、防冻、安全等的作业内容、作业方法、使用的工器具及材料、达到的标准及注意事项； (2) 日常检查维护及定期检查的部位、方法和标准； (3) 检查和评定操作工人维护设备程度的内容和方法等。 二、设备的三级保养制 三级保养制度是逐步完善和发展起来的一种保养修理制，它体现了设备维修管理的重心由修理向保养的转变。三级保养制内容包括：设备的日常维护保养、一级保养和二级保养。三级保养制是以操作者为主对设备进行以保为主、保修并重的强制性维修制度。(一)设备的日常维护保养 设备的日常维护保养，一般有日保养和周保养。1日保养 日保养由设备操作工人当班进行，认真做到班前四件事、班中五注意和班后四件事。 (1) 班前四件事：明确当天任务，检查交接班记录。擦拭设备，按规定润滑加油。检查手柄位置和手动运转部位是否正确、灵活，安全装置是否可靠。低速运转检查传动是否正常，润滑、冷却是否畅通。 (2) 班中五注意：注意运转声音，设备的温度、压力、液位、电气、液压、气压系统，仪表信号，安全保险是否正常。 (3) 班后四件事：关闭开关，所有手柄放到零位。清除脏物，擦净设备导轨面和滑动面上的油污，并加油；清扫工作场地，整理附件、工具；填写交接班记录和运转台时记录，办理交接班手续。 2周保养 周保养由设备操作工人在每周末进行，保养时间为：一般设备2h，特种设备4h。 (1) 外观 擦净设备导轨、各传动部位及外露部分，清扫工作场地。达到内外洁净无死角、无锈蚀，周围环境整洁。 (2) 操纵传动 检查各部位的技术状况，紧固松动部位，调整配合间隙。检查互锁、保险装置。达到传动声音正常、安全可靠。 (3) 液压润滑 清洗油线、防尘毡、滤油器，油箱添加油或换油。检查液压系统，达到油质清洁，油路畅通，无渗漏，无研伤。 (4) 电气系统 擦拭电动机、蛇皮管表面，检查绝缘、接地，达到完整、清洁、可靠。 (二)一级保养 一级保养是以操作工人为主，维修工人协助，按计划对设备局部拆卸和检查，清洗规定的部位，疏通油路、管道，更换或清洗油线、过滤器，调整设备各部位的配合间隙，紧固设备的各个部位。一级保养所用时间为4-8h，一保完成后应做记录并注明尚未清除的缺陷，车间机械员组织验收。一保的范围应是企业全部在用设备，对重点设备应严格执行。一保的主要目的是减少设备磨损，消除隐患、延长设备使用寿命，为完成到下次一保期间的生产任务在设备方面提供保障。 (三) 二级保养 二级保养是以维修工人为主，操作工人参加来完成。二级保养列入设备的检修计划，对设备进行部分解体检查和修理，更换或修复磨损件，清洗、换油、检查修理电气部分，使设备的技术状况全面达到规定设备完好标准的要求。二级保养所用时间为7天左右。 二保完成后，维修工人应详细填写检修记录，由车间机械员和操作者验收，验收单交设备动力科存档。二保的主要目的是使设备达到完好标准，提高和巩固设备完好率，延长大修周期。 实行“三级保养制”，必须使操作工人对设备做到“三好”、“四会”、“四项要求” 并遵守“五项纪律”。三级保养制突出了维护保养在设备管理与计划检修工作中的地位，把对操作工人“三好”、“四会”的要求更加具体化，提高了操作工人维护设备的知识和技能。三级保养制在我国企业取得了好的效果和经验，由于三级保养制的贯彻实施，有效地提高了企业设备的完好率，降低了设备事故率，延长了设备大修理周期、降低了设备大修理费用，取得了较好的技术经济效果。 三、设备的使用维护要求 (一) 四定工作 (1) 定使用人员。按定人定机制度，专用设备操作工人应选择本工种中责任心强、技术水平高和实践经验丰富者，并尽可能保持较长时间的相对稳定； (2) 定检修人员。因专用设备较多，根据本公司条件，可组织设备专业维修（一般由生产厂家），专门负责对专用设备的检查、精度调整、维护、修理； (3) 定操作规程。专用设备应分机型编制操作规程，加以显示并严格执行； (4) 定备品配件。根据各种专用设备在生产中的作用及备件来源情况，确定储备定额，一般由生产厂家提供备件，并优先解决。(二) 精密设备、仪器使用维护要求 (1) 必须严格按说明书规定安装设备； (2) 对环境有特殊要求的设备（恒温、恒湿、防震、防尘）应采取相应措施，确保设备精度性能；(3) 设备在日常维护保养中，不许拆卸零部件，发现异常立即停车，不允许带病运转； (4) 严格执行设备说明书规定的操作规范。 (5) 非工作时间应加护罩，长时间停歇，应定期进行擦拭，润滑； (6) 附件和专用工具应有专用柜架搁置，保持清洁，防止研伤，不得外借。 四、动力设备的使用维护要求 动力设备是企业的关键设备，在运行中有高温、高压、易燃、有毒等危险因素，是保证安全生产的要害部位，为做到安全连续稳定供应生产上所需要的动能，对动力设备的使用维护应有特殊要求： (1) 运行操作人员必须事先培训并经过考试合格； (2) 必须有完整的技术资料、安全运行技术规程和运行记录； (3) 运行人员在值班期间应随时进行巡回检查，不得随意离开工作岗位； (4) 在运行过程中遇有不正常情况时，值班人员应根据操作规程紧急处理，并及时报告上级； (5) 保证各种指示仪表和安全装置灵敏准确，定期校验。备用设备完整可靠； (6) 动力设备不得带病运转，任何一处发生故障必须及时消除； (7) 定期进行预防性试验和季节性检查； (8) 经常对值班人员进行安全教育，严格执行安全保卫制度。 五、提高设备维护水平的措施 为提高设备维护水平应使维护工作基本做到三化，即规范化、工艺化、制度化。 规范化就是使维护内容统一，哪些部位该清洗、哪些零件该调整、哪些装置该检查，要根据各企业情况按客观规律加以统一考虑和规定。 工艺化就是根据不同设备制订各项维护工艺规程，按规程进行维护。 制度化就是根据不同设备不同工作条件，规定不同维护周期和维护时间，并严格执行。 赞同第二部分 设备维护保养的专用部分一、多线切割机1.要求：因工作环境恶劣，维护保养显得尤为重要。在生产过程中随着工时的增加，各部机构和零件受到切削液粘接、摩擦、磨损、震动、冲击、碰撞及事故等诸多因素的影响，技术性能会有所降低，所以必须进行全面的、彻底的维护。2.维护项目：主辊的更换在每次切割前，请清理主辊上附着异物（硅棒粘接胶、硅渣等）。主辊在正常使用时可工作500小时，请及时开槽更新主辊。更换主辊后用百分表测量主辊两端跳动。保证使用主辊跳动在技术要求范围内。皮带的更换设备运转过程中电机同步带产生异常啸叫声，说明皮带涨紧力过大，请按照说明书重新涨紧同步带。如发现同步带有破损、龟裂现象请更换。砂浆的更新、循环请操作者根据实际切割情况及时更新、更换砂浆。在设备不工作时，请关闭砂浆泵体出口主球阀，打开侧路小球阀，让砂浆进行内部循环，以防砂浆块结。如果长时间不进行加工，请开启砂浆泵，打出砂浆，清洗砂浆罐。并清洗设备。设备的清洗本设备需要定期清洗，清洗前请开启压缩气。设备砂浆罐注满水，保护主轴，谨防水枪激流注入主轴内部，开启砂浆泵，将设备内部淤积砂浆清理干净。清洗干净之后吹干设备腔体及管道内部。防止残留水分混入砂浆，影响切片质量。导轮更换本设备导轮使用寿命为1000小时，请及时更换导槽或整体更换导轮，切勿使用废弃导轮。压缩空气系统：气路系统是本设备正常运转的保证之一，在设备砂浆开启前优先开启气源。设备砂浆停止后8小时方可关闭气源。气源系统由外围气站等组成，需定期每天检查气站各接口、压力表、气泵、配套电源等相关元器件。确保其安全、可靠。气站润滑油应按照该设备要求定期添加。压缩气体过滤系统聚集的冷凝水应及时排放。制冷系统的维护 本设备水路系统影响着设备加工硅片的质量，开启设备前检查冷水箱水位是否在水位范围内。 冷却水需定期更换，添加。 定期每天检查水路系统有无渗漏，如有，及时密封。 水温的调整：按照MCW350C精密水冷却机使用说明书调整水温至13。电气控制系统的维护部件名称维护和保养注意事项运动控制器定期检查：有无粉尘或导电性物体侵入机内；插头或接线连接是否可靠通电时不要触摸端子。关掉电源后再进行清扫、拧紧端子和装卸连接电缆的工作。PLC定期检查：有无粉尘或导电性物体侵入机内；有无接线或端子松动及其它异常。通电时不要触摸端子。关掉电源后再进行清扫、拧紧端子和装卸连接电缆的工作触摸屏要保持显示屏的干净，保护膜损坏后要及时更换。不要用尖锐物体触及显示屏；伺服放大器定期检查接插头有无松动，电源是否正常检查时要关闭电源，参数出厂前已设置好，不要随便设置，以免出现故障张力表检查无钢丝和外部载荷的情况下输出是否为零检查张力传感器外罩是否与设备干涉；检查和调整外罩时设备必须停止运行；调整好外罩后，通过张力表面板“AutoZero”键回零。整机检查电源和接地措施是否正常；接插头是否松动；元器件、开关是否正常；检查时要关闭电源，以免出现危险二、全自动硅片脱胶机、清洗机 1、要求： 1断开总电源前，应先将其它开关全部断开。 2槽内没有清洗液时，不能开启超声和加热器。3清洗件不能超出洗篮的边缘。4旧液换新液时的排液，加热器开关及超声超波开关应处于“OFF”位置，并应在常温下进行。5循环系统的调节阀位置调好后，一般不应再调动，如使用条件变化，可根据各自情况重新调动。6如循环泵超负荷，热继频繁动作时，应检查过滤芯是否合适或是否堵塞。7震板表面不能划伤、撞击或放置物品。8当槽内溶剂因加热器干烧或使用时间过长等原因发生变质时，应及时将溶剂排出槽外，并将槽内清洗干净，以免变质溶剂腐蚀槽体。9若工件掉入清洗槽内，应及时取出，以免磨损缸底。10当槽内沉积物过多时，应排出清洗液，手工掏净缸底沉积物及清理加热器的沉积物。11正常使用情况下，必须定期检查机器的完好程序，特别是机械手传动部分的行走机构，定时加润滑油，保证吊臂的平行。12开机使用进程中，装篮与卸篮处必须有专人看管，及时取走卸料工位处的洗篮，避免故障发生。13洗篮应平稳正确及时地放在上料工位，最好不要歪斜，不要反复拿出放下（在一次上料中）。14定期停机检查各部分紧固螺栓，如发现松动应重新紧固方可继续使用。15若传动部分有异响，应着重检查各部位轴承及电机。16禁止使用可燃性清洗剂。2、维护项目：1及时清除震板上的沉积赃物；2定期清除超声波发生器内尘物,保持通风散热良好。3传动装置中采用较多滚动轴承，每1-2个月应加注润滑油一次。4每月定时检查机械臂部件的螺丝5每月定时对机械臂的滚珠丝杠、直线导轨、齿轮加注润滑油6每季度定期检查清洗篮的尺寸是否准确。7每月定期检查机械手链条（用手拉链条，有松动要进行调节）、螺钉及气缸门活动关节螺钉的松紧。 三、插片机 1每班班次下班前必须清洗水箱、滤网。 2每月定时对丝杠加注润滑油。 四、甩干机 甩干机属于精密超净设备，在使用中要注意维护和保养，常规的维护和保养按以下要求进行。 1、每天检查腔体、门盖的密封情况，如密封圈被污染或进入异物（如碎片颗粒等）应及时进行清除，如密封不好应检查门位置是否变动，密封圈是否完好。2、每天检查氮气、去离子水供给压力及流量，如发现超出使用范围要求，要及时调整。3、每周一次检查氮气、去离子水等管路系统是否出现“漏水”、“漏气”现象，一旦发现应及时排除。4、工作中随时检查转架及转架上的固定杆、盒子是否松动，转架安装是否正确。5、每周一次检查氮气压力传感器，如发现气路部分工作异常、氮气加热部分没有工作，或者烘干氮气喷嘴处的流量明显减少，应调整或更换压力传感器、相应的气控阀。、6、每天检查片架载体及电机的工作情况，如发现工作时震动明显增大、声音出现异常、电机发热、速度差异等现象，应通知厂商来人检查和维修。7、设备在做定期检查和保养时，应注意设备的清洁，不要造成污染。一旦发现应及时清除。检查、维修时应仔细工作，不要造成诸如密封圈损坏、安装失误等事故发生。8、设备外观要经常擦拭保养，如出现被腐蚀性液体污染等现象要及时清洁，以防长时间存留损坏设备外观表面。五、制冷机的维护与保养 1、设备的维护保养应制定专人处理，并建立维护保养记录档案。 2、每周检查一次末端装置的过滤网。如用清水清洗不净时，可在清水中加入清洗剂，洗净后再用清水清洗多次，以免清洗剂附着于设备上造成化学腐蚀。3、每月进行一次全机检查，内容有：检查制冷系统压力是否正常；电气线路是否有接触不良、发热、老化等现象；各紧固螺丝是否松动；有无异常的噪音；水过滤器是否该清洁或换新（水流量降低或水泵运转电流下降表示有堵塞）；检查循环水质是否符合要求。六、空压机的维护和保养 1、运转500小时：（1）空气滤芯取下清洁，用0.2Mp以下低压空气由内向外吹干净（2）新机使用后第一次换油过滤器（3）更换冷却液（4）清洁空气滤水杯的滤芯（5）清洁泄水阀滤芯2、运转1000小时：（1）检查进气阀动作及活动部位，并加注油脂（2）清洁空气滤清器（3）监视管接头紧固螺栓及紧固电线端子螺丝。4、运转2000小时或6个月 （1）检查各部管路 （2）更换空气滤芯 （3）更换油过滤器 （4）更换空气滤水杯的滤芯 （5）更换自动泄水阀滤芯 （6）补充电机的融化脂5、运转3000小时或1年 （1）检查进气阀动作情况及阀板是否关严。 （2）检查所有的电磁阀。 （3）检查各保护压差开关是否动作正常。 （4）更换油细分离器。 （5）检查压力维持阀。（6）清洗冷却器，更换O型环。（7）更换空气滤芯、油滤芯。（8）检查起动器之动作。6、每6000小时： （1）清洗冷却液路系统 （2）更换复盛螺杆空压机高级冷却液（排气温度在85度以下的更换周期）。7、每20000小时或4年： （1）更换机体轴承、各油封，调整间隙。 （2）测量电动机绝缘，应在1M以上。空压机电动机的维护和保养 使用环境应保持干燥，电动机表面应保持清洁，进风口不应受尘土，纤维等杂物的阻碍。 当电动机的热保护及短路保护连续发生动作时，应检查故障来自电动机，还是超负荷，或保护装置定值太低，清除故障后，方可投入运行。应保证电动机轴承在运行过程中的良好润滑，运行2000小时应补充润滑脂，润滑脂选用ESSO公司生产的UNIREX N2油脂，其量由下式决定。Gp=补充油脂时的注入量，gD=轴承外径，mmB=轴承总宽度，mm因油脂随温度升高会加速老化，故温度超过70时，每升高15，补充间隔必须减半，但最终温度不能超过120。温度低于70时，间隔可适当延长，但即使在低温运行时，其间隔也不应超过3000小时。注油时，应用注油枪将油注入油杯。在注油前，先将排油管上的油堵取下，并接上塑料管将油引出机外，待注油完毕，将塑料管取掉，油堵拧紧。七、净水设备的维护和保养1、 清洗箱的使用与维护清洗箱的作用是主机的电导率达不到15us/cm时，用来洗膜时用，材料为PE，亦可为其它材料，为保持清洁，应定期进行清洗，在洗膜配液时，必须先将水箱清洗干净，洗膜结束须将水箱中剩余酸排净，以备下次使用。2、 洗膜随着运转时间增加，膜表面将附着沉淀物，影响出水量，导致脱盐率明显降低，电导率偏高，产水量逐渐下降等症状时，必须进行清洗反渗透膜原件。一般是膜运行3个月左右，（即累计约2200小时）为保持水质，必须进行洗膜，当电导率上升10%，产水量下降10%时，就要清洗膜。一般情况下膜正常运行2年后，（即累计约17000）性能下降，不能用了，必须进行更换。3、洗膜时的注意事项：（1）配置清洗溶液：一般使用反渗透产品水（至少是软化水），配置成专用溶液，并调节至所需温度：3040。（2）反渗透进水入口处最大压力为60psi；单只膜原件最大压降1015 psi；以防止膜卷突出，将置换出的水排入下水道。（3）将最初2%已污染的化学清洗溶液排入下水道。（4）低流量循环：循环时间约为515分钟，每根压力容器流量为11.4升/分钟，尽量减少冲洗下来的污染物对进水管的阻塞。（5）中等流量的循环：循环时间为515分钟，每根压力容器流量为11.4升/分钟。（6）大流量的循环：循环时间为3060分钟，每根压力容器流量为30.337.9升/分钟。（7）侵泡：轻度污染可侵泡12小时；严重污染需侵泡过夜。（8）冲洗：使用反渗透产品水冲洗，并将水排入下水道，反复冲洗，直至清洗液全部排出，出水澄清为止。3、 混床的维护在离子交换器工作一段时间后，树脂的交换能力被水中的盐类阳阴离子所饱和时，离子交换树脂不再发生置换反应，离子交换器出口水质发生明显的变化，此时离子交换器就应停止运行，从而对离子交换树脂进行处理，以恢复树脂的交换能力，阳树脂用盐酸溶液再生，阴树脂用氢氧化钠溶液再生。4、常用配件更换周期（1）滤芯约2个月更换一次（2）活性炭处理水量是其体积约8000倍时需更换一次5、设备在操作中应注意事项：（1）保证反渗透膜的进水水质浊度1NTU或SDI值5，给水温度45，给水中不含有无机或有机的可能对膜造成物理及化学损伤的有害物质（2）任何情况下，膜原件均不允许出现反压，即透过水的水压大于浓水侧的压力（3）在标准条件下系统性能下降10%，或当显然发生了结垢或污堵时应及时进行清洗（4）每次设备停机之前，应对反渗透膜进行低压大流量冲洗，减少污染物在膜表面的结垢（5）反渗透膜装置如出水水质电导率大于设计要求时，需对膜原件进行清洗，保证清洗液ph值等于2（6）反渗透膜装置如需长时间停机（10田以上），则需往膜内灌注专用药剂，应与厂家联系（7）反渗透系统应注意平时的维护，特别是预处理系统每日的反冲洗。应在规定时间内或根据其污染状况进行预处理系统的处理，包括石英砂、活性炭、树脂、滤芯的更换。八、冷冻式干燥机的维护与保养1、设备运行时检查冷媒低压表读数是否在正常范围内。空气系统中，冷媒低压过低将会导致结霜或结冰，使压力损失增大并可能导致压缩机损坏。压力过高将使系统的制冷量减少。2、自动排水器的保养；应每天检查自动排水情况，定期清洗排水器内滤网，以免堵塞而失去排水作用；3、电动排水器的保养；建议您每次检查压缩空气系统时，顺便按几下定时器上的手动测试按钮（TEST）检查电子排水器是否能正常得电排水。在使用电子排水器的过程中，应特别注意以下几点：（1）定时器上TEST薄膜开关是手动测试按钮，每按动一次，排水器按照设定时间排放一次。此按钮在日常工作中用于随时检查排水情况。（2）电子排水器在使用中，可能会出现电磁阀关闭不严的情况，表现为一直漏气，通常该故障并非排水器本身质量所致，其原因是冷凝水太脏，其中的微小固体颗粒进入阀芯与芯壳之间