mask的包装、保存及清洗注意事项

尽 善 尽 美 精 益 求 精 细 致 入 微 Http: 苏 州 新 区 火 炬 路 85 号 TEL：68083959 68083969 FAX：+86-512-68083979 Email： 苏 州 美 精 微 光 电 有 限 公 司SUZHOU MICROCAD PHOTOMASK LTD客 户 服 务 技 术 资 料以下注意事项是我司在长时间的生产和售后服务中学习和总结到的经验，希望能给贵司带来帮助。一、铬版如何保存? 1. 铬版存放在净化车间（1000 级以上）且存放处不许有玻璃屑类物品，并保持恒温恒湿（65% 湿度 45%） ，因为铬版的基材是玻璃 , 如果需要对铬版长期保存, 最好保持在干燥的环境里, 以防止玻璃出现发霉现象, 影响光学性能.防止铬版长时间的存放不当而使铬版 变形或使用寿命缩短；2.用专用铬版盒或铬版架且此盒或架子都有 5mm3mm 的沟能使铬版固定在里面且不易被撞到而导致损坏；3.铬版为硬掩膜版, 为防止其变形, 需要竖直存放（我公司的铬版存放架是 PVC 材质） ； 4.使用后的铬版需重新贴回干净的保护薄膜，以避免铬版与其它硬物摩擦而损伤铬层表面。二、铬版使用中应注意什么问题? 为了尽可能地避免划,碰伤, 影响寿命, 使用时要轻拿轻放，拿取铬版时双手必须戴有经酒精清洗后的清洁的乳胶手套，在拿取铬版时也只容许拿握铬版的边缘，不容许有手直接接触图形区域。 曝光前对光检查铬版表面是否有硬性颗粒, 在曝光过程中也需要经常用净化后的压缩气体清除铬版表面的玻璃碎粒。 使用完毕, 应将铬版表面重新清洗洁净,干燥后再保存。DI 水、酒精、丙酮、异丙醇等有机溶剂对铬膜无腐蚀性的作用，但需避免酸性物质或强碱性物质对铬膜或玻璃基版的腐蚀和破坏。三、铬版的耐划伤性如何？ 由于铬版上的图形由金属铬线条组成，它的硬度非常大，和玻璃接近，因此它的耐划伤性能非常高，一般硬度较小的物体不会对其造成划伤。但如果在使用过程中存在玻璃屑或其他硬物与其接触，其表面就很容易受到损伤，严重时会造成顶伤。 四、铬版划伤能否进行修补？ 铬版划伤一般分为三种，一种是铬层在外力作用有一划伤印，但划伤处并不透光，这种划伤对曝光并不影响，不需要进行修补；另一种是划伤处的铬层透光，但玻璃基版没有损伤，这种划伤较严重，需要修补；还有一种严重划伤，严格来说应该叫顶伤，它不仅铬层受到破坏，而且玻璃基版也受到损坏，如果玻璃基版损坏处仅仅是在线条下的玻璃基版，则可进行修补，但如果出现非线条处的玻璃基版受到损伤的情况，则无法进行修补。 Page 2五、铬版应该使用什么样的清洗方法？ 主要清洗方法有： （1） 铬版的局部清洁方法： A、 首先使用净化气吹去铬版的表面杂物 . B、 取一清洁的全新无尘布醮 DI 水，对发现的局部脏点沿一个方向进行擦拭。 C、 再取一清洁的全新无尘布沾取经蒸馏的分析纯酒精，沿 DI水的擦拭方向进行多次的擦除。 （2） 铬版的整版清洗方法： 配制 5%-6%的 NaOH 溶液并过滤，将铬版完全起浸入 NaOH溶液中（浸入前先要用无尘气枪吹静铬版表面，以防止玻璃屑类的异物） ，使用清洁的全新无尘布对浸在溶液中的铬版表面进行擦洗（也要求擦洗背面） ，NaOH 溶液擦洗时间不可超过 10 分钟。在使用 NaOH 溶液擦洗时需注意铬版的表面不可与清洗槽或其他物体接触，以免划伤铬版表面；使用 NaOH 溶液擦洗后，需用大量流动 DI 水冲洗，冲洗必须完全和彻底，冲洗时间不可小于 10 分钟。冲洗中同样要注意避免导致铬版表面的划伤的因素。清洗后的铬版需竖直存放在固定的位置，并使用含有经高效过滤净化气分别在铬版的两个表面从左至右从上至下吹赶留存在玻璃表面的 DI 水或用无尘箱烘干。另外，要注意避免使用气枪吹赶 DI 水时 DI 水 的反弹现象（反弹的 DI 水会造成铬版表面的水迹） 。六 、取版时要注意些什么？取版时一次取一块版，请注意要轻拿轻放，不要使版碰到别的坚硬物体或两张版相撞，以免对铬版造成崩边、崩角或表面划伤的伤害。七、检验时要注意些什么？检验前要对检测设备的平台进行彻底的清洁（清洁方法是：先用 1um 过滤的净化气吹过平台表面，然后用无尘布蘸酒精对平台的表面进行同方向擦拭，然后，再用净化气沿同一方向吹过，确保在铬版接触的附近无玻璃类的硬物） ；为了避免接触式检验，对铬版检验前，检测设备的平台上要求垫两层泡沫，然后把铬版边缘放在泡沫条上，使铬版图形区域悬空，膜面朝上，进行机器检验。八、菲林的清洁菲林的清洗最好用 DI 水进行清洗，然后再放入冲机烘干。若无以上条件可用无尘布蘸无水乙醇在有污点的地方轻轻的擦，或者用无尘布蘸 DI 水在有污点的地方轻轻的擦，再用气枪吹干。九、菲林的储存1、温度在 1525之间；湿度控制在 50%左右。2、要避免热源；3、避免 UV 光照射；4、菲林在储存时必须平放，数量最好不超过 20 张；5、环境相当重要，要在万级无尘室或以上。 Page 3十PI 的清洁和保