JJG 202-2007自准直仪行业标准

中华人民共和国国家计量检定规程2007:-02-28发布2007-08-28实施-国家质量监督检验检疫总局发布ofAutocollimators1范围 2引用文献 3概述 4计量性能要求 4.1回程误差 4.2光电瞄准时灵敏度调节引起的指示表指零变化 4.3光电自准直仪的示值漂移 4.4测量重复性(标准差) 4.5自准直光束的平行度对示值的影响 4.6光电自准直仪鉴别阈 4.7示值误差 5通用技术要求 5.2各部分相互作用 6计量器具控制 6.1检定条件 6.2检定项目 6.3检定方法 6.4检定结果的处理 6.5检定周期 附录A自准直仪鉴别阈的检定记录示例 附录B2级自准直仪示值误差检定结果处理示例 附录C3级自准直仪示值误差检定示例 附录D3级平直度检查仪示值误差检定结果处理示例 附录E用激光小角度测量仪检定1级自准直仪示值误差的检定记录示例 附录F光电自准直仪用光学角规检定方法 附录G检定证书和检定结果通知书(内页)格式 1自准直仪检定规程2引用文献本规程引用下列文献和数显式，其外形如图1、图2所示，其视场如图3所示。图1光学自准直仪6—俯仰高低调整钮；7—测微鼓轮；8—左右水平调整钮对于分度值以mm/m为单位表示的自准直仪亦称为平直度检查仪，其外形结构如图4所示，其视场如图5所示。按分度值将自准直仪分为三级，1级的分度值为；0.005mm/mo21-瞄准(定位)用刻线；2一读数分划板刻度；3—十字像2级自准直仪的回程误差不超过1个分度；3级不超过0.5个分度。2级指针式光电自准直仪在整个灵敏度调节范围内引起的指示表指零变化不超过0.2”34.4测量重复性(标准差)3级自准直仪的测量重复性不超过0.2个分度值。4.6光电自准直仪鉴别阈2级自准直仪：任意1测量范围内其示值误差不超过0.5”,10'内其示值误差不超3级自准直仪：不同规格的自准直仪其要求不同，具体要求见表1。自准直仪的示值误差应不超过表1的要求。仪器分度值类型1级2级3级0.01”0.5”、1”示值误差0"~±10"0.1”—————0“~±20”0.2”任意1'0.5”1” 3”— ——任意100分度1.5(格)1.5(格)600分度————1000分度—5通用技术要求5.1外观5.1.1新制仪器的镀层不应有脱落和斑点，漆面不应有碰伤、划痕及显著的颜色不均45.1.4自准直仪应标有分度值、制造厂名或厂标、出厂编号，使用中和修理后的自准5.2各部分相互作用仪器各活动部分的移动和转动应平稳、工作可靠、不应有卡住和突跳现象。自准直仪分划板指标线与十字线像一条线的平行度不应有目视可见的倾斜。6.1.1.2被检仪器和检定工具在检定室内平衡温度的时间不小于4h。预热30min后进行检测。见表2。平板1级平面反射镜———小角度检查仪量块三等或0级激光小角度测量仪1级光学角规1等检验平尺1级专用光闹仪器检定项目列于表3。表3检定项目表序号使用中检验外观+十+2各部分相互作用+++3回程误差十十4光电瞄准时由于调节灵敏度引起指零的变化+5表3(续)序号使用中检验5光电自准直仪示值的漂移+十6测量重复性+十+7光电自准直仪鉴别阈十—8示值误差十十9自准直光束的平行性对示值的影响十注：表中“+”表示应检项目，“-”表示可不检项目，6.3检定方法6.3.1外观6.3.2各部分的相互作用6.3.3(机械结构)回程误差将被检仪器放在1级平板上，在物镜前放一平面反射镜，调整仪器找到十字像后的平均值为回程误差，结果应符合4.1的要求，检定应在测微器鼓轮的始、中、末三个6.3.4用光电瞄准时灵敏度调节引起指示表指零变化符合4.2的要求。6.3.5光电自准直仪示值漂移将被检仪器放在平板上，在距自准直仪物镜前不超过100mm处，放置不小于通光显示值调整在零值附近，连续工作2h,观察指示表指针偏移量或数字变化量即为光电自准直仪示值漂移，结果应符合4.3的要求。上读取数值；对数显式自准直仪应用一个挡光板档一下光束，待数字稳定后并读取数值。重复测量10次，用贝塞尔公式计算出的实验标准差，其结果应符合4.4的要求。6.3.7自准直光束的平行度对示值的影响将被检仪器放在平板上，在物镜前300mm处放置平面反射镜，再在尽量靠近物镜6数值，然后使此光阑孔中心偏离物镜孔中心，其偏移量为10mm,测量工作应使专用光阑孔中心相对物镜孔中心向上、下、左、右四个位置分别进行测量，瞄准读数作为测得值，将测得值与起始值之差绝对值的最大值作为检定结果，结果应符合4.5的要求。值为a₁,同时记取小角度测量仪显示值为s₁,依序测量至α₄,s4。按下列公式进行a₁-αo=b51-so=C₁α₃-α₂=b₃S₃-s₂=C₃b₁-c₁=d₁b₂-c₂=d₂b₃-c₃=d₃b₄-c₄=d₄以上检定应在自准直仪全程中的2个不同位置进行。取最大差值为检定结果，结果应符合4.6的要求。检定示例见附录A。在小角度检定仪上用3等或0级量块检定。用不确定度不低于光学计的指示计定位。首先将被检仪器安置在小角度检查仪的一侧(但必须在同一基体上),同时，在相线方向(其结构如图6所示)。用3等或0级量块的尺寸差产生标准角度。先在一指示7表B4中自准直仪在3'26.3“这一点“各点对零点的读数差”为3'26.5”,这一点的两个数据差为0.3”,将0.3”平差到零点以后的10个点，每一点为0.03”,由于示值误差检定是误差累积的过程，第一点“各点对零点的读数差”为20.6”,加上0.03”,数据为20.63”,保留小数点后一位数字，平差后的数据为20.6”,第二点“各点对零点的读数差”为41.2”,加上两倍的0.03”,数据为41.26”,保留小数点后一位数字，平差后的数据为41.3”,对第三点的数据应加上三倍的0.03”,依次类推，到最后一点的平差后检定工作应在整个测量范围内进行。按被检仪器分度值及测量范围的不同，得到不同组的测量值(分度值为0.2”的自准直仪需用平差方法处理结果数值),把前组误差加入后组内，得到对零位的累积误差。自准直仪的示值误差是以最大与最小值之差确定，结果应符合4.7的要求。检定间隔为20”(或20分度)。使用量块尺寸(mm):1.00(二块),1.05,1.101.15,1.20,1.25,1.30,1.35,1.40,1.45,1.50共12块。标准小角度按下式计算：(弧度)式中：△H——为所用量块尺寸与对零量块尺寸的差值。如：用1.05及1.00量块，则：(弧度)2级自准直仪示值误差检定结果处理示例见附录B。3级自准直仪示值误差检定结果处理示例见附录C。3级平直度检查仪示值误差检定结果处理示例见附录D。6.3.9.21级自准直仪示值误差的检定检定装置为激光小角度测量仪，其检定示意图如图7所示。首先，将激光小角度测量装置(以下简称小角度测量仪)调整到工作状态，其中回转JJG202—20078β₀=(a-a₀)-(S-s₀)96.5检定周期检定周期为1年。小角度测量仪结果自准直仪被测位置(")相邻间隔差小角度测量仪读数值()相邻间隔差相邻间隔差被测值—标准值359.99995359.999930.00002+0.03359.999880.00005-0.08359.999850.00003+0.01359.999830.00002+0.01359.99774359.997720.00002+0.03359.997670.00005-0.08359.997650.00002+0.03359.997610.00004-0.02附录B量块尺寸按自准直仪读数各点对零点的读数差平差后标准角度误差累积误差正反平均0.5”0.6”0.6”0.0”0.0”0.0”0.0”0.0”21.2”20.6”20.6”20.6”0.0”41.7”41.8”41.8”41.2”41.3”0.0”0.0”1'2.5”1'1.8”0.0”1'23.1”1'22.6”1'22.7”+0.2”+0.2”1'43.6”1'43.6”1'43.0”1'43.2”+0.1”2'4.4”2'4.4”2'3.8”2'3.8”+0.2”+0.2”2'25.1”2'25.0”2'24.4”2*24.4”+0.2”2'45.6”2'45.5”2'45.6”+0.2”+0.2”36.2”3'6.2”3'5.6”3'5.9”3'5.6”+0.3”+0.3“3'26.9”3'26.8”3'26.8”3'26.2”3'26.5”3'26.3”+0.2”量块尺寸按自准直仪读数各点对零点的读数差平差后标准角度误差累积误差正反平均3'6.8”3'26.7”3'26.8”0.0”0.0”0.0”+0.2”3'7.4”3'47.4”3'47.4”20.6”+0.2”4'7.9”4'8.0”4'8.0”41.2”41.2”-0.1”4'28.6”4'28.5”4'28.6”1'1.8”1'1.8”-0.1”4'49.1"4'49.2”4'49.2”1'22.4”1'22.5”-0.1”5'9.7”5'9.6”5'9.6”1'42.8”1'42.8”-0.3”-0.1”5'30.4”5'30.4”2'3.6”2'3.8”-0.1”5'51.0”5'51.0”2'24.2”-0.1”6'11.4”6'11.3”6'11.4”2'45.0”-0.3“”6'32.0”6'32.1”3'5.2”3'5.6”-0.3”-0.1”6'52.6”6'52.7”3'25.8”326.3”-0.4”量块尺寸按自准直仪读数各点对零点的读数差平差后标准角度误差累积误差正反平均6'52.5”6'52.6”6'52.6”0.0”0.0”0.0”0.0”-0.2”7'13.1”7'13.0”7'13.0”20.4”20.4°20.6”-0.2”-0.4”7'33.7”7'33.6”7'33.6”41.0”41.0"41.3”-0.3”-0.5”7'54.3”7'54.4”7'54.4”1'1.8”1'1.9”-0.1”-0.3"8'14.9”8'14.8”8'14.8”1'22.2”1'22.2”1'22.5”-0.3”-0.5”8'35.4”8'35.5”8'35.4”1'42.8”1'42.8”1'43.1”-0.3”-0.5”8'46.0”8'46.1”8'46.0”2'3.4”2'3.3*2'3.8”-0.5”-0.7”9'16.6”9'16.8”9'16.7”2'24.1”2'24.0*2'24.4”-0.4”-0.6”9'37.3”9'37.4”9'37.4*2'44.8”2'44.7”2'45.0”-0.3"-0.5”9'57.8”9'57.7”9'57.8"3'5.3”3'5.2”3'5.6”-0.4”-0.6”量块尺寸按自准直仪读数对零点的读数差两相邻差读数标准角度累积误差正反正反平均0.1”0.2”0.1”0.1”0.0”0.0”3'26.6*3'26.5”3'26.5”3'26.6”3'26.6”3'26.5”3'26.5”3'26.3”+0.2*6'52.4”6'52.5”6'52.5”6'52.5”6'52.5”6'52.4”3'25.9”6'52.5°-0.2”9'57.7"9'57.7”9'57.5”9'57.7”9'57.7”9'57.6”3'5.2"9'58.2-0.6”从表中可得0～10'内的示值误差为：|+0.3”|+|-0.7”]=1.0附录C量块尺寸按自准直仪读数各点对零点的读数差标准角度误差累积误差正反平均0.2”0.4”0.3”0.0”0.0”0.0”20.4”20.9”20.6”20.2”20.6”-0.4”-0.4”41.5”42.0”41.8”41.5”+0.2”+0.2”1'1.6”1'1.8”1'1.9”-0.4”-0.4”1'22.6”1'23.0”1'22.8”1'22.5”1'43.4”1'43.8”1'43.6”1'43.3”+0.2”+0.2”2'4.5”+0.6”+0.6”2'25.1”2'25.5”2'25.3”2'25.0”2'24.4”+0.6”245.4”2'45.8”2'45.6”2'45.3”+0.3”3'6.2”3'6.4”3'5.6”+0.5”+0.5”3'26.7”3'27.2”3'27.0”3'26.7”3'26.3”+0.4”+0.4”量块尺寸按自准直仪读数各点对零点的读数差标准角度误差累积误差正反平均3'27.2"3'27.6”3'27.4”0.0”0.0”0.0”+0.4”3'47.7”3'48.2"3'48.0”20.6”20.6”+0.4”4'8.5”4'9.0”4'8.8”41.4”41.3”+0.1”+0.5”4'29.8”4'30.0”4'29.9”1'2.5”+0.6”+1.0”4'50.5”4'50.8”4'50.6”1'23.2”+0.7”+1.1"5'11.2”5'11.2”5'11.2"1'43.8”+0.7”+1.1"5'32.4”5'32.2”5'32.3"2'4.9"2'3.8"+1.1”+1.5”5'52.8”5'52.6”5'52.7”2'25.3”2'24.4*+0.9”+1.3"6'13.7”6'13.5”6'13.6”2'46.2”2'45.0”+1.2”+1.6”6'34.4”6'34.2"6'34.3”3'6.9”3'5.8”+1.1"+1.5”6'55.0~6'54.4"6'54.7"3'27.3”3'26.3”+1.0”+1.4”量块尺寸按自准直仪读数各点对零点的读数差标准角度误差累积误差正反平均6'55.5”0.0”0.0”0.0”7'16.0”7'16.0”20.6”20.6”0.0”7'37.0”7'37.1”41.7”41.3”+0.4”+1.8”7'57.6”7'57.8”1'2.4”8'18.6”1'23.1”1'22.5”+0.6”+2.0”8'39.2”8'39.6”8'39.4”1'44.0”1'43.1”8'59.8”8'59.9”2'4.4”+0.6”9'20.8”9'20.4”9'20.6”2'24.4”+0.8”9'41.6”9'41.2”9'41.4”2'46.0”2'45.0”+1.0”+2.4”102.1”3'5.6”+1.1”+2.5”从表中可得0～10'内的示值误差为：2.5"-(-0.4")=2.9量块尺寸按自准直仪读数(格)各点对零点的读数差(格)标准角度(格)误差(格)累积误差(格)正反平均500.5500.2500.3520.7520.0520.4540.7541.0540.840.540.0+0.5+0.5560.3561.0560.660.360.0+0.3+0.3580.2580.5580.480.180.0+0.1+0.1599.8600.4600.199.8-0.2-0.2620.0620.0620.0-0.3640.0640.3640.2-0.1-0.1659.8660.5660.2-0.1-0.1680.0680.5680.2-0.1-0.1699.8200.0-0.3-0.3量块尺寸按自准直仪读数(格)各点对零点的读数差(格)标准角度(格)误差(格)累积误差(格)正反平均量块尺寸按自准直仪读数(格)各点对零点的读数差(格)标准角度(格)误差(格)累积误差(格)正反平均900.2900.0900.1-0.3920.9920.2920.6940.5940.3940.440.340.0960.6960.0960.3-0.1980.2980.4980.3-0.1999.5999.9-0.2-0.5-0.1-0.1-0.1200.3200.0表D.40.005mm/m平直度检查仪示值误差检定记录量块尺寸按自准直仪读数各点对零点的读数差(格)标准角度(格)误差(格)累积误差(格)正反平均表D