功能薄膜材料

功能薄膜材料Tag内容描述：<p>1、A b s t r a c t I I - V Is e m i c o n d u c t o rm a t e r i a lz i n co x i d eh a sb e e nw i d e l y a p p l i e d i nt h ef i e l do f o p t o e l e c t r o n i c sf o rU V b l u el i g h te m i t t i n gd e v i c e sa n dl a s e r s ，p i e z o e l e c t r i ct r a n s d u c e r sa n d s e n s o r sd u et oi t se x c e l l e n tp e r f o r m a n c e H o w e v e r ，t h ea s g r o w nz i n co x i d et h i nf i l mi s s u r f a c er o u g h n e s sa n dt os o m ee x t e n ta f f e c t st h o。</p><p>2、第六章 金属薄膜材料,薄膜材料的制备方法简介 金属薄膜材料的形成及结构 主要薄膜功能金属材料,第一节 薄膜材料制备方法简介,功能薄膜材料,1、物理气相沉积（PVD）,采用物理方法使物质的原子或分子逸出，然后沉积在基片上形成薄膜的工艺 根据使物质的逸出方法不同，可分为蒸镀、溅射和离子镀,（1）真空蒸镀,把待镀的基片置于真空室内，通过加热使蒸发材料气化（或升华）而沉积到某一温度基片的表面上，从而形成一层薄膜，这一工艺称为真空蒸镀法,蒸发源可分为：电阻加热、电子束加热和激光加热等,功能薄膜材料,（2）溅射（Sputtering）,当。</p><p>3、薄膜材料与薄膜技术,王成新,薄膜材料的简单分类,薄膜材料,涂层或厚膜,薄膜(1um),材料保护涂层,材料装饰涂层,光电子学薄膜,微电子学薄膜,其它功能薄膜,(1um),(力,热,磁,生物等),薄膜材料的制备技术,薄膜材料的制备技术,机械或化学方法,真空技术(薄膜),喷涂,电镀,物理气相沉积技术,(涂层),化学气相沉积技术,电化学方法(薄膜),薄膜材料的表征,薄膜材料的表征,结构,物性,组份,电子结构,光学性质,电学性质,力,热,磁,生物等性质,晶体结构,主要内容,真空技术基础 薄膜制备的化学方法 薄膜制备的物理方法 薄膜的形成与生长 薄膜表征 薄膜材料,真空。</p><p>4、第六章金属薄膜材料,薄膜材料的制备方法简介金属薄膜材料的形成及结构主要薄膜功能金属材料,第一节薄膜材料制备方法简介,功能薄膜材料,1、物理气相沉积（PVD）,采用物理方法使物质的原子或分子逸出，然后沉积在基片上形成薄膜的工艺根据使物质的逸出方法不同，可分为蒸镀、溅射和离子镀,（1）真空蒸镀,把待镀的基片置于真空室内，通过加热使蒸发材料气化（或升华）而沉积到某一温度基片的表面上，从而形成一层薄膜。</p><p>5、第六章 金属薄膜材料,薄膜材料的制备方法简介 金属薄膜材料的形成及结构 主要薄膜功能金属材料,第一节 薄膜材料制备方法简介,功能薄膜材料,1、物理气相沉积（PVD）,采用物理方法使物质的原子或分子逸出，然后沉积在基片上形成薄膜的工艺 根据使物质的逸出方法不同，可分为蒸镀、溅射和离子镀,（1）真空蒸镀,把待镀的基片置于真空室内，通过加热使蒸发材料气化（或升华）而沉积到某一温度基片的表面上，从而形。</p>