负偏压对PET基FC膜结构与性能的影响

安徽工程大学毕业设计（论文）I负偏压对 PET 基 FC 膜结构与性能的影响摘 要聚四氟乙烯具有高度的化学稳定性、极小的吸水率等优异性质而倍受人们的关注，但利用磁控溅射技术，以其为靶材研制高附加值的多功能面料研究极少。本文通过在PET 基体上镀 FC 膜的方法，来制备防水织物。本文采用磁控溅射技术。以聚四氟乙烯为靶材，在 PET 基底上沉积制备氟碳膜防水织物，在功率为 50W，压强为 0.55Pa，溅射时间为 30 分钟的条件下下，以聚脂（PET）为基体，采用磁控溅射的方法在基体上制备 FC 膜。研究在不同梯度的负偏压下，对基体镀膜的表面形貌、镀膜化学成分、以及亲疏水性能的影响。利用扫描电镜(SEM)研究了成膜机理以及 FC 膜的表面形貌，观察了不同负偏压下对氟碳膜表面形貌的影响，系统研究了氟碳膜表面结构随负偏压变化规律，发现负偏压提高使得氟碳膜颗粒分布均匀，结合更加紧密。同时疏水性逐渐变优。关键词：负偏压 磁控溅射 结构与性能 FC 膜何孟永：负偏压对 PET 基 FC 膜结构与性能的影响安徽工程大学毕业设计（论文）IIIEffects of negative bias on the structure and properties of PET based FC filmsAbstractPTFE has high chemical stability and minimal water absorption rate of excellent properties and has become the focus of attention， but the use of magnetron sputtering target development of multifunctional fabric with high added value to the few. Through the method of FC films deposited on PET substrate， the preparation of waterproof fabric.This paper adopts magnetron sputtering technology. With PTFE as the target, on PET substrate by deposition of fluorocarbon film waterproof fabric, the power is 50W, pressure is 0.55Pa, the sputtering time of 30 minutes under the polyester (PET) substrate by magnetron sputtering method for preparing FC film on a substrate. Negative bias studies in different gradient, the surface morphology of the substrate coating, chemical coating, and the influence of hydrophilic and hydrophobic properties.By using scanning electron microscopy (SEM) study on surface morphology of the film forming mechanism and CF membrane， observed the influence on the surface morphology of fluorocarbon films under different negative bias， studied the surface structure of fluorocarbon films changes with negative bias， found negative bias improves the fluorocarbon film particle distribution more closely。Keywords： negative bias， magnetron sputtering， structure and properties， FC film何孟永：负偏压对 PET 基 FC 膜结构与性能的影响IV安徽工程大学毕业设计（论文）V目 录第 1 章 绪论 .- 1 -1.1 课题的背景与意义 .- 1 -1.2 防水织物国内外的研究进展 .- 1 -1.3 磁控镀膜发展过程及特点 .- 2 -第 2 章 PET 基氟碳膜的制备 .- 4 -2.1 选择磁控溅射的必要性 .- 4 -2.2 磁控溅射实验设备 .- 4 -2.3 磁控溅射实验步骤 .- 4 -第 3 章 样品检测及数据分析 .- 8 -3.1 样品检测所用仪器 .- 8 -3.2 检测仪器原理 .- 9 -3.3 数据分析 .- 9 -结论与展望 .- 19 -致 谢 .- 20 -参考文献 .-21-附录 .-22-附录 C 外文文献 .-22-附录 D 主要参考文献的题录及摘要 .-38-何孟永：负偏压对 PET 基 FC 膜结构与性能的影响何孟永：负偏压对 PET 基 FC 膜结构与性能的影响IV插图清单图 3-1 不同负偏压下的 PET 基 FC 膜的微观形貌图 .-10-图 3-2 不同负偏压下的样品表面 F 元素含量图 .-12-图 3-3 不同负偏压下样品的光电子能谱图 .-12-图 3-4 不同负偏压下样品透气率折线图 .-14-图 3-5 不同负偏压下样品的静态接触角图 .-15-图 3-6 不同负偏压下样品静态接触角折线图 .-16-图 3-7 聚四氟乙烯 XRD 图 .-17-图 3-8 -180V 负偏压下样品 X