等离子体产生技术PPT课件

等离子体产生技术PPT课件Tag内容描述：<p>1、等离子体产生技术2,本讲安排,等离子体如何形成 生成等离子体的方法直流放电理论,等离子体的形成,汤生放电原理 帕邢定律 等离子体形成过程,汤生放电原理,作用与作用 电流I随电极间的距离x呈指数函数增长I=I0ex 系数依赖于气体压强p和电场E： 作用 离子在高能状态下轰击固体表面使表面发射电子，即二次电子发射。,帕邢定律 Paschen,18651947,德国,帕邢定律的内容： 气体击穿电压由气体压强 p 和电极间距d的乘积( pd )所决定，并有极小值。,汤生理论对帕邢定律的解释,气体发生击穿后是如何趋向稳定的等离子体状态？,以刚击穿时的时刻为t=0，。</p><p>2、等离子体产生技术1,等离子体的生成方法,直流放电交流放电,直流辉光放电空心阴阴放电直流脉冲放电电弧放电磁控管放电,电容耦合放电感应耦合放电介质阻挡放电微波放电表面波放电,本讲安排,等离子体的生成方法交流。</p><p>3、等离子体产生技术1,等离子体的生成方法,直流放电交流放电,直流辉光放电空心阴阴放电直流脉冲放电电弧放电磁控管放电,电容耦合放电感应耦合放电介质阻挡放电微波放电表面波放电,本讲安排,等离子体的生成方法交流放电电容耦合放电感应耦合放电,为什么选择交流放电？,直流放电存在的问题电极材料损伤存在电弧放电等离子体密度不易调节工业等离子体应用时等离子体的参数要求温度低密度高覆盖面大,为什么选择交流放电。</p><p>4、等离子体产生技术1,等离子体的生成方法,直流放电交流放电,直流辉光放电空心阴阴放电直流脉冲放电电弧放电磁控管放电,电容耦合放电感应耦合放电介质阻挡放电微波放电表面波放电,本讲安排,等离子体的生成方法交流。</p><p>5、等离子体产生技术2,本讲安排,等离子体如何形成生成等离子体的方法直流放电理论,等离子体的形成,汤生放电原理帕邢定律等离子体形成过程,汤生放电原理,作用与作用电流I随电极间的距离x呈指数函数增长I=I0ex系数依赖于气体压强p和电场E：作用离子在高能状态下轰击固体表面使表面发射电子，即二次电子发射。,帕邢定律Paschen,18651947,德国,帕邢定律的内容：气体击穿电压由气体压。</p><p>6、等离子体产生技术1 等离子体的生成方法 直流放电交流放电 直流辉光放电空心阴阴放电直流脉冲放电电弧放电磁控管放电 电容耦合放电感应耦合放电介质阻挡放电微波放电表面波放电 本讲安排 等离子体的生成方法 交流放电电容耦合放电感应耦合放电 为什么选择交流放电 直流放电存在的问题电极材料损伤存在电弧放电等离子体密度不易调节工业等离子体应用时等离子体的参数要求温度低密度高覆盖面大 为什么选择交流放电 高频放。</p><p>7、等离子体的应用,反应离子刻蚀：RIE、ICP,薄膜沉积：等离子体增强化学气相沉积(PECVD)微波增强化学气相沉积(MPECVD),1,在等离子体气体中，以电子碰撞双原子分子XY为例，若碰撞能量小，则会发生弹性碰撞，电子的动能不。</p><p>8、等离子体产生技术1 1 等离子体的生成方法 直流放电交流放电 直流辉光放电空心阴阴放电直流脉冲放电电弧放电磁控管放电 电容耦合放电感应耦合放电介质阻挡放电微波放电表面波放电 2 本讲安排 等离子体的生成方法 交流放电电容耦合放电感应耦合放电 3 为什么选择交流放电 直流放电存在的问题电极材料损伤存在电弧放电等离子体密度不易调节工业等离子体应用时等离子体的参数要求温度低密度高覆盖面大 4 为什么选择。</p><p>9、等离子体清洗技术,等离子体清洗技术,一、等离子体简述 二、等离子体清洗 三、等离子清洗技术展望,一、等离子体简述,物质六态 常见而又稀少的固液气三态 宇宙中广泛存在的第四态等离子体 物质第五态超级大原子 物质第六态费米凝聚态,一、等离子体简述,等离子体 也称为“超气体”或“电浆体”，是一种中性、高能量、离子化的气体，包含中性原子或分子、带电离子和自由电子。 等离子体是具有高位能动能的气体团，等离子体的总带电量仍是中性。 等离子体和普通气体的最大区别是它是一种电离气体，但没有确定形状和体积，具有流动性。,一、等离。</p><p>10、您可以选择、或者、或者、或者、或者、或者、或者、或者、或者、或者、或者、或者、或者、或者、或者、或者、或者、或者、或者、或者、或者、或者、或者、或者、或者、或者、或者、或者、或者、或者、或者、或者、或者OTCQX: ANRGF ) .我们是谁？ 我们的重点(100%具有)，我们拥有业界领先的等离子气化技术，通过将各种废物和生物转化为高附加价值的能源，提供以电力、乙醇、柴油和合成气等为工业用途的清洁。</p><p>11、,放电等离子体烧结技术,教学课件,.,目录,9.1SPS合成技术的发展,9.2等离子体烧结技术原理,9.3等离子体放电烧结的工艺,9.4等离子体放电烧结在应用举例,.,9.1SPS合成技术的发展,最初实现放电产生“等离子体”的人是以发现电磁感应法则而知名的法拉第（M.Farady），他最早发现在低压气体中放电可以分别观测到相当大的发光区域和不发光的暗区。,法拉第,.,I.Langmuir又进一步。</p><p>12、1,放电等离子体烧结技术,2,目录,1 SPS合成技术的发展,2 等离子体烧结技术原理,3 等离子体放电烧结的工艺,4 等离子体放电烧结在应用举例,3,1930年，美国科学家提出利用等离子体脉冲电流烧结原理，但是直到1965年，脉冲电流烧结技术才在美、日等国得到应用。日本获得了SPS技术的专利，但当时未能解决该技术存在的生产效率低等问题，因此SPS技术没有得到推广应用。,SPS技术的推广应用是从上个世纪80年代末期开始的。 1988年日本研制出第一台工业型SPS装置，并在新材料研究领域内推广应用。 1990年以后，日本推出了可用于工业生产的SPS第三代。</p><p>13、,1,等离子体水处理技术,种珊2010.4.9,.,2,等离子体简介等离子体氧化机理水处理等离子体类型研究现状发展趋势,主要内容,.,3,等离子体是物质第四态，是由大量的自由电子和离子组成、且在整体上表现为电中性的电离气体。,00C,1000C,100000C,什么是等离子体,.,4,宇宙中90物质处于等离子体态,星云,极光,太阳表面,闪电,.,5,美国宇航局提供的照片-南极上空。</p><p>14、2 0 0 2年 1 2月 高 电 压 技 术 第 2 8卷总 1 2 0期 5 7 介质 阻挡放 电产 生等 离子体 技术研 究 Appl i c a t i o n Re s e a r c h o f Di e l e c t r i c Ba r r i e r Di s c h a r g e t o Pr od uc e Pl a s ma 庄 洪春 孙鹞 鸿 彭 燕 昌 张 维 严。</p><p>15、课程 材料合成与制备 SparkPlasmaSintering SPS 放电等离子体烧结技术 1 目录 放电等离子烧结 SPS 简介放电等离子烧结 SPS 的基本原理放电等离子烧结 SPS 的优缺点放电等离子烧结 SPS 的应用 2 放电等离子体烧结 SPS。</p>