二氯二氢硅

二氯二氢硅Tag内容描述：<p>1、特 气 制 备 二 氯 二 氢 硅 的 制 备 化工 部光明 化工研 究所杜继 勘 一 、 刖 舌 四氯化硅在半导体工 业中作为外延淀积 硅 源， 虽然工艺 早 巳趋 于完善 ，但 至今存 在 无 法克 服 的技术 问题， 如外延 淀。</p><p>2、二氯二氢硅的物化性和危害及防范措施 3.制法： (1)硅烷或一氯硅烷在三氯化铝存在下与氯化氢反应。(2)在高温下，硅与氢及氯化氢反应，再精馏提纯。 二、理化性质 分子量：101.010熔点：-122.0、沸点(101.325kPa)：8。</p><p>3、： 6 特种气体贮运 、应用、安全与特性 别 名 英文名称 分 子 式 硅烷 、砷烷 、二氯二氢硅 硅烷 梁 国 仑 一 一 ( 化工部光 明化工研竞设计 皖大连1 1 6 0 3 1 ) 甲硅烷 ；四氢化硅 S i l a n e：M o。</p><p>4、二氯二氢硅危险特性表 标 识 中文名 二氯硅烷 分子式 H2Cl2Si 分子量 101 01 英文名 dichlorosilane UN编号 危险性类别 危规号 IMDG规则页码 CAS号 4109 96 0 理化性质 外观与性状 无色气体 熔点 122 相对密度 空气。</p><p>5、二氯二氢硅的物化性和危害及防范二氯二氢硅的物化性和危害及防范 措施措施 1 别名 英文名 二氯硅烷 DichIorosilane 2 用途 电子气 外延 化学气相淀积 3 制法 1 硅烷或一氯硅烷在三氯化铝存在下与氯化氢反应 2 在高温下 硅与氢及氯化氢反应 再精馏提纯 二 理化性质 分子量 101 010 熔点 122 0 沸点 101 325kPa 8 2 液体密度 0 101 325kPa。</p>