真空泵培训材料(一)

真空泵培训材料（一）合肥工业大学机械与汽车工程学院真空与过程装备教研室王君2006年11月真空泵培训基本内容1、真空泵的基础知识；2、液环式真空泵； 3、旋片式真空泵；4、滑阀式真空泵； 5、罗茨式真空泵；6、分子泵； 7、无油干式真空泵；8、喷射式真空泵； 9、气体捕集真空泵。本讲座将介绍各类泵的原理、基本参数、基本结构、相关标准、安装、使用及维护的基本知识。本讲座将介绍各类泵的原理、基本参数、基本结构、相关标准、安装、使用及维护的基本知识。合肥工业大学真空与过程装备教研室一、机械真空泵基础知识1、几个基本问题1.1 定义真空泵是根据一定的工作原理，用来产生、改善和维持真空环境的装置。解释： 真空泵的工作原理：机械、物理、化学。 真空泵的工作目的：排出气体，获得真空。 真空泵的定位：系统中完成真空获得功能的单元。 真空泵的分类方法：利用获得真空的原理方法，或用途。解释：真空泵的工作原理：机械、物理、化学。真空泵的工作目的：排出气体，获得真空。真空泵的定位：系统中完成真空获得功能的单元。真空泵的分类方法：利用获得真空的原理方法，或用途。合肥工业大学真空与过程装备教研室粗低真空 高真空 超高真空食品行业化工行业冷冻干燥轻工行业制药行业导电 (真空放电灯具)冶炼真空热处理、真空焊接集成电路、半导体制造各种镀膜工艺各种表面加工工艺化学研究离子注入隔离作用（绝热）空间模拟材料科学分析物理现象研究表面分析高纯材料制备 (如：MBE)一、机械真空泵基础知识1、几个基本问题1.2 真空系统的基本组成合肥工业大学真空与过程装备教研室1233a456789真空室高真空泵（主泵）预抽泵前级泵高真空阀门低真空阀门前级管道放气阀低真空计高真空计124659887733a一、机械真空泵基础知识1、几个基本问题1.3 抽速特性曲线合肥工业大学真空与过程装备教研室10-1010-310-1抽速1234入口压力一、机械真空泵基础知识1、几个基本问题1.4 真空条件下气体的流动特点合肥工业大学真空与过程装备教研室黏滞流(分子间易发生碰撞)分子流(分子运动相对独立)一、机械真空泵基础知识2、真空泵的类型（按真空获得的方法）参见国标：GB 913-66泵分类及技术条件合肥工业大学真空与过程装备教研室油封泵喷射真空泵真空获得的方法往复式气体输送分子真空泵气体捕集变容真空泵 动量传输真空泵旋转式隔膜式活塞式液环泵螺杆泵滑阀泵罗茨泵旋片泵吸附泵低温泵溅射离子泵分子筛吸附泵冷阱扩散泵升华泵定片泵牵引泵复合泵涡轮泵水喷射泵蒸汽喷射泵气体喷射泵蜗旋泵一、机械真空泵基础知识2、真空泵的类型（按真空泵用途） 主泵(Main pump): 在真空系统中，用来获得所要求真空度的真空泵； 粗抽泵(Roughing vacuum pump): 从大气压开始降低系统的压力到另一抽气系统开始工作的真空泵； 前级泵(Backing vacuum pump): 用来维持另外一个泵的前级压力在其临界前级压力以下的真空泵； 维持泵(Holding vacuum pump): 在真空系统中，当气体量很小，不能有效的利用主前级泵。此时，可以利用容量较小的辅助前级泵来维持主泵工作或维持容器所需真空度； 粗/低真空泵(Rough/Low vacuum pump): 从大气压力开始并用来获得低真空度的真空泵； 高真空泵(High vacuum pump): 在高真空范围工作的真空泵； 超高真空泵(Ultrahigh vacuum pump): 在超高真空范围工作的真空泵； 增压真空泵(Booster vacuum pump): 安装在低真空和高真空泵之间，用来提高系统工作效率或降低前级泵容量要求的真空泵。参见国标：GB/T 3163-97真空技术名词术语合肥工业大学真空与过程装备教研室一、机械真空泵基础知识3、机械真空泵凡是利用机械运动（转动或滑动）来获得真空的泵，称为机械真空泵。 变容真空泵（Positive displacement pump） ：泵腔容积的周期性变化来完成抽气。 动量传输泵（Kinetic vacuum pump） ：依靠高速叶片、射流，将动量传递给气体，完成抽气。参见国标：GB/T 3164-93真空技术系统图用图形符号常见机械真空泵图形符号合肥工业大学真空与过程装备教研室一、机械真空泵基础知识4、机械真空泵性能参量 抽气速率（Flow rate）： 在相关标准测试条件下，从测试罩流过的气体流量和在测试罩指定位置测得的平衡压力之比。 极限压力（Ultimate pressure）： 在标准测试条件下，不引入气体正常工作条件下，趋向稳定的最低压力。 启动压力（Stating pressure）: 泵无损坏启动并且有抽气作用的压力。 前级压力（Backing pressure）: 排气压力低于一个大气压，真空泵的出口压力。 最大前级压力（Maximum backing pressure）: 能使泵损坏的前级压力。 最大工作压力（Maximum working pressure）: 对应最大抽气量的入口压力。 抽气量（Throughout o