薄膜生长原理.

薄膜生长原理.Tag内容描述：<p>1、主要参考书：薄膜技术与薄膜材料,田民波(2006,清华大学出版社)薄膜生长，吴自勤、王兵，科学出版社MaterialsScienceofThinFilms，MiltonOhring,AcademicPress,2002IntroductiontoSurfaceandThinFilmProcesses，JohnA.Venables,世界图书出版公司或,第二讲薄膜材料的形核与生长,从人类开始制作陶瓷器。</p><p>2、薄膜与表面物理 1 第四章再构表面和吸附表面 2 第四章再构表面和吸附表面 表面的出现破坏了晶体的三维平移对称性 因此它本身就是一种晶体缺陷 表面的出现伴随着大量悬键的出现 为了降低表面能 表面上原子会改变其组。</p><p>3、薄膜的形成过程和生长模型 薄膜的形成过程是指： 形成稳定核之后的过程。 薄膜生长模式是指：薄膜形成的宏观形式。 成长有三种模式： 岛状生长形式； 层状生长形式； 层岛结合形式。,薄膜的形成过程可分为四个主要阶段 岛状阶段 在透射电子显微镜观察过的薄膜形成过程照片中，能观测到最小核的尺寸约为23nm左右。在核进一步长大变成小岛过程中，平行于基体表面方向的生长速度大于垂直方向的生长速度。这是因为核的长。</p><p>4、薄膜与表面物理 1 上课课件 第四章再构表面和吸附表面 2 上课课件 第四章再构表面和吸附表面 表面的出现破坏了晶体的三维平移对称性 因此它本身就是一种晶体缺陷 表面的出现伴随着大量悬键的出现 为了降低表面能 表面上原子会改变其组态力图使表面能有所降低 发生弛豫和再构 3 上课课件 第四章再构表面和吸附表面 表面的几层原子之间的距离发生变化以降低表面能的现象叫表面弛豫现象 表面原子重新成键 从而改。</p><p>5、薄膜生长的基本过程,热力学：判断过程是否能进行动力学：过程怎么进行,热力学平衡的时候薄膜不能生长,薄膜生长的成核长大动力学,吸附、脱附与扩散之间的关系成核长大的动力学起始沉积过程的分类成核率稳定晶核密度。</p><p>6、薄膜的形成过程和生长模型薄膜的形成过程是指：形成稳定核之后的过程。薄膜生长模式是指：薄膜形成的宏观形式。成长有三种模式：岛状生长形式；层状生长形式；层岛结合形式。,薄膜的形成过程可分为四个主要阶段岛状阶段在透射电子显微镜观察过的薄膜形成过程照片中，能观测到最小核的尺寸约为23nm左右。在核进一步长大变成小岛过程中，平行于基体表面方向的生长速度大于垂直方向的生长速度。这是因为核的长大主要是由于基体。</p><p>7、薄膜与表面物理,第十章金属薄膜的生长,第十章金属薄膜的生长,相对于半导体和氧化物薄膜，金属薄膜的生长最为简单。本章将介绍金属超薄膜的生长过程和多层金属膜的生长。,10.1金属超薄膜的成核过程,根据第九章成核理论，临界晶核的原子数与成膜温度有关。在较低温度下，临界晶核可以是单个增原子，而二聚体一般就是稳定晶核。由式(9.16)，如果在实验上测得成核率和R2成正比，则此时的临界晶核只包含一个原子。</p><p>8、薄膜与表面物理,第四章再构表面和吸附表面,第四章再构表面和吸附表面,表面的出现破坏了晶体的三维平移对称性，因此它本身就是一种晶体缺陷。表面的出现伴随着大量悬键的出现。为了降低表面能，表面上原子会改变其组态力图使表面能有所降低。发生弛豫和再构。,第四章再构表面和吸附表面,表面的几层原子之间的距离发生变化以降低表面能的现象叫表面弛豫现象。表面原子重新成键、从而改变表面的平移对称性，形成再构表面的现象叫。</p><p>9、薄膜的形成过程和生长模型 薄膜的形成过程是指： 形成稳定核之后的过程。 薄膜生长模式是指：薄膜形成的宏观形式。 成长有三种模式： 岛状生长形式； 层状生长形式； 层岛结合形式。,薄膜的形成过程可分为四个主要阶段 岛状阶段 在透射电子显微镜观察过的薄膜形成过程照片中，能观测到最小核的尺寸约为23nm左右。在核进一步长大变成小岛过程中，平行于基体表面方向的生长速度大于垂直方向的生长速度。这是因为核的长大主要是由于基体表面上吸附原子的扩散迁移碰撞结合，而不是入射蒸发气相原子碰撞结合决定的。 例如，以MoS2为基片，在400。</p><p>10、1 第五章薄膜生长与薄膜结构 2 什么是薄膜 厚度小于1 m的膜 薄膜生长概述 薄膜形成主要过程有 吸附 扩散 凝结 成核 生长 3 吸附按吸附作用力不同 将吸附分为物理吸附与化学吸附 薄膜的形成过程 此外 物理吸附受温度影响小 受吸附剂的比表面积和细孔分布影响较大 而化学吸附受温度影响大 受表面化学性质影响大 4 真空蒸发过程中吸附的位能曲线 吸附 薄膜的形成过程 5 表面扩散 薄膜的形成过程。</p><p>11、1,第五章薄膜生长与薄膜结构,2,什么是薄膜：厚度小于1m的膜,薄膜生长概述,薄膜形成主要过程有：吸附、扩散、凝结、成核、生长,3,吸附按吸附作用力不同，将吸附分为物理吸附与化学吸附,薄膜的形成过程,此外，物理吸附受温度影响小，受吸附剂的比表面积和细孔分布影响较大；而化学吸附受温度影响大，受表面化学性质影响大。,4,真空蒸发过程中吸附的位能曲线,吸附,薄膜的形成过程,5,表面扩散,薄膜的形成过程。</p>