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文档简介

薄膜材料与薄膜技术,王成新,薄膜材料的简单分类,薄膜材料,涂层或厚膜,薄膜(1um),材料保护涂层,材料装饰涂层,光电子学薄膜,微电子学薄膜,其它功能薄膜,(1um),(力,热,磁,生物等),薄膜材料的制备技术,薄膜材料的制备技术,机械或化学方法,真空技术(薄膜),喷涂,电镀,物理气相沉积技术,(涂层),化学气相沉积技术,电化学方法(薄膜),薄膜材料的表征,薄膜材料的表征,结构,物性,组份,电子结构,光学性质,电学性质,力,热,磁,生物等性质,晶体结构,主要内容,真空技术基础 薄膜制备的化学方法 薄膜制备的物理方法 薄膜的形成与生长 薄膜表征 薄膜材料,真空技术基础,真空的基本知识 真空的获得 真空的测量,真空度的单位,自然真空：宇宙空间所存在的真空； 人为真空：用真空泵抽调容器中的气体所获得的真空。,几种压强单位的换算关系,真空区域的划分,粗真空：1105 1102 Pa。 低真空： 1102 1101 Pa。 高真空： 1101 1106 Pa。 超高真空： 1106 Pa。,气体的吸附和脱附,气体在固体表面 的吸附,物理吸附,化学吸附,分子作用,选择性强,相互作用强,高温有效,无选择性,低温有效,真空泵的分类,常用真空泵 的分类,气体传输泵,气体捕获泵,扩散泵,钛升华泵,溅射离子泵,低温冷凝泵,机械泵,分子泵,真空的获得,几种常用真空泵的工作压强范围,旋片式机械真空泵,旋片泵结构示意图,旋片泵工作原理图,其他两种真空泵,分子泵结构示意图,低温泵结构示意图,真空的测量,真空测量,绝对真空计,相对真空计,U型压力计,压缩式真空计,放电真空计,热传导真空计,电离真空计,电阻真空计,规管中的加热灯丝是电阻温度系数较大的钨丝或铂丝，热丝电阻连接惠斯顿电桥，并作为电桥的一个臂，低压强下加热时，灯丝所产生的热量Q可表示为：Q=Q1+Q2,式中Q1是灯丝辐射的热量，与灯丝温度有关；Q2是气体分子碰撞灯丝而带走的热量，大小与气
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