JJG2019-1989平面度计量器具检定系统.pdf

中 华人民 共和国 国 家计量检定系 统J J G 2 0 1 9 - 8 9平 面度 计 盆 器具1 9 8 9 年6 月2 2 8 批准1 9 9 8 年4 月 1 日实施国 家 技 术一 监 督 局目录一 计 最基准 器具. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ( 1 )二 计里标准器具 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ( 2 )三工作 计量器具 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ( 3 )四 附加 说明 ， ， 一( 4 )五 平面 度计址器具检定系统框图 一( 5 )标准分享网 w w w .b z f x w .c o m 免费下载平面度计t器具检定系统V e r i f i c a t i o n S c h e m e o f Me a s u r i n g I n s t r u me n t s f o r F l a t n e s sJ J G 2 0 1 9 - 8 9 本国 家计量检定系统经国家技术监督局于1 9 8 9 年6 月2 2日批准，并自1 9 9 0 年 4月 1日起施行.绍草单位: 中国计量科学研究院本检定系统技术条文由起草单位负责解释。本检定系统主要 起草人。 张秀英( 中国计量科学研究院) 参加归草人: 毛起广( 中国计盈科学研究院)标准分享网 w w w .b z f x w .c o m 免费下载J J G 2 0 1 9 -a s共 5 页第1页平面度计最器具检定系统 本检定系统适用于光学行业、机械行 业生 产 和使用中的平面平晶、长平晶以及用于检测平面度、直线度的仪器和量具. 一计 皿 签 准 器 具 1 平面度国 家基准 1 . 1国家计量基准的用途 本基准用于复现平直度量值和通过标准器具向使用中 的工作计量器具 传递，以 保证国内平面度量值的统一，提高光学、机械产品 的质量 . 本基准复现的量值作为平面度比对的基础。 1 . 2组成国 家计量基准 的全套主要计量器具的名称: a .平面等倾干涉仪， b 。币1 5 0 mm基准平晶组， c , 2 1 0 m m基准长平晶组; d , 3 1 0 m -基准长平晶组。 1 . 3国 家计 量基准复现的 量的范围 a .平面平晶为 4 1 5 0 mm; b 。长平晶为 2 1 0 mm和 3 1 0 m m, 1 . 4平面度计量基准的不确定度 对于 0 1 5 0 m m平面平晶和2 1 0 mm长平晶 d=士0 . 0 1 R m 对于3 1 0 mm长平晶 d二上0 , 0 2 u m 置信度因子K= 3 1 . 5基准用多面互 检法，并以直接比 较法向标准器具传递。 2 平面 度副基准 2 . 1组成副基准的全套主要计量器具名称:共 5 页第2贾a r c 2 0 1 9 -8 sa .平面等倾千涉仪;b .叻工 犯 m m基准平晶组，c . 2 1 0 mm基准长平晶组，d . 3 1 0 m m基准长平晶 组.2 . 2副基准的测量范围:a .平面平晶为币 工 5 0 m m ,b .长全 7 晶为 2 1 0 mm和3 1 0 mm .2 . 3副基准的不确定度对于0 1 5 0 m m平面平晶及 2 1 0 mm长平晶 d=士0 . 0 1 P M对于 3 1 0 mm长平晶 d=士0 . 0 2 Ga m置信度因子 K=32 . 4主基准与副基准之 间需4 年比 对 1 次.二计 皿 标 准 器 具3 一等标准平晶组3 . 1测量范围:0 1 5 0 mm.3 . 2测量不确定度:d = 1 0 . 0 1 u m，置信度因子K=3 .4 二等标准平晶组4 . 1测量范围:(P 1 5 0 mm .4 . 2测量不确定度: d =士 。 . 0 2 O m ，置信度因 子K = 3 .5 带标准平晶平面等厚干 涉仪5 . 1 P i 量范围:0 1 0 0 .0 2 0 0 mm .5 . 2测量允许误差a .一级等厚干涉仪:允许误差 = 0 . 0 1 5 -0 . 0 4 u m ;b 。二级等厚干涉仪:允许误差= 0 . 0 3 -0 . 0 8 k m .6 标准长平晶组6 . 1测量范围:2 1 0 mm , 3 1 0 mm .6 . 2测量不确定度:d=土0 , 0 1 g m , 6 =士0 , 0 2 IA mt标准分享网 w w w .b z f x w .c o m 免费下载刀C 2 0 1 9 -8 9共弓页第3页 置信度因子K=3 . 7长平晶 7 . 1测量范围:2 1 0 m mj 3 1 0 mm , 7 . 2测量不确 定度: 6 =1 0 . 0 1 5 O m , 6 =1 0 . 0 4 u m ,置信度因子K= 3 . 8 0级标准平尺。 8 . 1 A 叮 量范围:1 7 5 - 6 0 0 mm , 8 . 2允许误差:0 = 0 . 1 3 -0 . 5 u m. 9 1级标准平尺 9 . 1测量范围:1 7 5 - 6 0 0 mm, 9 . 2允许误差:4= 0 . 2 5 -1 . 0 p m. 1 0 平尺、平板类工作用计量器具，根据检定规程可应用相应精度的各类型自准直仪或水平仪进行检定。 检定这 类自准直仪和水平仪采用小角 度检查仪作标准.因此，这一类长度通用的标准量仪是由长度基准通过量块进行量值传递的。 1 1 鉴于标准平面平晶和长平晶等标准计量器具自身的特点，它们可以通过计量基准器具直接检定，亦可采用多面互检的方法 进行检定， 但应定期的做溯源比对，以考 验量值传递的可靠性，一般溯源比对需两年 1次。三工 作 计 量 器 具1 2 平面平晶1 2 . 1测量范围:(h 3 0 -0 3 0 0 m m.1 2 . 2允j 书 误差a , l级0 . 0 3 - 0 . 0 8 u mjb . 2级0 . 1 -0 . 1 4 w m.1 3 平行平晶1 3 . 1测量范围 ( 高度)1 0 - - - 9 0 m m .1 3 . 2允许误差a 。工作面的平面度不应大于0 . 1 w m j共 弓页第 4页打G 20 1 9 -8 9b . 两工作面的平行度。 . 6 -1 . 0 la m .1 4 刀口形直尺1 4 . 1测量范围:7 5 -5 0 0 mm.1 4 . 2允许误差:a . 0级0 . 5 .2 . 0 ja mjb .级1 . 0 -4 . 0 u m.1 5 钢平尺和岩石平尺1 5 . 1测量范围:4 0 0 - - - 2 5 0 0 r a m .1 5 . 2允许误差:a . 0 0级1 . 6 - 6 . 6 d a m;b . 0级2 . 6 - - 1 1 . 0 d a m;C . 1级 5 . 0 2 2 . 0 lam,d . 2 级2 0 . 0 - - 4 4 . 0 W m.1 6 铸铁平板和岩石平板1 6 . 1测量范围:1 6 0 x 1 0 0 4 0 0 0 x 2 5 0 0 mm.1 6 . 2允许误差:a . 0 0 级2 . 5 - 8 . 0 am)b . 0级5 . 0 - - - 1 6 . 0 p m jc . 1 级1 0 . 0 .4 6 . 0 . u m td . 2级2 2 . 0 .9 2 . 0 1 a m;e . 3级6 2 . 0 一2 2 8 . 0I a m. 四附 加 说 明 本系统检定方法的不确 定度: 平面平晶与长平晶均按 “ 四面法” 或 “ 五面法”互 检计算出其不确定度。 例如:按四面互检时，四块平晶依次组合 6 次，即x+Y=aa z+Y=a z 万+t =a, _ 夕+z =a , y+t =口 . t +z=a. 每块平晶平面度偏差按式 ( 1 )计算:标准分享网 w w w .b z f x w .c o m 免费下载J J G 2 0 1 9 -8 9共5页第 5页t一，尹十二.!/x=y =z =2 ( a, +a 2 +a , )一( a ,+a, +a, ) 62( a , +a, +a,一( a 2 +a ,+a , )( 1 )2 ( a2 + a , +a , )一( a l +a, +a, ) 62( a . +a , +a, ) 一 ( a , +。 :+a , ) 6 并由 式 ( 2 )计算检定结果的残差: 01 x , = J , +K ， 一 a p c t式中:A1 x 1 -平晶J和K互检时，在 t 点的残差，J 和K为x , y , z , t 四 块平晶中的某两块. 两块平晶平面度之和的测量术确定度d ， 由 式 ( 3 )( 2 ) Z E. e .0 1= / 一 . 二 ， “ 巴 V咨 n .计算:( 3 )每块平晶平面度的测量不砍定度d :由式 ( 4 )求得;。 : = J 51 2 d 1( 4 )我们在表中标明的总不确定度，真置信度因子 K=3 a五平面度计皿器具检定系统框图物 串 呻 井 备 日加朗 潇 豁 冲 井加 韶 潇翩 廊牛 2瀚卡伽 艺50三日卜11降01马亲廓僻卡歌卡习被祠十噪常 誉00、毖0日习 -娜卜二00150史吧 1娜卡翻 汾50日三卜“1+0吕亏一 2娜卜二003。OOBtm 1愉卡伽岔。叭二。日日卜乙乙“占息写卡酬解井廊串冲莽淤洲爵满困份|卡酬解回 、1饥omm11i 书ii 嚼 ir i f I口 付愉书御乃0、曰幼Om弓卜州汁0。11 卡尔卡知锅卜件0。0目喇回书盲十味窝灼国回商 !被郭潇喇伽(爵 猛。家Omm岛111+0.01亡nl1+33书酬被演水噪户开热荔淤 日书蓄 伙1仍0件002琶日书毓潇书邵盲昌琶 髻 训忿 喇首 1W m 9 ,! j+岩民好窿沁N娜书缈么150目m巨“1+01节日解僻砰斗 付娜书枷么曰0、幼。日卜”汁01乍日 书布书翻吕你豁阶书酬离回羚州麟 、荡0习日服潇书翻曲岛卜1+0。0一苍吕 1娜喇邵傲30.100日日护”0.03，户鼠层州圣戮决斗二 iI+3q书酬十漂户伪回讲回薄Do 3 2味卡枷、30协150mm卜“1+0。1石， 卡即书回浩吕扮8灵 卜u汗。08 。丈-芍标准分享网 w w w .b z f x w .c o m 免费下载b民引9一0.侧!0.一”司已已00瞬老瞬卜火侧袂口只赛叫谈聋半侧坦赵积丑0。一明囚。0二心已tu一JO版叱升拱珍彰1b软旦一甲弓0书芍尸日一瞬10.0+I“勺EE三的佳闷 1屯盆任已三人“7 平胜二闪0.0勺勺尸巨1勺0引11勺1沌了华男黔三任。共117 尝当晨嵘口一赵巴任01囚日71恶令捉兰党塔一;才己。一“司任DO映老侨卜侧段口只群侧聋擎侧湘置取仪聋潺臼岌袅十军柳吮引雏套 + I口三瞬。已?代一。”司 任注一一)9哈卜-叹卜兰雌器二+b准奚 息 一 已 闷 + I件心 已三N只C0改日7巨且ZJ峨。0打心