华通精密线路板公司电脑制造课无尘室管理制度（p 32页)

華通精密線路板惠州有限公司辦法規範文件名稱制造一課無塵室管理辦法編號發行日期年月日參考規章2I0000014A1有效日期年月日版序A1B1生效日2005117沿革新增變更沿用廢止總頁數11頁項次頁次項次頁次一、背景1八、作業系統流程圖2二、理念政策1九、內容說明27三、目的1十、附件711四、適用範圍1五、權責單位1六、相關文件1內容摘要說明七、定義1單位簽章單位簽章單位簽章單位簽章A10A10J00J00會審單位分發單位廠區/對應單位文件分送目的文件分送不列入管制CM/CT/CC/不必分送1請建立相應或相同的SOP2僅供參考3其他1請建立相應或相同的SOP2僅供參考3其他請說明制定單位制程工程部工程一課制定日期2005年9月29日製作初審複審經副理廠長/協理處長/副總總經理馬定安核准制造一課無塵室管理辦法IIB1傳閱背景沿革一覽表日期版序新增或修訂背景敘述修訂者制造一課無塵室管理辦法IIB12005/1/172005/9/29A1B1無塵室之環境對曝光及線路品質影響較大，故需對其進行有效管控，建立該規範，以便現場有作業依據。因有效保持無塵室清潔度，新增無塵室戴無塵口罩及無塵鞋套使現場能照著做，並有依可循此SOP原自于CM/CC移轉；V此SOP為CF廠自行建立馬定安馬定安修訂一覽表制造一課無塵室管理辦法IIIB1日期版序章節段落修訂內容敘述2005/1/172005/9/29A1B1ALLP331新增新增無塵室戴無塵口罩及無塵鞋套製造一課無塵室管理辦法一、背景公司目前生產軟板等產品，必須建構更高等級的無塵室10,000級，以提昇良率，增進公司整體競爭力。二、理念政策建構及管理能滿足客戶產品需求之無塵室。三、目的維持無塵室內人員、機台、產品、物料之清潔，以確保生產品質之穩定性。四、適用範圍適用華通精密線路板惠州有限公司制造一課無塵室。五、權責單位各無塵室生產單位負責本規定之執行及一階自我查核是否照著規定做六、相關文件無七、定義1、FMFOREIGNMATERIAL外來異物指所有可能落在板面上，造成板子報廢的灰塵或異物，皆統稱為FM。2、無塵室等級之定義無塵室等級是依美國聯邦標準209C,以空氣中每立方英呎內所測得落塵顆粒,粒徑在05M以上之粒子總數來判斷如下表。例如10,000級無塵室其05M以上之粒子總數須少於10,000顆。各種大小顆粒所允許的數目上限值無塵室等級01UM02UM03UM05UM5UM1350753010103507530101007503001001000100071000010000703制造一課無塵室等級為10000級八、作業系統流程圖九、內容說明一、人員進出之管理11、10,000級無塵室人員進出流程圖鞋櫃無塵室外無塵衣鞋櫃無塵室各式問題現場工程師召開四功能會議討論解決CFJ將相關規定納入SOP，予以標準化脫鞋穿無塵衣腳踏黏墊腳踏黏墊備註空氣洗塵時1吹氣維持15秒以上,吹完氣後須等至少3秒才能開門進入無塵室。2一次最多只能2人進入，出無塵室亦同。3嚴禁空氣浴室兩邊門同時打開。12、人員管制進入無塵室的人員須經過認證後，才准許進入，包括A該單位之作業人員,技術員,工程師及主管。B負責該單位之保全人員,工務,品管,製程工程師及技術員等。C隸屬於華通公司之其他人員。D維護設備之外包廠商。（廠商除須經過認證許可外，事先尚須徵求單位主管同意）。E有緊急事故時,警衛及值班主管可進入。二、物品進出之管理21、物品進出相關規定1、無塵室清潔用具於使用時才進無塵室10K級無塵室空間不足者不在此限，無塵室不可設置雜物堆置區。2、紙箱包裝之物品須事先拆箱後，再將物品經傳遞箱傳送至無塵室內除裝底片的紙穿無塵鞋套/無塵口罩/浴帽空氣洗塵無塵室箱外其它紙箱不可進無塵室。3、鉛筆,橡皮擦,紙箱,保麗龍,一般紙類等易掉屑物品，禁止攜入無塵室。4、無塵紙若有破損須立即更換，不可使用裁切後之無塵紙會起毛邊。5、不掉屑毛筆可在無塵室內使用，但若有掉毛情況應立即更換。6、搬遷設備進出無塵室前須先經工程師以上主管的同意，安排於非生產日搬遷，以避免因開啟設備門造成潔淨度下降，影響作業品質。無塵室須設BUFFERZONE緩衝區，先將設備於BUFFERZONE清潔後靜置至少30分鐘再送入。7、搬遷設備進出無塵室,高架地板表面須先鋪設已清潔過之材料,避免地板表面刮傷，或以油壓板車等工具進行設備之移動及定位,才不會造成地板被損傷。8、更衣室內應有保全人員維修專用之工具箱，且其內的工具不可帶出無塵室。9、任何物品於無塵室內時，應儘量避免有碰撞或敲打的情況發生，以免FM產生，污染無塵室。10、私人物品不可攜入。11、其余非必要物品，避免帶入無塵室內。22、物品進入無塵室前之清潔規定221、物品清潔順序1用吸塵器吸用無塵室專用吸塵器將物品的各部位吸干淨一般運用於較大件物品例如各項機台設備。小件物品不在此限。（真空吸塵器於使用前須確認其吸塵效果能達到所要求之清潔水準）2用無塵紙沾酒精擦拭將物品的各部位仔細擦拭干淨。222、物品清潔規定1有塑膠外袋包裝的物品，例如無塵佈,手套,等，需將塑膠外袋清潔干淨，才可進無塵室。2保全用工具需逐項用無塵紙沾酒精擦拭干淨後，才可帶進無塵室內。3白紙墊紙,若發現其上有殘膠或污染，應即刻清除或報廢勿用，若嚴重刮傷則予以報廢。4所有設備/儀器/製具/承載盤進無塵室前，需按清潔順序清潔乾淨。5進無塵室前的各項物品，若有以台車或其他載具運送者，應確認運送的台車與載具為乾淨的，避免將FM帶進無塵室內。三、無塵衣、鞋之管理31、無塵衣之管理311、無塵衣之穿著及脫除流程A、無塵衣穿著流程髮罩無塵衣無塵口罩無塵鞋套無塵手套指套B、無塵衣脫除流程無塵鞋套無塵手套無塵衣髮罩無塵口罩312、無塵衣之穿著規定A、無塵衣物（包括無塵衣、無塵褲、無塵鞋套、口罩、髮罩、手套）不得穿出無塵室外。B、頭髮不可露出帽外，可用髮罩管理。C、無塵衣之拉鏈須拉至定位，頸部之扣子須扣上。D、對於手軸、膝蓋部分，保全人員施工須要時，可穿袖套，護膝套，避免弄髒無塵衣。E、無塵衣之袖子及褲管禁止拉高,裡面的衣服不可露出來。313、無塵衣之清洗及更換A清洗頻率每週一次。特別髒者則須先行更換。B清洗方式由專人收集,統一送交外包廠商清洗。C修補更換時機無塵衣有破損,起毛球,或手腕處鬆緊帶鬆脫者,予以修補或更換。另外使用時間超過兩年使用期限，一律更換新無塵衣。D作業後無塵室內之作業人員，在每日下班前要檢查自己所穿的無塵衣，如果發現有嚴重沾漆或無塵衣有脫線,起毛球,或手腕處鬆緊帶鬆脫現象時，要立即向領班反應,對無塵衣進行修補或更換。314、無塵衣之保管及分配A無塵室內作業人員,每人配發兩套無塵衣,以便日常更換及清洗。B無塵衣、鞋專用櫃內，除無塵衣鞋外,禁止放置其他物品。32、無塵鞋套之管理321、無塵鞋套之穿著A穿著無塵鞋套，必須完全穿入，不得露出腳後跟。322、無塵鞋套之清洗及更換A清洗頻率每二週一次。B更換時機無塵鞋套有破損,立即修補或換新無塵鞋套。323、無塵鞋套之保管及分配無塵室內作業人員,每人配發兩雙無塵鞋套,以便日常更換及清洗。33、無塵手套之管理A使用不起毛球無塵手套，不可使用易掉纖維、起毛球之棉質手套。B戴手套時不可碰觸到手套的手指及手掌部份,避免手上油脂沾到手套上污染生產之基板。C乳膠手套若破裂，應立即更換新手套。D現場作業若有需求,可截去無塵手套之指節部份，外面再套穿一層乳膠手套作業。E保全員進入無塵室仍需戴手套，但在設備維修保養時，若戴手套有礙執行拆卸、安裝如拆裝墊片、綁膠帶等，可脫下手套，但僅限於工作範圍1公尺內，離開工作範圍1公尺即需戴上手套。F保全人員或高溫作業區作業人員，應穿戴不掉屑之耐熱無塵手套。四、無塵室作業與施工規定41、無塵室禁止事項1抽煙,吃零食,吃檳榔,喝飲料等。2傳遞箱及空氣浴室禁止雙向門同時開啟。3在無塵室內跑步，及做不必要的動作。4私自將HEPA出入風口封閉。5沒穿無塵衣或未按無塵衣穿著規定就進入無塵室如緊急事故則不在此限。42、裝機、施工之作業規定1裝機期間，施工負責人須負責維持該區週遭之清潔，並告知施工人員相關注意事項，避免對無塵室環境造成污染。每日需定時檢查。2機台底部易累積灰塵雜物，須特別注意。3任何人於無塵室內作業或工作告一段落，離開無塵室前，須將週邊的工作環境、物品、機械、儀器等清潔干淨，由領班查核後方可離開。4零件備品須放置固定位置，紙箱不可攜入，裝機完畢後剩餘之零件備品送回倉庫；其它規定由設備裝機施工管理辦法規定之。五、無塵室環境、設備等級要求51、設備防塵規定1所有無塵室內設備，其抽風、排風之出入口處應裝設擋風罩，避免揚塵造成污染度上升。2所有無塵室內設備附屬之收、放板機須裝設壓克力材質之防塵門罩，避免FM掉落或揚起沾附在板面上，造成板子報廢。六、無塵室環境、設備及物品之清潔與更換頻率規定61、清潔方法與清潔、更換頻率規定（不使用黏性滾輪之單位可用無塵紙沾酒精清潔）項目清潔方法頻率無塵室機台含閒置設備內外部工作台面、承載盤、傳動滾輪、輸送皮帶、轉板器等與板子直接接觸區域A以無塵紙沾酒精擦拭無塵紙邊緣可清潔小的角落每班一次無塵室治具、防塵罩等非與板子直接接觸區域A以無塵紙沾酒精擦拭無塵紙邊緣可清潔小的角落每班一次腳踏黏墊進無塵室空氣浴前後,腳踏下方之黏塵紙,將鞋底異物黏除每班更換一次更衣室之儲櫃含鞋櫃清潔以不掉屑擦拭紙沾酒精擦拭，含櫃子頂部及櫃子內格。不掉屑標準擦拭紙直接抖動,無目視可見毛屑掉落每班一次更衣室之掛衣架清潔以不掉屑擦拭紙沾酒精擦拭每班一次更衣室之垃圾筒清潔清潔垃圾筒之垃圾並更換新的垃圾袋每班一次空氣浴室之清潔（包括玻璃及空氣浴室上方清潔）以黏性滾輪清潔滾輪使用前確認已將異物黏乾淨每班一次載具輪子黏墊於無塵室內地面設置一處除塵區台車必經之處,將腳踏黏塵黏在地板上,將以黏除輪子上的灰塵或異物每班一次無塵室專用吸塵器主濾網以水清洗並風乾或以空氣槍吹乾每週清潔一次傳遞窗以不掉屑擦拭紙沾酒精擦拭每週一次無塵室地板將地板無塵室專用吸塵器清潔滾輪將地板異物清除，地面異物以透明可撕式黏性滾輪清潔,若無法清除時則以無塵紙沾酒精擦拭每月一次無塵室天花板以手把或拖把式透明可撕式黏性滾輪清潔黏膠撕換頻率若黏膠上異物分佈面積超過50，則予以撕除更換。注意事項此黏膠不可用來清潔板面，每月一次以防板面沾膠。無塵室牆壁以透明可撕式黏性滾輪清潔每月一次無塵室玻璃以無塵紙沾酒精擦拭每月一次62、清潔後復工方式1各單位每月清完天花板、地板和牆壁後，需以空氣粒子計數器確認05UM與5UM以上顆粒數符合10,000級無塵室規格後，才可恢復生產。63、現場定期查檢表關於無塵室內須定期性作業及物品更換之頻率由CHECKLIST查檢表列出,並附於每日工作報表中，由領班負責檢查。64、注意事項1無塵擦拭布清潔方式如下使用無塵擦拭清潔時,清潔方向必須以單一方向為主，不可反覆來回擦拭。2無塵室內所有物料之存放,須標示位置及擺放整齊。3無塵室設備若有生銹現象，則以無塵紙沾酒精將生銹部分清除。4無塵室專用之吸塵器，須使用專用紙袋過濾，其所吸入之空氣先經過主濾網，然後經過吸塵器內部HEPA03M,9997,9L過濾後方可排出，而排出之空氣經由導氣管緩衝，由四面八方排出，可避免揚塵，故須使用其專用之吸塵器。5收拾垃圾時,禁止將垃圾桶互相傾倒,以免激揚塵埃,須將各垃圾桶內之塑膠袋捆紮後送出。6作業中造成之廢棄物應隨時丟入垃圾桶內,以維護無塵室之整潔。7垃圾桶須加蓋子，其放置位置須遠離生產設備，防止揚塵造成污染。8更衣室及無塵室內之垃圾袋不可露出垃圾筒外。七、無塵室溫溼度控制及異常處理方法71、無塵室溫溼度控制溫度212相對濕度555。溫濕度點檢頻率每班一次72、溫溼度異常處理方法1當發現溫溼度異常，應進行確認並找出原因。恆溫恆濕控制異常處理方法見附件二。2當溫溼度異常，於該段時間內所生產之批號應予記錄，並加以追蹤，以確保品質。3對於底片之漲縮須特別注意。依底片供應商資料，當溫度每升高1，底片尺寸將漲大萬分之018；而濕度每增減百分之一，則底片尺寸也將隨之漲縮萬分之009。八、無塵室環境變動施工後確認方式81、背景當無塵室環境有所變動時，為確保產品品質，必須於復工前對環境再做確認，以防FM問題造成板子報廢率提高。82、確認時機A機台搬出入無塵室後。B無塵室內機台移位完成後。C無塵室內例行性環境大打掃將高架地板掀起後。D天花板上方風管破裂OR其他因素導致無塵室內FM重大異常後。83、使用工具為即時測知環境清潔度，以讓設備於最短時間內恢復生產，故需使用空氣落塵計數器PARTICLECOUNTER，測定每平方呎內的FM顆數是否合乎標準。84、確認辦法與異常處理方式A設備搬遷完成OR異常解決後，向品管單位商借空氣粒子計數器需先請品管單位人員確認是否已經過校正。B於現場設備搬遷所經路線週遭區域，或異常範圍內，選取數點量測，觀察05UM與5UM以上顆粒數是否符合10,000級無塵室規格參考七定義。C若合乎標準，在領班與技術士確認之後，進行首片檢查每個機台，並由領班確認品質OK後才恢復大量生產。D若不合乎標準，且產能需求甚急時，由領班與技術士反映給課長、工程師決定後續處理對策；若產能不急，將設備靜置一小時後再測一次，觀察是否有所改善。E若廠內空氣粒子記數器損壞，則由需求單位立即協調品管單位處理。十附件附件一FMMONITOR異常處理程序RFC附件二無塵室溫溼度異常CHECKLIST附件三無塵室管理自我檢查流程圖附件四10,000級無塵室內可攜入及禁止攜入物品查檢表附件五10,000級無塵室溫濕度及落塵量記錄表表單編號2I0014001附件六無塵室內須定期性作業及更換物品CHECKLIST每天表單編號2I0014002附件七無塵室內須定期性作業及更換物品CHECKLIST每週表單編號2I0014003附件八無塵室內須定期性作業及更換物品CHECKLIST每月4表單編號2I0014004附件九惠州廠設備移入申請表表單編號2I0014005附件十課外人員進出無塵室記錄表表單編號2I0014006附件一FMMONITOR異常處理程序RFCFMMONITOR異常處理程序RFC1、2、3、FM、1、2、1、2、3、HEPA、2、否、1、2、1、ROTCAUSE、2、FM、1、ROTCAUSE2、FM、附件二無塵室溫溼度異常CHECKLIST無塵室溫溼度異常CHECKLIST項次測試項目標準備考1控制系統及元件CHECK溫度212濕度555當控制元件設定值及顯示值出現誤差大於設計值，須比對無塵室內之溫濕度，確認是否為控制元件故障。2冰水進、回水之溫度、壓力CHECK3進、回風壓差指示器顯示值1當初級濾網中級濾網之壓差1INAQ，須先更換初級濾網21INAQ，須再更換中級濾網3HEPA壓差2INAQ，應全面更換HEPA進回風量減少會造成溫濕度控制不穩。附件三無塵室管理自我檢查流程圖無塵室管理自我檢查流程圖NO修訂無塵室管理辦法21YESNO修訂無塵室管理辦法22無塵室管制區域CHECK有無人員進出管理CHECK有無物品進出管理YESNO修訂無塵室管理辦法313233YESNO修訂無塵室管理辦法4142YESNO修訂無塵室管理辦法515253YES是否有無塵室作業規定CHECK有無無塵衣、鞋套管理CHECK有無無塵室清潔管理含FMOK附件四10,000級無塵室內可攜入及禁止攜入物品查檢表10,000級無塵室內可攜入及禁止攜入物品查檢表可攜入物品禁止攜入物品刀片鉛筆剪刀橡皮擦無塵室膠帶紙箱曝光專用筆複寫紙含碳記錄紙護貝一般紙類（非無塵室專用紙）流程單護貝，生產作業報表立可白及立可帶工務維修工具箱操作手冊護貝電路圖護貝其他用於曝光作業之工具無塵室專用工具作業用專用垃圾袋無塵布抹佈布清潔黏紙酒精底片清潔液黏性滾輪無塵室專用吸塵器清潔用其他用於清潔作業之工具無塵室專用工具戒子手帕個人物品右述之個人物品須放置在自己的衣服或褲子的口袋裡面，在無塵室裡面不可以拿出或使用手錶鑰匙衛生紙附件五10,000級無塵室溫濕度及落塵量記錄表表單編號2I001400110,000級無塵室溫濕度及落塵量記錄表課別,無塵室等級級,日期年月日1使用工具落塵量測儀PARTICLECOUNTER2量測頻率每月一次3每次量測完成後，由領班、工程師、課長依序確認簽名後存檔備查。4各無塵室等級標準與異常處理程序請參閱本規範內容。5此表格可依各課實際情況做修改。項目位置微塵量05UM微塵量5UM溫度溼度落塵量溫溼度PS紅字部分為溫溼度異常。藍字部分為溫溼度正常課長領班_附件六無塵室內須定期性作業及更換物品CHECKLIST每天表單編號2I0014002無塵室內須定期性作業及更換物品CHECKLIST每天課別日期/若有依規定作業/更換，請在下表內打V/項目日期日班小夜大夜日班小夜大夜1腳踏黏墊每班至少更換一次2無塵室機台內外部工作台面、傳動滾輪等與板子直接接觸區域每班清潔3無塵室治具、防塵罩等非與板子直接接觸每班清潔4更衣室之儲櫃、鞋櫃等含內部每班清潔5更衣室