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- 2011-01-10 颁布
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文档简介
ICS7715099 H 68 . . 中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准 GB/T260322010 镍 蒸 发 料 Evaporatednickelmaterial2011-01-10发布 2011-10-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发 布 中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 GB/T260322010 前 言 本标准由全国有色金属标准化技术委员会 归口 (SAC/TC243) 。本标准由有研亿金新材料股份有限公司负责起草 。本标准主要起草人 尚再艳 雷继峰 朱晓光 杨永刚 班立志 熊晓东 江轩 : 、 、 、 、 、 、 。 GB/T260322010 镍 蒸 发 料 1 范围 本标准规定了镍蒸发料的要求 试验方法 检验规则 标志 包装 运输 贮运及质量证明书与订货单 、 、 、 、 、 、 或合同 内容 ( ) 。 本标准适用于半导体行业用的各类镍蒸发料 其他用途的镍蒸发料也可参照使用 。 。2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的 凡是注日期的引用文件 仅所注日期的版本适用于本 。 , 文件 凡是不注日期的引用文件 其最新版本 包括所有的修改单 适用于本文件 。 , ( ) 。 计数抽样检验程序 第 部分 按接收质量限 检索的逐批检验抽样计划 GB/T2828.1 1 : (AQL) 镍化学分析方法 硫量的测定 高频感应炉燃烧红外吸收法 GB/T8647.8 镍化学分析方法 碳量的测定 高频感应炉燃烧红外吸收法 GB/T8647.9 贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法 GB/T15077 高纯镍 GB/T260162010 3 要求 31 产品分类 . 镍蒸发料的类型按镍的纯度分为 和 两种 IC-Ni99.99 IC-Ni99.995 。 镍蒸发料形状主要分为片状和柱状两种 如图 所示 , 1 。 片状 柱状 a) b) 图 1 镍蒸
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