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文档简介

等离子体的应用,反应离子刻蚀：RIE、ICP,薄膜沉积：等离子体增强化学气相沉积(PECVD)微波增强化学气相沉积(MPECVD),1,在等离子体气体中，以电子碰撞双原子分子XY为例，若碰撞能量小，则会发生弹性碰撞，电子的动能不会改变。若碰撞能量很高，分子中绕核运动的低能电子，就会在碰撞中获得足够的能量，被激发至离核较远的高能级轨道上运动。我们把这种高能级状态的分子称为激发态分子，用XY*表示。激发态分子中的电子从高能级跳回到低能级时，便以发光的形式发出多余能量(辉光放电)，这个过程称为“退激”。,等离子体的产生,2,若碰撞电子能量足够高，电子吸收的能量就可以使其脱离核的束缚而成为自由电子，也就是分子发生了“电离”，用XY+表示。电子对分子XY的碰撞也可以使之分解成为X原子和Y原子（离解/裂解）。用“：”表示分子中成键的电子对，离解过程可以表示为X:YX+Y。这样带有未成对电子的X，Y就容易发生化学反应，故称为化学活性或基团。,3,等离子体特性,4,
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