IC行业特种气体简介.ppt

IC行业特种气体简介,主讲部门：华特销售部 主讲部门负责人：张均华 主讲人：李渊,IC的定义,IC即集成电路，是采用半导体制作工艺，在一块较小的单晶硅片上制作上许多晶体管及电阻器、电容器等元器件，并按照多层布线或遂道布线的方法将元器件组合成完整的电子电路。 IC行业通常包括设计、制造及封装三大块。与我们气体相关主要是其制造模块，另外封装模块也涉及很少的一部分。,2019/4/22,特气在IC行业里面的应用,电子特气广泛应用于IC行业的如下工艺： 薄膜沉积； 刻蚀； 掺杂； 钝化； 清洗； 或用作载气、保护气氛等等。,2019/4/22,2019/4/22,特气在IC体制造中的应用-工艺,Material Preparation: Epitaxial Growth (Optional),LPCVD Metal CVD PECVD SACVD APCVD EPI,Dry Etch,特气使用,2019/4/22,特气在IC制造中的应用-原理,CVD Deposition: SiH4+N2(Carrier gas)+NH3 plasma & heat SixNy + H2 + N2 + other volatiles CVD Chamber clean NF3+ SixNy plasma SiF4+N2+other volatile 掺杂: (如 Implant/DOPOS) PH3+H2混气等 刻蚀: SiO2+CF4*SiF4+CO+CO2,固态,刻蚀气体,气态,可被排出硅片及腔体,主要应用： 反应 载气 腔体清洁 掺杂 刻蚀,2019/4/22,特气在IC制造中的应用-分类,大宗气体 N2 O2 Ar 离子注入 BF3 SF6 Xe （ 红磷、黄磷、金属砒霜 ） PR（印刷） F2 He Kr Ne 扩散 H2 POCl3 DRY He CF4 C4F8 C5F8 CHF3 CH2F2 Cl2 HBr BCl3 SF6 CO CVD TEOS TEB TEPO PH3 ClF3 SiH2Cl2 NF3 SiH4 NH3 He N2O WF6 C2F6 TiCl4 CH4,2019/4/22,特气在IC制造中的应用-用量,一个八寸的芯片厂每年气体的使用金额约为5千万元人民币。,感官认识：,国内6寸以上芯片客户不完全统计,2019/4/22,芯片厂商对客户要求,合法 安全 可靠的质量管理体系 有效的质量监控手段 稳定有效的管理团对 强大的技术研发实力 物流能力 专用危险品仓储场所,2019/4/22,芯片厂商对特气评价流程,供应厂商的资质 气体规格的确认/比较 控片/实验片上基础数据的确认 小量产品的实验评价 中量产品的实验评价 大量产品的实验评价 品质管理体系的审核 量产审查通过 成为合格供应商,2019/4/22,IC行业有竞争力的气体公司和产品,氟碳化合物（C2F6、CF4、SF6等C1-C4产品） 日本企业（昭和、住友以及大阳日酸） 绿菱气体（CF4、C2F6、CHF3等） 黎明化工院（SF6、C2F6等） N02:林德气体 NF3和WF6:718所 硅烷：AP,2019/4/22,华特气体在芯片行业的竞争力,国内本土厂商:承担国家02专项项目（C2F6、CHF3）。 产品种类齐全：C2F6、CF4、SF6、CHF3、C3F8、C4F8、NO（3N）、NH3、C02、CO（4N）、SiH4等。 良好的品牌效应（已经供应的客户） 性价比高，确实降低客户的成本 快捷的物流配送（交货期短、应急反映迅速）,2019/4/22,中芯国际（8寸、12寸）,如何开发芯片行业客户,个人经验，与大家探讨。 要有信心，相信自己的产品；心态很重要 熟悉自己的产品（规格、用户、市场行情） 如何开拓客户 信息收集（统计相关区域内的所有IC厂商） 信息处理（筛选具有价值的客户） 找到相关联系人（关键人：每个公司的情况不一样） 与客户沟通（了解客户的使其用情况；成本、性价比、交